Massastroomregelaar Massastroommeter CS200
Functies
1. Hoge nauwkeurigheid en snelle respons
De nauwkeurigheid van de CS200 MFC is verbeterd tot ±1,0% van SP, en de meest geavanceerde modellen hebben een kortere responstijd van minder dan 0,8 sec.
2. Lage nulafwijking en temperatuurcoëfficiënt
Dankzij de uitvinding van nieuwe sensortechnologie kan de CS200 MFC de stabiliteit behouden en temperatuurschommelingen weerstaan.Zonder een versterker met automatische nulstelling is de verwachte nulafwijking minder dan 0,6% FS/jaar en is de temperatuurcoëfficiënt minder dan 0,02% FS/℃ (nul), 0,05% FS/ ℃ (spanwijdte).
3. Modellen met metalen afdichting en hoge zuiverheidsfunctie
Het bevochtigde stromingspad van de CS200 MFC is gemaakt van oppervlaktegepassiveerd roestvrij staal.Alle CS200 MFC's worden geassembleerd in Sevenstar's ultraschone klasse 100-klasse cleanrooms in overeenstemming met zowel SEMI- als ISO 9001-normen.
4. Compatibele interfaces
De CS200 MFC is compatibel met de volgende interfaces, die door de klant kunnen worden geselecteerd: ±8V-±16V dubbelzijdige voeding en +14V-+28V enkelzijdige voeding;digitale of analoge signaalinvoer en -uitvoer;SEMI standaard mechanische afmetingen;en RS-485- of DeviceNet-communicatiemodule.
5. Diverse functies
Krachtige klantensoftware wordt standaard bij elk model geleverd, terwijl extra functies zoals multi-gas, multi-range, auto-zero, alarmen, zachte start en vertraging beschikbaar zijn als klantkeuze.
Specificatie
| CS200 | |||||||
| Type | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Volledig bereik (N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |||||
| (0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Nauwkeurigheid | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS?(<35% FS) | ||||||
| Lineariteit | ±0,5% FS | ||||||
| Herhaalbaarheid | ±0,2% FS | ||||||
| Reactietijd | ≤1sec | ≤0,8 sec (SEMI E17-0600) | |||||
| Kleprustpositie | Normaal gesloten of | Geen klep | Normaal gesloten of | Geen klep | Normaal gesloten of | Geen klep | |
| Normaal open (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normaal open (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normaal open (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| Drukverschil | 0,05~0,35 MPa (stroom≤10slm) | ＜0,02 MPa | (0,05~0,35) MPa (≤10slm) | ＜0,02 MPa | (0,05~0,35) MPa (≤10slm) | ＜0,02 MPa | |
| 0,1~0,35 MPa (10slm＜Stroom≤30slm) | (0,1~0,35) MPa (>10slm) | (0,1~0,35) MPa (>10slm) | |||||
| 0,2~0,45 MPa (stroom> 30 slm) | |||||||
| Maximale bedrijfsdruk | 0,45 MPa | |||||
| Temperatuur | Nul: ≤±0,05% FS/℃; | Nul: ≤±0,02% FS/℃;Spanwijdte: ≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Coëfficiënt | Spanwijdte: ≤±0,1% FS/℃ (Flow≤30slm) | |||||
| Spanwijdte: ≤±0,2% FS/℃ (Flow>30slm) | ||||||
| Bewijs druk | 3 MPa (435 pisg) | |||||
| Nul drift | ＜0,6%FS per jaar zonder autozero | |||||
| Lekkage-integriteit | 1×10-9 atm·cc / sec He | 1×10-10atm·cc / sec He | ||||
| Bevochtigde materialen | Viton; | Metaal? (Roestvrij staal V/V, 5Ra) | Metaal | |||
| Oppervlaktechemie | —— | Cr/Fe-verhouding >2,0;CrO-dikte >20 Angstrom | ||||
| Oppervlakteafwerking | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Bedrijfstemperatuur | (5~45）℃ | (0~50）℃ | ||||
| Ingangssignaal | Digitaal: RS485 of ProfiBus | N.v.t | Digitaal: RS485 of ProfiBus of DeviceNetTM | N.v.t | Digitaal: RS485 of ProfiBus of DeviceNetTM | N.v.t |
| of DeviceNet™ | Analoog:(0~5)VDC of (4~20)mA of (0~20)mA | Analoog:(0~5)VDC of (4~20)mA? of (0~20)mA | |||||
| Analoog:(0~5)VDC of (4~20)mA of(0~20)mA | |||||||
| Uitgangssignaal | Digitaal: RS485 of DeviceNetTM of ProfiBus Analoog:(0~5)VDC of (4~20)mA of (0~20)mA | ||||||
| Stroomvoorziening | ±8 ~ ±16 VDC of +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| Elektronische connector | 9-polige mannelijke sub-D, 15-polige mannelijke sub-D, DeviceNetTM，ProfiBus, analoog | ||||||
| Uitrusting | VCR1/4” M; VCO1/4” M; | Videorecorder 1/4” M; | |||||
| Knelfitting Φ10; Knelfitting Φ6; | KnelfittingΦ6, | ||||||
| Knelfitting 3/8”;Compressiefitting 1/4 "; | CompressiefittingΦ3, | ||||||
| Knelfitting 1/8”;Compressiefitting Φ3; | Compressiefitting 1/4 ", | ||||||
| Ф6(binnen)×1slang;ф5(binnen)×1.5slang;ф4(binnen)×1slang; | W-afdichting, | ||||||
| A-sael; | C-zegel | ||||||
| Gewicht | 1 kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1 kg | 1,2 kg | 1 kg | |
