ज्ञान - भ्याकुम भल्भ

I. भल्भको परिचय
भ्याकुम भल्भ वायु प्रवाहको दिशा परिवर्तन गर्न, ग्यास प्रवाहको आकार समायोजन गर्न, भ्याकुम प्रणालीमा पाइपलाइन काट्न वा जडान गर्न प्रयोग गरिने भ्याकुम प्रणाली घटक हो।भ्याकुम भल्भको बन्द हुने भागहरू रबर सील वा धातु सीलद्वारा बन्द गरिएको छ।

II।सामान्य भ्याकुम भल्भ अनुप्रयोगहरू।
भ्याकुम भल्भहरू
उच्च वा अति-उच्च भ्याकुम प्रणाली उपकरणहरूमा प्रयोग गरिन्छ जब भ्याकुम बन्द भ्याकुम ह्यान्डलिंग प्रणालीमा राखिएको हुनुपर्छ।भ्याकुम भल्भहरू भ्याकुम च्याम्बरमा हावाको प्रवाह नियन्त्रण गर्न, अलग गर्न, भेन्ट गर्न, दबाब घटाउन वा नियन्त्रण प्रवाह गर्न प्रयोग गरिन्छ।गेट भल्भहरू, इनलाइन भल्भहरू र कोण भल्भहरू उच्च वा अति-उच्च भ्याकुम अनुप्रयोगहरूको लागि प्रयोग हुने भ्याकुम भल्भहरूको सबैभन्दा सामान्य प्रकार हुन्।थप भल्भ प्रकारहरूमा बटरफ्लाइ भल्भहरू, ट्रान्सफर भल्भहरू, बल भल्भहरू, पेंडुलम भल्भहरू, सबै-मेटल भल्भहरू, भ्याकुम भल्भहरू, एल्युमिनियम कोण भल्भहरू, टेफ्लोन-लेपित भ्याकुम भल्भहरू र स्ट्रेट-थ्रू भल्भहरू समावेश छन्।

पुतली भल्भहरू
पाइपलाइनमा प्रवाहको दिशामा दायाँ कोणमा पिभोट गर्ने धातु डिस्क वा भ्यानहरू मिलेर छिटो खोल्ने भल्भहरू हुन् र तिनीहरूको अक्षमा घुमाउँदा, भल्भले भल्भ बडीमा सिट बन्द गर्छ।

स्थानान्तरण भल्भ (आयताकार गेट भल्भ)
लोड-लक भ्याकुम चेम्बरहरू र स्थानान्तरण कक्षहरू, र सेमीकन्डक्टर उत्पादन उपकरणहरूमा स्थानान्तरण कक्षहरू र प्रशोधन कक्षहरू बीच प्रयोगको लागि उपयुक्त विभाजन भल्भहरू।

भ्याकुम बल भल्भ्स
एकसमान सीलिंग तनावको लागि मिल्दो गोलाकार सीटहरू सहित गोलाकार क्लोजर असेंबलीको साथ क्वार्टर टर्न स्ट्रेट फ्लो भल्भहरू छन्।

पेंडुलम भल्भहरू
प्रक्रिया भ्याकुम चेम्बर र टर्बोमोलेकुलर पम्प इनलेट बीच फिट गरिएको ठूलो थ्रोटल भल्भ हो।यी भ्याकुम पेंडुलम भल्भहरू सामान्यतया OLED, FPD र PV औद्योगिक उत्पादन प्रणालीहरू सहित अनुप्रयोगहरूको लागि गेट वा पेंडुलम भल्भको रूपमा डिजाइन गरिएको हो।

सबै धातु भल्भहरू
अल्ट्रा-उच्च भ्याकुम वातावरणहरूमा प्रयोगको लागि डिजाइन गरिएको जहाँ उच्च तापमानले इलास्टोमर र क्रायोजेनिक ग्यास्केट धातुहरूको प्रयोगलाई अनुमति दिँदैन।बेक गर्न मिल्ने सबै-मेटल भल्भहरूले वायुमण्डलीय चापबाट १०-११ mbar सम्म भरपर्दो उच्च तापक्रम सील प्रदान गर्दछ।

