အလွန်မြင့်မားသော ဖုန်စုပ်စက်များတွင် အသုံးများသော ပန့်များ

I. စက်မှုပန့်များ
စက်ပန့်၏အဓိကလုပ်ဆောင်ချက်မှာ တာဘိုမိုလီကျူလာပန့်၏စတင်ခြင်းအတွက် လိုအပ်သောအကြိုအဆင့်လေဟာနယ်ကိုပေးဆောင်ရန်ဖြစ်သည်။အသုံးများသော စက်ပန့်များတွင် အဓိကအားဖြင့် vortex dry pumps၊ diaphragm pumps နှင့် oil sealed mechanical pumps များ ပါဝင်သည်။
Diaphragm Pump များသည် သေးငယ်သော အရွယ်အစားကြောင့် သေးငယ်သော မော်လီကျူးပန့်အစုံများအတွက် ယေဘုယျအားဖြင့် အသုံးပြုကြသည်။
ရေနံအလုံပိတ်စက်ပန့်သည် ယခင်က အသုံးအများဆုံးစက်ပန့်ဖြစ်ပြီး၊ ကြီးမားသောစုပ်ထုတ်မှုအရှိန်နှင့် ကောင်းမွန်သောအဆုံးစွန်သောလေဟာနယ်ဖြင့်သွင်ပြင်လက္ခဏာဖြစ်ပြီး အားနည်းချက်မှာ ဆီပြန်ခြင်း၏ယေဘူယျတည်ရှိမှု၊ အလွန်မြင့်မားသောလေဟာနယ်စနစ်များတွင် ယေဘုယျအားဖြင့် ဆိုလီနွိုက်အဆို့ရှင်တပ်ဆင်ထားရန်လိုအပ်ပါသည်။ (ဆီပြန်ခြင်းကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော မတော်တဆ ပါဝါချို့ယွင်းမှုကို ကာကွယ်ရန်အတွက်) နှင့် မော်လီကျူးဆန်ခါ (စုပ်ယူမှုအကျိုးသက်ရောက်မှု)။
မကြာသေးမီနှစ်များအတွင်းတွင်၊ scroll dry pump ကို ပိုမိုအသုံးပြုလာခြင်းဖြစ်သည်။ အားသာချက်မှာ အသုံးပြုရလွယ်ကူပြီး ဆီပြန်မလာဘဲ၊ pumping speed နှင့် ultimate vacuum သည် ဆီအလုံပိတ်စက်ပန့်များထက် အနည်းငယ်ပိုဆိုးပါသည်။
စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ပန့်များသည် ဓာတ်ခွဲခန်းအတွင်း ဆူညံသံနှင့် တုန်ခါမှု၏ အဓိက အရင်းအမြစ်ဖြစ်ပြီး ဆူညံသံနိမ့်ပန့်ကို ရွေးချယ်၍ ဖြစ်နိုင်ပါက စက်များကြားတွင် ထားရှိခြင်းက ပိုကောင်းသည်၊ သို့သော် အလုပ်အကွာအဝေး ကန့်သတ်ချက်များကြောင့် နောက်ပိုင်းတွင် အောင်မြင်ရန် မလွယ်ကူပါ။
IITurbomolecular ပန့်များ
Turbo မော်လီကျူးပန့်များသည် ဓာတ်ငွေ့များ၏ ဦးတည်ရာ စီးဆင်းမှုကို ရရှိရန်အတွက် မြန်နှုန်းမြင့် လှည့်နေသော ဗင်ကားများ (များသောအားဖြင့် တစ်မိနစ်လျှင် 1000 ပတ်၀န်းကျင်) ကို အားကိုးသည်။ပန့်၏အိတ်ဇောဖိအားနှင့် အဝင်ဖိအားအချိုးကို compression ratio ဟုခေါ်သည်။ဖိသိပ်မှုအချိုးသည် ပန့်၏အဆင့်အရေအတွက်၊ အမြန်နှုန်းနှင့် ဓာတ်ငွေ့အမျိုးအစားနှင့် သက်ဆိုင်သည်၊ ဓာတ်ငွေ့ဖိသိပ်မှု၏ ယေဘုယျမော်လီကျူးအလေးချိန်သည် အတော်လေးမြင့်မားသည်။တာဘိုမိုလီကျူလာပန့်၏ အဆုံးစွန်သောလေဟာနယ်ကို ယေဘုယျအားဖြင့် 10-9-10-10 mbar ဟု ယူဆကြပြီး မကြာသေးမီနှစ်များအတွင်း မော်လီကျူးပန့်နည်းပညာများ စဉ်ဆက်မပြတ်တိုးတက်နေသဖြင့် အဆုံးစွန်သောလေဟာနယ်ကို ပိုမိုတိုးတက်ကောင်းမွန်လာစေသည်။
