मास फ्लो कन्ट्रोलर मास फ्लो मिटर CS200
विशेषताहरु
1. उच्च शुद्धता र छिटो प्रतिक्रिया
CS200 MFC को शुद्धता SP को ±1.0% मा सुधार गरिएको छ, र सबैभन्दा उन्नत मोडेलहरूमा 0.8 सेकेन्ड भन्दा कमको प्रतिक्रिया समय कम छ।
2. कम शून्य बहाव र तापमान गुणांक
नयाँ सेन्सर प्रविधिको आविष्कारले CS200 MFC लाई स्थिरता कायम राख्न र तापमान उतार-चढाव सामना गर्न सक्षम बनाउँछ।एक स्वत: शून्य एम्पलीफायर बिना, अपेक्षित शून्य बहाव 0.6% FS/वर्ष भन्दा कम छ, र तापमान गुणांक 0.02% FS/℃(शून्य)，0.05% FS/℃ (स्प्यान) भन्दा कम छ।
3. धातु-सील मोडेल र उच्च शुद्धता सुविधा
CS200 MFC को भिजेको प्रवाह मार्ग सतह-निष्क्रिय स्टेनलेस स्टीलबाट निर्माण गरिएको हो।सबै CS200 MFC हरू सेभेनस्टारको अल्ट्राक्लिन क्लास 100-क्लास क्लिनरूमहरू दुवै SEMI र ISO 9001 मापदण्डहरू अनुसार भेला हुन्छन्।
4. मिल्दो इन्टरफेसहरू
CS200 MFC निम्न इन्टरफेसहरूसँग मिल्दो छ, जुन ग्राहकद्वारा चयन गर्न सकिन्छ: ±8V-±16V डबल-एन्ड बिजुली आपूर्ति र +14V-+28V एकल-अन्त बिजुली आपूर्ति;डिजिटल वा एनालग सिग्नल इनपुट र आउटपुट;SEMI मानक मेकानिकल आयाम;र RS-485 वा DeviceNet संचार मोड्युल।
5. विविध प्रकार्यहरू
शक्तिशाली ग्राहक सफ्टवेयर प्रत्येक मोडेलको साथ मानक आउँछ, जबकि अतिरिक्त प्रकार्यहरू जस्तै बहु-ग्यास，मल्टी-रेन्ज，अटो-शून्य, अलार्म, सफ्ट स्टार्ट, र ढिलाइ ग्राहक चयनको रूपमा उपलब्ध छन्।
विशिष्टता
| CS200 | |||||||
| टाइप गर्नुहोस् | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| पूर्ण मापन दायरा (N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM | (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM | ||||||
| शुद्धता | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| रेखीयता | ±0.5% FS | ||||||
| पुनरावृत्ति | ±0.2% FS | ||||||
| प्रतिक्रिया समय | ≤1 सेकेन्ड | ≤0.8 सेकेन्ड (SEMI E17-0600) | |||||
| वाल्व आराम स्थिति | सामान्यतया बन्द वा | भल्भ छैन | सामान्यतया बन्द वा | भल्भ छैन | सामान्यतया बन्द वा | भल्भ छैन | |
| सामान्यतया खोल्नुहोस् (100 sccm≤FS≤5 slm） | सामान्यतया खोल्नुहोस् (100 sccm≤FS≤5 slm） | सामान्यतया खोल्नुहोस् (100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| विभेदक दबाव | 0.05～0.35MPa （Flow≤10slm） | म०.०२ एमपीए | (0.05～0.35) MPa（≤10slm） | म०.०२ एमपीए | (0.05～0.35) MPa（≤10slm） | म०.०२ एमपीए | |
| 0.1～0.35MPa（10slm＜Flow≤30slm） | (0.1～0.35) MPa～ (～10slm） | (0.1～0.35) MPa～ (～10slm） | |||||
| 0.2～0.45MPa（प्रवाह＠30slm） | |||||||
| अधिकतम परिचालन दबाव | ०.४५ एमपीए | |||||
| तापक्रम | शून्य:≤±0.05% FS/℃; | शून्य:≤±0.02% FS/℃;स्प्यान: ≤±0.05% FS/℃ | ||||
| गुणांक | स्प्यान: ≤±0.1% FS/℃（Flow≤30slm） | |||||
| स्प्यान: ≤±0.2% FS/℃（प्रवाह>30slm） | ||||||
| प्रमाण दबाव | 3MPa (435pisg) | |||||
| शून्य बहाव | मस्वत: शून्य बिना प्रति वर्ष 0.6% FS | |||||
| लीक अखण्डता | 1×10-9 atm·cc / सेकेन्ड He | 1×10-10atm·cc / सेकेन्ड He | ||||
| भिजेको सामग्री | भिटन; | धातु? (स्टेनलेस स्टील V/V, 5Ra) | धातु | |||
| सतह रसायन विज्ञान | —— | Cr/Fe अनुपात ＞2.0;CrO मोटाई ＞20 Angstroms | ||||
| सतह समाप्त | २५ रा | १० रा | २५ रा | |||
| सञ्चालन तापमान | (5～45) ℃ | (०～50) ℃ | ||||
| इनपुट सिग्नल | डिजिटल: RS485 वा ProfiBus | N/A | डिजिटल: RS485 वा ProfiBus वा DeviceNetTM | N/A | डिजिटल: RS485 वा ProfiBus वा DeviceNetTM | N/A |
| वा DeviceNetTM | एनालग: (0～5)VDC वा (4～20)mA वा (0～20)mA | एनालग: (0～5)VDC वा (4～20)mA? वा (0～20)mA | |||||
| एनालग: (0～5)VDC वा (4～20)mA वा (0～20)mA | |||||||
| आउटपुट सिग्नल | डिजिटल: RS485 वा DeviceNetTM वा ProfiBus एनालग:(0～5)VDC वा (4～20)mA वा (0～20)mA | ||||||
| विद्युत आपूर्ति | ±8 ~ ±16 VDC वा +14 ~ +28 VDC(400mA) | ||||||
| इलेक्ट्रोनिक कनेक्टर | 9 पिन पुरुष सब-डी ， 15 पिन पुरुष सब-D ， यन्त्रनेटटीएम,प्रोफिबस, एनालग | ||||||
| फिटिङ्स | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4 "M; | |||||
| कम्प्रेसन फिटिंगΦ10; कम्प्रेसन फिटिंगΦ6; | कम्प्रेसन फिटिङΦ6, | ||||||
| कम्प्रेसन फिटिंग 3/8 ";कम्प्रेसन फिटिङ १/४”; | कम्प्रेसन फिटिङΦ3, | ||||||
| कम्प्रेसन फिटिंग 1/8 ";कम्प्रेसन फिटिङΦ3; | कम्प्रेसन फिटिङ १/४”, | ||||||
| Ф6(भित्री) × 1 नली; ф5 ( भित्री) × 1.5 नली; ф4 ( भित्री) × 1 नली; | W-सिल, | ||||||
| ए-सेल; | सी-सील | ||||||
| वजन | १ किलो | ०.८ किलोग्राम | 1.2 किलो | १ किलो | 1.2 किलो | १ किलो | |
