I. Introductie van klep
Vacuümklep is een onderdeel van het vacuümsysteem dat wordt gebruikt om de richting van de luchtstroom te veranderen, de grootte van de gasstroom aan te passen, de pijpleiding in het vacuümsysteem af te sluiten of aan te sluiten.De sluitende delen van de vacuümklep zijn afgedicht door een rubberen afdichting of metalen afdichting.
II.Veel voorkomende vacuümkleptoepassingen.
Vacuüm kleppen
Wordt gebruikt in hoog- of ultrahoogvacuümsysteemapparatuur wanneer het vacuüm moet worden gehandhaafd in een gesloten vacuümbehandelingssysteem.Vacuümkleppen worden gebruikt om de luchtstroom naar de vacuümkamer te regelen, te isoleren, te ontluchten, voor drukverlaging te zorgen of de geleiding te regelen.Schuifafsluiters, inline-afsluiters en hoekafsluiters zijn de meest voorkomende typen vacuümafsluiters die worden gebruikt voor hoog- of ultrahoogvacuümtoepassingen.Andere kleptypen zijn vlinderkleppen, doorstroomkleppen, kogelkranen, pendelkleppen, volledig metalen kleppen, vacuümkleppen, aluminium hoekkleppen, vacuümkleppen met teflon-coating en doorlaatkleppen.
Vlinderkleppen
zijn snel openende kleppen bestaande uit metalen schijven of schoepen die loodrecht op de stromingsrichting in de pijpleiding draaien en bij rotatie om hun as de klep de zitting in het kleplichaam afdicht.
Overgangskleppen (rechthoekige schuifafsluiters)
Scheidingskleppen geschikt voor gebruik tussen door lading vergrendelde vacuümkamers en overdrachtskamers, en tussen overdrachtskamers en verwerkingskamers in halfgeleiderproductieapparatuur.
Vacuüm kogelkranen
zijn kwartslag rechte doorstroomkleppen met een cirkelvormige sluiting met bijpassende ronde zittingen voor uniforme afdichtingsspanning.
Slingerkleppen
is een grote smoorklep die tussen de procesvacuümkamer en de inlaat van de turbomoleculaire pomp is gemonteerd.Deze vacuüm-slingerkleppen zijn doorgaans ontworpen als schuif- of slingerkleppen voor toepassingen zoals OLED-, FPD- en PV-industriële productiesystemen.
Volledig metalen kleppen
Ontworpen voor gebruik in ultrahoogvacuümomgevingen waar hoge temperaturen het gebruik van elastomeren en cryogene pakkingmetalen niet toelaten.Bakbare, volledig metalen kleppen zorgen voor een betrouwbare afdichting bij hoge temperaturen, van atmosferische druk tot onder 10-11 mbar.
Vacuüm kleppen
Werk betrouwbaar in halfgeleiderproductiesystemen en in toepassingen met chemische verontreiniging en deeltjesverontreiniging.Ze kunnen worden gebruikt in ruwvacuüm-, hoogvacuüm- of ultrahoogvacuümomgevingen.
Hoekkranen van aluminium
De inlaat en uitlaat van deze kleppen staan haaks op elkaar.Deze hoekafsluiters zijn gemaakt van aluminium A6061-T6 en worden gebruikt in de productie van halfgeleiders en instrumentatie, R&D en industriële vacuümsystemen voor ruwe tot hoogvacuümtoepassingen.
De met Teflon gecoate vacuümklep is een volledig ontworpen roestvrijstalen vacuümcomponentapparaat met een duurzame en zeer chemisch bestendige coating.
III.Kenmerken van vacuümkleppen.
De druk ligt onder de atmosferische druk en de drukval over de klepflap mag niet groter zijn dan 1 kg kracht/cm.De werktemperatuur van het medium is afhankelijk van het proces van het gebruikte apparaat.De temperatuur overschrijdt doorgaans niet het bereik van -70 ~ 150°C.De meest fundamentele vereiste voor dergelijke kleppen is het garanderen van een hoge mate van dichtheid van de verbinding en de dichtheid van de structuur en het pakkingmateriaal.
Volgens de middendruk kunnen vacuümkleppen in vier groepen worden verdeeld.
1) Laagvacuümkleppen: gemiddelde druk p=760~1 mmHg.
2）Middelvacuümkleppen: p=1×10-3 mmHg.
3）Hoogvacuümkleppen: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4) Ultrahoogvacuümklep: p≤1×10-8 mmHg.
Als gesloten circuitklep met een doorlaatdiameter van minder dan 250 mm is de veelgebruikte spindel een vacuümbalgafsluiter met lineaire beweging.Schuifafsluiters zijn echter beperkter, maar dit geldt vooral voor grote diameters.Ook leverbaar zijn bolvormige plugkranen (kogelkranen), plunjerkranen en vlinderkleppen.Plugkleppen voor vacuümkleppen zijn niet gepromoot omdat ze oliesmering vereisen, waardoor oliedampen in het vacuümsysteem terecht kunnen komen, wat niet is toegestaan.Vacuümkleppen kunnen zowel handmatig als op afstand in het veld worden bediend, maar ook elektrisch, elektromagnetisch (magneetkleppen), pneumatisch en hydraulisch.
Posttijd: 11 augustus 2022