တာဘိုမိုလီကျူးပန့်၏ အားသာချက်များကို မော်လီကျူးစီးဆင်းမှုအခြေအနေတွင်သာ သိရှိနိုင်သောကြောင့် (ဓာတ်ငွေ့မော်လီကျူးများ၏ ပျမ်းမျှအလွတ်အကွာအဝေးသည် ပြွန်ဖြတ်ပိုင်း၏ အမြင့်ဆုံးအရွယ်အစားထက် များစွာပိုကြီးသော စီးဆင်းမှုအခြေအနေ)၊ အကြိုအဆင့် ဖုန်စုပ်ပန့်တစ်ခု၊ လည်ပတ်ဖိအား 1 မှ 10-2 Pa ဖြင့် လိုအပ်ပါသည်။ဗင်ကားများ၏ လည်ပတ်နှုန်းမြင့်မားမှုကြောင့်၊ မော်လီကျူးပန့်အား နိုင်ငံခြားအရာဝတ္ထုများ၊ တုန်လှုပ်ခြင်း၊ ရိုက်ခတ်ခြင်း၊ ပဲ့တင်ထပ်ခြင်း သို့မဟုတ် ဓာတ်ငွေ့ရှော့ခ်ကြောင့် ပျက်စီးခြင်း သို့မဟုတ် ပျက်စီးနိုင်သည်။စတင်သူများအတွက်၊ လည်ပတ်မှုအမှားအယွင်းများကြောင့်ဖြစ်ရသည့် ဓာတ်ငွေ့ရှော့ခ်ကြောင့် ပျက်စီးမှုအများဆုံးအကြောင်းရင်းဖြစ်သည်။မော်လီကျူးပန့်ကို စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ပန့်ဖြင့် ပဲ့တင်ထပ်ခြင်း ကြောင့်လည်း ဖြစ်နိုင်သည်။ဤအခြေအနေသည် အတော်လေးရှားပါးသော်လည်း ၎င်းသည် ပိုမိုဆိုးရွားပြီး အလွယ်တကူရှာဖွေတွေ့ရှိနိုင်သောကြောင့် အထူးသတိထားရန် လိုအပ်ပါသည်။

IIISputtering အိုင်းယွန်းပန့်
sputtering ion pump ၏ လုပ်ဆောင်မှု နိယာမမှာ Penning discharge မှ ထုတ်ပေးသော အိုင်းယွန်းများကို အသုံးပြုပြီး လတ်ဆတ်သော တိုက်တေနီယမ် ဖလင်ပြားကို ဖန်တီးကာ တက်ကြွသော ဓာတ်ငွေ့များကို စုပ်ယူနိုင်ပြီး inert gases များပေါ်တွင် အချို့သော မြှုပ်နှံမှု အကျိုးသက်ရောက်မှု ရှိစေပါသည်။ .sputtering ion pumps များ၏ အားသာချက်များသည် ကောင်းမွန်သော အဆုံးစွန်သော လေဟာနယ်၊ တုန်ခါမှု မရှိ၊ ဆူညံခြင်းမရှိ၊ ညစ်ညမ်းမှု မရှိ၊ ရင့်ကျက်ပြီး တည်ငြိမ်သော လုပ်ငန်းစဉ်၊ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု မရှိသည့်အပြင် တူညီသော စုပ်ထုတ်နှုန်း (inert gases များမှလွဲ၍) ၎င်းတို့၏ ကုန်ကျစရိတ်မှာ မော်လီကျူးပန့်များထက် များစွာ သက်သာပါသည်။ ၎င်းတို့ကို အလွန်မြင့်မားသော ဖုန်စုပ်စနစ်များတွင် အလွန်အသုံးများစေသည်။ပုံမှန်အားဖြင့် sputtering ion pumps များ၏ ပုံမှန်လည်ပတ်မှု သံသရာသည် 10 နှစ်ထက် ပိုပါသည်။
