Għarfien - Valvoli tal-vakwu

I. Introduzzjoni tal-valv
Il-valv tal-vakwu huwa komponent tas-sistema tal-vakwu użat biex jibdel id-direzzjoni tal-fluss tal-arja, aġġusta d-daqs tal-fluss tal-gass, jaqta 'jew jgħaqqad il-pipeline fis-sistema tal-vakwu.Il-partijiet tal-għeluq tal-valv tal-vakwu huma ssiġillati b'siġill tal-gomma jew siġill tal-metall.

II.Applikazzjonijiet komuni tal-valv tal-vakwu.
Valvoli tal-vakwu
Użat f'tagħmir ta 'sistema ta' vakwu għoli jew ultra-għoli meta l-vakwu għandu jinżamm f'sistema magħluqa għall-immaniġġjar tal-vakwu.Il-valvi tal-vakwu jintużaw biex jikkontrollaw il-fluss tal-arja fil-kamra tal-vakwu, jiżolaw, jivvent, jipprovdu tnaqqis fil-pressjoni jew jikkontrollaw il-konduzzjoni.Valvoli tal-bieb, valvi Inline u valvi angolari huma l-aktar tipi komuni ta 'valvi tal-vakwu użati għal applikazzjonijiet ta' vakwu għoli jew ultra-għoli.Tipi ta 'valvi addizzjonali jinkludu valvi tal-farfett, valvi ta' trasferiment, valvoli tal-ballun, valvi tal-pendlu, valvi kollha tal-metall, valvi tal-vakwu, valvi tal-angolu tal-aluminju, valvi tal-vakwu miksija bit-Teflon u valvi straight-through.

Valvoli tal-farfett
huma valvi li jiftħu veloċi li jikkonsistu f'diski jew paletti tal-metall li jduru f'angoli retti mad-direzzjoni tal-fluss fil-pipeline u meta jduru fuq l-assi tagħhom, il-valv jissiġilla s-sedil fil-korp tal-valv.

Valvoli tat-trasferiment (valvi tal-bieb rettangolari)
Valvoli ta 'separazzjoni adattati għall-użu bejn kmamar tal-vakwu msakkra bit-tagħbija u kmamar tat-trasferiment, u bejn kmamar tat-trasferiment u kmamar tal-ipproċessar f'tagħmir tal-manifattura tas-semikondutturi.

Valvoli tal-ballun tal-vakwu
huma kwart dawra valvoli tal-fluss dritti b'assemblaġġ ta 'għeluq ċirkolari b'sedili ċirkolari li jaqblu għal stress uniformi tas-siġillar.

Valvoli tal-pendlu
huwa valv ta 'throttle kbir imwaħħal bejn il-kamra tal-vakwu tal-proċess u d-daħla tal-pompa turbomolekulari.Dawn il-valvi tal-pendlu tal-vakwu huma tipikament iddisinjati bħala valvi tal-bieb jew tal-pendlu għal applikazzjonijiet inklużi sistemi ta 'manifattura industrijali OLED, FPD u PV.

Valvoli kollha tal-metall
Iddisinjati għall-użu f'ambjenti ta 'vakwu ultra-għoli fejn temperaturi għoljin ma jippermettux l-użu ta' elastomeri u metalli tal-gasket krijoġeniċi.Valvoli kollha tal-metall li jinħamu jipprovdu siġillar affidabbli ta 'temperatura għolja minn pressjoni atmosferika għal taħt 10-11 mbar.

Valvoli tal-vakwu
Jopera b'mod affidabbli f'sistemi ta 'produzzjoni ta' semikondutturi u f'applikazzjonijiet b'kontaminazzjoni kimika u partikuli.Jistgħu jintużaw f'ambjenti ta 'vakwu mhux maħdum, vakwu għoli jew vakwu ultra-għoli.

Valvoli tal-angolu tal-aluminju
Id-daħla u l-ħruġ ta 'dawn il-valvi huma f'angoli retti ma' xulxin.Dawn il-valvi ta 'l-angolu huma magħmula mill-aluminju A6061-T6 u jintużaw fil-manifattura ta' semikondutturi u strumentazzjoni, R & D u sistemi ta 'vakwu industrijali għal applikazzjonijiet ta' vakwu mhux maħdum għal għoli.

Il-valv tal-vakwu miksi bit-Teflon huwa apparat tal-komponent tal-vakwu tal-istainless steel kompletament inġinerija b'kisja dejjiema u reżistenti ħafna għall-kimika.

III.Karatteristiċi tal-valvi tal-vakwu.
Il-pressjoni hija taħt il-pressjoni atmosferika u l-waqgħa tal-pressjoni madwar il-flap tal-valv ma tistax taqbeż 1 kg forza/ċm.It-temperatura tax-xogħol tal-medju tiddependi fuq il-proċess tal-apparat użat.It-temperatura ġeneralment ma taqbiżx il-medda ta '-70 ~ 150°C.L-iktar rekwiżit bażiku għal tali valvi huwa li jiġi żgurat grad għoli ta 'issikkar tal-konnessjoni u d-densità tal-istruttura u l-materjal tal-gasket.

Skont il-valvi tal-vakwu ta 'pressjoni medja jistgħu jinqasmu f'erba' gruppi.
1) Valvoli tal-vakwu baxx: pressjoni medja p=760 ~ 1 mmHg.
2) Valvoli tal-vakwu medji: p = 1 × 10-3 mmHg.
3) Valvoli ta 'vakwu għoli: p = 1 × 10-4 ~ 1 × 10-7 mmHg.
4) Valv tal-vakwu ultra-għoli: p≤1 × 10-8 mmHg.

Bħala valv ta 'ċirkwit magħluq b'dijametru ta' passaġġ ta 'inqas minn 250 mm, iz-zokk użat ħafna huwa valv ta' għeluq tal-minfaħ tal-vakwu b'moviment lineari.Il-valvi tal-bieb, madankollu, huma aktar ristretti, iżda dan huwa prinċipalment għal dijametri kbar.Disponibbli wkoll huma valvoli tal-plagg sferiċi (valvi tal-ballun), valvi tal-planġer u valvi tal-farfett.Il-valvi tal-plagg għall-valvoli tal-vakwu ma ġewx promossi minħabba li jeħtieġu lubrikazzjoni taż-żejt, li jagħmilha possibbli li l-fwar taż-żejt jidħol fis-sistema tal-vakwu, li mhix permessa.Il-valvi tal-vakwu jistgħu jiġu kkontrollati manwalment u mill-bogħod fil-qasam, kif ukoll elettrikament, elettromanjetikament (valvi tas-solenojd), pnewmatikament u idrawlikament.