EV-serie samengestelde moleculaire pompen
Technische gegevens van de EV-serie
Model | EV-600 EV-600F | EV-1200 EV-1200F | EV-1600 EV-1600F | ||||
Inlaatflens (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
Afzetflens (mm) | 40KF | 40KF | 50KF | ||||
Pompsnelheid (L/S) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
Compressieverhouding | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
H2 | >8X103 | >1X104 | >1X104 | ||||
Ultiem vacuüm (Pa) | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | |
Rotatiesnelheid (rpm) | 24000 | 24000 | 24000 | ||||
Trillingen | ≤0,1 μm | ≤0,1 μm | ≤0,15 μm | ||||
Aanlooptijd (min) | <4,5 | <5 | <6 | ||||
Steunpomp | 4-8 L/S | 8-15 L/S | 15 L/S | ||||
Koelmethode | Water(lucht)koeling | Water(lucht)koeling | Water(lucht)koeling | ||||
Koelwatertemperatuur (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
Omgevingstemperatuur (℃) | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
Hoeveelheid koelwaterstroom | 1-2 l/min | 1-2 l/min | 1-2 l/min | ||||
Uitbaktemperatuur (℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
Verwarmingsvermogen (w) | <250 | <300 | <300 | ||||
Ingangsspanning verwarming (v) | AC220 | AC220 | AC220 | ||||
Montage | Verticaal ±5° | Verticaal ±5° | Verticaal ±5° | ||||
Gewicht (kg) | ≈25 | ≈29 | ≈31 |
Atmosferische pompcurve van verbinding
Moleculaire pomp
Compressieverhoudingscurve van stikstof en waterstof
door samengestelde moleculaire pomp
Installatieafmetingen van de EV-serie Tabel met moleculaire pomp
Model | EV-600 | EV-1200 | EV-1600 | ||||
Inlaatflens (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
D4 | ¨145,7 | ¨145,7 | ¨167,6 | ¨167,6 | ¨183,9 | ¨183,9 | |
H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
Schroefgat pomppoot | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | |
Afzetflens (mm) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 |
EV-serie Luchtkoelingsverbinding Moleculaire pompen
De luchtgekoelde moleculaire pomp uit de EV-serie bestaat uit een turbomoleculaire pomp en een schijftractiepomp.Het heeft de kenmerken van een hoge pompsnelheid en compressieverhouding voor de moleculaire stroom van een turbomoleculaire pomp, een hoge pompsnelheid en compressieverhouding voor een hoge druk van een tractiepomp, en breidt het toepassingsgebied van de moleculaire pomp uit.
De samengestelde moleculaire pomp heeft geen selectiviteit en geen geheugeneffect op het verpompte gas.Vanwege de hoge compressieverhouding tot het gas met een hoog molecuulgewicht kan de pomp een schoon hoog- en ultrahoog vacuüm verkrijgen zonder koudeval en olieschot.Het wordt veel gebruikt op verschillende gebieden van de elektronica, de metallurgie, de chemische industrie, wetenschappelijk onderzoek en vacuümtechnologie.
Model | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
Inlaatflens (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
D3 | ¨145,7 | ¨145,7 | ¨167,6 | ¨167,6 | ¨183,8 | ¨183,8 |
H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
H2 | 217,5 | 217,5 | 210 | 210 | 214,5 | 214,5 |
H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
Schroefgat pomppoot | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 |