ယေဘုယျအားဖြင့် အိုင်းယွန်းပန့်များသည် ကောင်းမွန်စွာအလုပ်လုပ်ရန် 10-7 mbar အထက်ရှိရန် လိုအပ်သည် (ပိုဆိုးသောလေဟာနယ်များတွင် အလုပ်လုပ်ခြင်းသည် ၎င်းတို့၏သက်တမ်းကို သိသိသာသာလျော့နည်းစေသည်) ထို့ကြောင့် ကောင်းမွန်သောအကြိုအဆင့်လေဟာနယ်ကိုပေးဆောင်ရန် မော်လီကျူးပန့်တစ်ခုလိုအပ်ပါသည်။ပင်မခန်းတွင် အိုင်းယွန်းပန့် + TSP နှင့် အဝင်ခန်းအတွင်း သေးငယ်သော မော်လီကျူးပန့်တစ်လုံးကို အသုံးပြုခြင်းသည် သာမန်အလေ့အကျင့်ဖြစ်သည်။မုန့်ဖုတ်သောအခါ၊ ချိတ်ဆက်ထားသော ထည့်သွင်းမှုအဆို့ရှင်ကိုဖွင့်ပြီး သေးငယ်သော မော်လီကျူးပန့်အစုံသည် ရှေ့လေဟာနယ်ကို ပေးစွမ်းပါစေ။
အိုင်းယွန်းပန့်များသည် inert gases များကို စုပ်ယူနိုင်စွမ်းနည်းပါးပြီး ၎င်းတို့၏ အမြင့်ဆုံးစုပ်ထုတ်မှုအမြန်နှုန်းသည် မော်လီကျူးပန့်များနှင့် အနည်းငယ်ကွာခြားသောကြောင့် ဓာတ်ငွေ့ထုတ်လွှတ်မှု ပမာဏများပြားခြင်း သို့မဟုတ် ပြင်းထန်သောဓာတ်ငွေ့ပမာဏအတွက် မော်လီကျူးပန့်အစုံ လိုအပ်ပါသည်။ထို့အပြင်၊ အိုင်းယွန်းပန့်သည် လည်ပတ်နေစဉ်အတွင်း လျှပ်စစ်သံလိုက်စက်ကွင်းကို ထုတ်ပေးပြီး အထူးသဖြင့် ထိခိုက်လွယ်သော စနစ်များကို အနှောင့်အယှက်ဖြစ်စေနိုင်သည်။
IVတိုက်တေနီယမ် sublimation ပန့်များ
တိုက်တေနီယမ် sublimation ပန့်များသည် ဓာတုစုပ်ယူမှုပြုလုပ်ရန်အတွက် အခန်းနံရံများပေါ်တွင် တိုက်တေနီယမ်ဖလင်ကို ဖန်တီးရန်အတွက် သတ္တုတိုက်တေနီယမ်၏ အငွေ့ပျံမှုကို မှီခိုခြင်းဖြင့် လုပ်ဆောင်သည်။တိုက်တေနီယမ် sublimation ပန့်များ၏ အားသာချက်များမှာ ရိုးရှင်းသော ဆောက်လုပ်ရေး၊ ကုန်ကျစရိတ် သက်သာခြင်း၊ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းရ လွယ်ကူခြင်း၊ ဓာတ်ရောင်ခြည် ကင်းစင်ခြင်းနှင့် တုန်ခါမှု ဆူညံခြင်း မရှိပါ။
တိုက်တေနီယမ် sublimation ပန့်များကို အများအားဖြင့် တိုက်တေနီယမ်ကြိုး (၃)ခု (မီးလောင်မှုမှကာကွယ်ရန်) ပါ၀င်ပြီး မော်လီကျူး သို့မဟုတ် အိုင်းယွန်းပန့်များနှင့် ပေါင်းစပ်ကာ အလွန်ကောင်းမွန်သော ဟိုက်ဒရိုဂျင်ကို ဖယ်ရှားပေးပါသည်။၎င်းတို့သည် 10-9-10-11 mbar အကွာအဝေးရှိ အရေးကြီးဆုံး ဖုန်စုပ်ပန့်များဖြစ်ပြီး မြင့်မားသော လေဟာနယ်အဆင့် လိုအပ်သည့် အလွန်မြင့်မားသော ဖုန်စုပ်ခန်းအများစုတွင် တပ်ဆင်ထားသည်။
တိုက်တေနီယမ် sublimation ပန့်များ၏အားနည်းချက်မှာ တိုက်တေနီယမ်ကို ပုံမှန် sputtering ပြုလုပ်ရန် လိုအပ်ပြီး၊ လေဟာနယ်သည် sputtering လုပ်နေစဉ် (မိနစ်အနည်းငယ်အတွင်း) ပြင်းအား 1-2 ခန့် (မိနစ်အနည်းငယ်အတွင်း) တွင် ယိုယွင်းသွားသောကြောင့် အချို့သောအခန်းများသည် NEG ကို အသုံးပြုရန်လိုအပ်ပါသည်။ထို့အပြင်၊ တိုက်တေနီယမ်အထိခိုက်မခံသောနမူနာ/စက်ပစ္စည်းများအတွက်၊ တိုက်တေနီယမ် sublimation pump ၏တည်နေရာကိုရှောင်ရှားရန် ဂရုပြုသင့်သည်။
V. Cryogenic ပန့်များ