भ्याकुम भल्भहरू
अर्धचालक उत्पादन प्रणालीहरूमा र रासायनिक र कण प्रदूषणको साथ अनुप्रयोगहरूमा विश्वसनीय रूपमा सञ्चालन गर्नुहोस्।तिनीहरू कुनै न कुनै भ्याकुम, उच्च भ्याकुम वा अल्ट्रा-उच्च भ्याकुम वातावरणमा प्रयोग गर्न सकिन्छ।

एल्युमिनियम कोण वाल्व
यी भल्भहरूको इनलेट र आउटलेट एकअर्काको दायाँ कोणमा छन्।यी कोण भल्भहरू एल्युमिनियम A6061-T6 बाट बनेका छन् र अर्धचालक र उपकरण निर्माण, R&D र औद्योगिक भ्याकुम प्रणालीहरूमा रफ देखि उच्च भ्याकुम अनुप्रयोगहरूको लागि प्रयोग गरिन्छ।

Teflon लेपित भ्याकुम भल्भ एक टिकाऊ र अत्यधिक रासायनिक प्रतिरोधी कोटिंगको साथ पूर्ण रूपमा इन्जिनियर गरिएको स्टेनलेस स्टील भ्याकुम घटक उपकरण हो।

III।वैक्यूम भल्भ को विशेषताहरु।
दबाव वायुमण्डलीय दबाव भन्दा कम छ र वाल्व फ्ल्याप मा दबाव ड्रप 1 किलो बल / सेमी भन्दा बढी हुन सक्दैन।माध्यमको काम गर्ने तापमान प्रयोग गरिएको उपकरणको प्रक्रियामा निर्भर गर्दछ।तापमान सामान्यतया -70 ~ 150 डिग्री सेल्सियसको दायरा भन्दा बढी हुँदैन।त्यस्ता भल्भहरूको लागि सबैभन्दा आधारभूत आवश्यकता भनेको जडानको उच्च डिग्री र संरचना र ग्यास्केट सामग्रीको घनत्व सुनिश्चित गर्नु हो।

मध्यम दबाव भ्याकुम भल्भ अनुसार चार समूहमा विभाजन गर्न सकिन्छ।
1) कम भ्याकुम भल्भ: मध्यम दबाव p=760~1 mmHg।
2）मध्यम भ्याकुम भल्भ: p=1×10-3 mmHg।
3）उच्च भ्याकुम भल्भ: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg।
4）अल्ट्रा-उच्च भ्याकुम भल्भ: p≤1×10-8 mmHg।

250 मिमी भन्दा कमको प्यासेज व्यास भएको क्लोज-सर्किट भल्भको रूपमा, व्यापक रूपमा प्रयोग गरिएको स्टेम रैखिक आन्दोलनको साथ भ्याकुम बेलो शट-अफ भल्भ हो।गेट भल्भहरू, तथापि, अधिक प्रतिबन्धित छन्, तर यो मुख्यतया ठूला व्यासहरूको लागि हो।गोलाकार प्लग भल्भहरू (बल भल्भ), प्लन्जर भल्भ र बटरफ्लाइ भल्भहरू पनि उपलब्ध छन्।भ्याकुम भल्भहरूका लागि प्लग भल्भहरूलाई प्रवर्द्धन गरिएको छैन किनभने तिनीहरूलाई तेल स्नेहन आवश्यक हुन्छ, यसले तेल वाष्पलाई भ्याकुम प्रणालीमा प्रवेश गर्न सम्भव बनाउँछ, जसलाई अनुमति छैन।भ्याकुम भल्भहरू मैन्युअल रूपमा र टाढाको क्षेत्रमा नियन्त्रण गर्न सकिन्छ, साथै विद्युतीय रूपमा, विद्युत चुम्बकीय (सोलेनोइड भल्भ), वायवीय र हाइड्रोलिक रूपमा।