Kontrolluri tal-Fluss tal-Massa (MFC) jipprovdu kejl preċiż u kontroll tal-fluss tal-massa tal-gassijiet.
I. X'inhi d-differenza bejn MFC u MFM?
Miter tal-fluss tal-massa (MFM) huwa tip ta 'strument li jkejjel b'mod preċiż il-fluss tal-gass, u l-valur tal-kejl tiegħu mhuwiex preċiż minħabba varjazzjonijiet fit-temperatura jew pressjoni, u ma jeħtieġx kumpens ta' temperatura u pressjoni. Il-kontrollur tal-fluss tal-massa (MFC) mhux biss għandu l-funzjoni ta 'miter tal-fluss tal-massa, iżda aktar importanti minn hekk, jista' awtomatikament jikkontrolla l-fluss tal-gass, jiġifieri, l-utent jista 'jiffissa l-fluss skont il-ħtiġijiet tiegħu, u l-MFC awtomatikament iżomm il-fluss kostanti fil-valur stabbilit, anke jekk il-pressjoni tas-sistema Fluttwazzjonijiet jew bidliet fit-temperatura ambjentali mhux se jikkawżaw li tiddevja mill-valur stabbilit.Il-kontrollur tal-fluss tal-massa huwa apparat ta 'fluss stabbli, li huwa apparat ta' fluss kostanti tal-gass li jista 'jiġi ssettjat manwalment jew ikkontrollat awtomatikament b'konnessjoni ma' kompjuter.Miters tal-fluss tal-massa jkejlu biss iżda ma jikkontrollawx.Il-kontrollur tal-fluss tal-massa għandu valv ta 'kontroll, li jista' kemm ikejjel kif ukoll jikkontrolla l-fluss tal-gass.
II.X'inhi l-istruttura uprinċipju ta 'operazzjoni?
1、 Struttura
2、Prinċipju ta 'Operazzjoni
Meta l-fluss jidħol fil-pajp tad-dħul, ħafna mill-fluss jgħaddi mill-kanal tad-diverter, li parti żgħira minnu tidħol fit-tubu kapillari ġewwa s-sensor.Minħabba l-istruttura speċjali ta '
il-kanal tad-diverter, iż-żewġ partijiet tal-fluss tal-gass jistgħu jkunu direttament proporzjonali.Is-sensor huwa msaħħan minn qabel u msaħħan, u t-temperatura ġewwa hija ogħla mit-temperatura tal-arja tad-dħul.F'dan iż-żmien, il-fluss tal-massa tal-parti żgħira tal-gass huwa mkejjel mill-prinċipju tat-trasferiment tas-sħana mit-tubu kapillari u l-prinċipju tal-kalorimetrija tad-differenza fit-temperatura.Il-fluss tal-gass imkejjel b'dan il-mod jista 'jinjora l-effetti tat-temperatura u l-pressjoni.Is-sinjal tal-kejl tal-fluss misjub mis-sensorju jiddaħħal fil-bord taċ-ċirkwit u jiġi amplifikat u joħroġ, u l-funzjoni tal-MFM titlesta.Iż-żieda tal-funzjoni ta 'kontroll awtomatiku ta' ċirku magħluq PID mal-bord taċ-ċirkwit, Qabbel is-sinjal tal-kejl tal-fluss imkejjel mis-sensor mas-sinjal stabbilit mogħti mill-utent.Ibbażat fuq dan, il-valv ta 'kontroll huwa kkontrollat sabiex is-sinjal ta' skoperta tal-fluss ikun ugwali għas-sinjal issettjat, u b'hekk tirrealizza l-funzjoni tal-MFC.
III.Applikazzjonijiet u karatteristiċi.
MFC, li hija applikata b'mod wiesa 'fl-oqsma bħala: semikondutturi u fabbrikazzjoni IC, xjenza ta' materjali speċjali, industrija kimika, industrija petrolika, industrija farmaċewtika, protezzjoni ambjentali u riċerka tas-sistema tal-vakwu, eċċ. L-applikazzjonijiet tipiċi jinkludu: tagħmir ta 'proċess mikroelettroniku bħad-diffużjoni , ossidazzjoni, epitassija, CVD, inċiżjoni fil-plażma, sputtering, impjantazzjoni tal-joni;tagħmir ta 'depożizzjoni bil-vakwu, tidwib tal-fibra ottika, tagħmir ta' mikro-reazzjoni, sistema ta 'taħlit u tqabbil tal-gass, sistema ta' kontroll tal-fluss kapillari, kromatografu tal-gass u strumenti analitiċi oħra.
MFC iġib l-eżattezza għolja, ripetibbiltà eċċellenti, rispons rapidu, startjar artab, affidabilità aħjar, firxiet ta 'varjetà wiesgħa ta' pressjoni ta 'tħaddim (tħaddim tajjeb f'sitwazzjonijiet ta' pressjoni għolja u vakwu), tħaddim sempliċi konvenjenti, installazzjoni flessibbli, konnessjoni possibbli ma 'PC biex twettaq awtomatika kontroll għas-sistema tal-utenti.
IV.Kif tiddetermina u tittratta failures?
Il-kumpanija tagħna għandha inġinier professjonali ta 'wara l-bejgħ, tista' tgħinek issolvi problemi fl-installazzjoni u l-użu.
Ħin tal-post: Lulju-29-2022