Cryogenic ပန့်များသည် လေဟာနယ်ရရှိရန်အတွက် အပူချိန်နိမ့်သော ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ စုပ်ယူမှုအပေါ် အဓိကအားထားကာ၊ မြင့်မားသောစုပ်ထုတ်နှုန်း၊ ညစ်ညမ်းမှုမရှိခြင်းနှင့် အဆုံးစွန်သောလေဟာနယ်၏ အားသာချက်များဖြစ်သည်။Cryogenic Pumps များ၏ စုပ်ယူနှုန်းကို ထိခိုက်စေသည့် အဓိက အကြောင်းအရင်းများမှာ အပူချိန်နှင့် ပန့်၏ မျက်နှာပြင် ဧရိယာတို့ ဖြစ်သည်။ကြီးမားသော မော်လီကျူး အလင်းတန်း epitaxy စနစ်များတွင်၊ မြင့်မားသော အဆုံးစွန်သော ဖုန်စုပ်စက် လိုအပ်ချက်များကြောင့် cryogenic ပန့်များကို တွင်ကျယ်စွာ အသုံးပြုကြသည်။
Cryogenic Pump များ၏ အားနည်းချက်များမှာ နိုက်ထရိုဂျင်အရည် သုံးစွဲမှု မြင့်မားပြီး လည်ပတ်မှု ကုန်ကျစရိတ် မြင့်မားသည်။ပြန်လည်လည်ပတ်နေသော အအေးပေးစက်များပါရှိသော စနစ်များကို နိုက်ထရိုဂျင်အရည်ကို စားသုံးခြင်းမရှိဘဲ အသုံးပြုနိုင်သော်လည်း ၎င်းသည် စွမ်းအင်သုံးစွဲမှု၊ တုန်ခါမှုနှင့် ဆူညံမှုဆိုင်ရာ သက်ဆိုင်သည့် ပြဿနာများကို သယ်ဆောင်လာစေသည်။ထို့ကြောင့်၊ cryogenic ပန့်များကို သမားရိုးကျ ဓာတ်ခွဲခန်းသုံး ပစ္စည်းများတွင် အသုံးနည်းပါသည်။
VI ။Aspirator Pumps (NEG)
Suction agent pump သည် မကြာသေးမီနှစ်များအတွင်း အသုံးများသော လေဟာနယ်ပန့်များထဲမှ တစ်ခုဖြစ်ပြီး ၎င်း၏ အားသာချက်မှာ ဓာတုစုပ်ယူမှုကို အပြည့်အဝအသုံးပြုခြင်း၊ အငွေ့ပြန်ခြင်းနှင့် လျှပ်စစ်သံလိုက်ညစ်ညမ်းခြင်းမရှိဘဲ တိုက်တေနီယမ် sublimation ပန့်များနှင့် sputtering ion များနေရာတွင် မော်လီကျူးပန့်များနှင့်အတူ မကြာခဏအသုံးပြုလေ့ရှိသည်။ ပန့်များ အားနည်းချက်မှာ ကုန်ကျစရိတ်ကြီးမြင့်ပြီး အကန့်အသတ်ဖြင့် ပြန်လည်ထုတ်လုပ်ခြင်းဖြစ်ပြီး၊ များသောအားဖြင့် လေဟာနယ်တည်ငြိမ်မှုအတွက် မြင့်မားသောလိုအပ်ချက်များ သို့မဟုတ် လျှပ်စစ်သံလိုက်စက်ကွင်းများအတွက် အလွန်အထိခိုက်မခံသောစနစ်များတွင် အသုံးပြုလေ့ရှိသည်။
ထို့အပြင်၊ aspirator pump သည် ကနဦးအသက်သွင်းခြင်းထက် ကျော်လွန်ပြီး အပိုပါဝါထောက်ပံ့မှုချိတ်ဆက်မှုမလိုအပ်သောကြောင့်၊ ၎င်းအား စုပ်ယူမှုအမြန်နှုန်းကို တိုးမြှင့်ရန်နှင့် လေဟာနယ်အဆင့်ကို မြှင့်တင်ရန်အတွက် ၎င်းအား စနစ်ကြီးများတွင် အရန်ပန့်အဖြစ် မကြာခဏအသုံးပြုလေ့ရှိပါသည်။

ပုံ : မတူညီသော ပန့်အမျိုးအစားများအတွက် အလုပ်ဖိအားများ။အညိုရောင်မြှားများသည် အများဆုံးခွင့်ပြုနိုင်သော လည်ပတ်ဖိအားအကွာအဝေးကိုပြသပြီး အစိမ်းရင့်ရောင်အပိုင်းများသည် ဘုံအလုပ်ဖိအားအပိုင်းအခြားကိုပြသသည်။