Beijing Super Q Technology Co., Ltd. beschikt over oliegesmeerde 600L-, 1200L-, 1600L-moleculaire pompen uit de EV-serie en moleculaire pompen van het 3600L-turbinetype;vetgesmeerde 300L, 650L, 1300L, 2000L samengestelde moleculaire pompen.Dit artikel richt zich op het uitleggen van de kenmerken, installatie, gebruik en onderhoud van moleculaire pompen met vetsmering uit de EV-Z-serie.
Structuur kenmerken
De vetmoleculaire pomp uit de EV-serie gebruikt geïmporteerde keramische precisielagers, de pomprotor door de dynamische balans, stabiele en betrouwbare werking, de driefasige motor van de eekhoornkooi, lagersmering door vetsmering, kan in elke richting worden gemonteerd.
Installatie en gebruik
I. Over ultieme druk
De “Ultieme Druk” van de moleculaire pomp is gebaseerd op de internationale ISO-norm “Testmethode voor de prestaties van turbomoleculaire pompen”. Na het volledig bakken van het pomplichaam en het testdeksel (48 uur drogen en ontgassen), wordt de laagste druk gemeten bij de gespecificeerde positie van het testdeksel.druk waarde.Bij feitelijk gebruik is de waarde van 'limietdruk' gerelateerd aan de werkdruk en effectieve pompsnelheid van de geconfigureerde voorpomp.Het kiezen van een voorpomp met hogere prestaties is zeer gunstig om een hoger vacuüm te verkrijgen en de uitlaattijd te verkorten.
Bovendien moet, vanwege de bijzonderheid van het uitlaatprincipe van de moleculaire pomp, de luchtinlaat van de pomp zo breed mogelijk zijn en moet het gaspad van de vacuümkamer naar de poort van de moleculaire pomp voorkomen dat deze zoveel mogelijk draait. mogelijk, om de beste efficiëntie van de moleculaire pomp uit te oefenen, en een gegarandeerd hoger eindvacuüm.
II.Installatie
2.1 Open het pakket
Controleer vóór installatie of de moleculaire pomp tijdens het transport is beschadigd.
De methode is als volgt: raadpleeg de voedingsinstructies van de moleculaire pomp, sluit deze correct aan op de moleculaire pomp, hoef geen water of vacuüm door te laten, start de moleculaire pomp en controleer of deze draait en of er sprake is van abnormaal geluid.Als er iets abnormaals is, druk dan tijdig op de stopschakelaar om de pomp te stoppen.Opmerking: De voedingsfrequentie mag tijdens het proefdraaien niet hoger zijn dan 25 Hz
2.2 Aansluiten van de hoogvacuümflens
De aansluiting van de moleculaire pomp kan worden gehesen aan de hoogvacuümflens of op de basis worden bevestigd.De moleculaire pomp moet worden vastgezet wanneer de hoogvacuümflens van de moleculaire pomp via een metalen balg op het systeem is aangesloten.
(Het flensafdichtingsoppervlak heeft geen krassen en er mag niets op de afdichtring zitten)
2.3 Foreline vacuümaansluiting
Er moet een isolatie- en ontluchtingsklep worden geïnstalleerd tussen de voorleidingpomp en de moleculaire pomp om te voorkomen dat de mechanische pomp na uitschakeling olie retourneert.
2.4 Gaslaadapparaat aansluiten
Om een schone vacuümomgeving te hebben, kan het vacuümsysteem, nadat de moleculaire pomp is gestopt, worden gevuld met stikstof of droge lucht.Over het algemeen kan een ontluchtingsklep worden aangesloten op de voortrappijpleiding, of kan een hoogvacuümklep worden gebruikt om het gas aan het hoogvacuümuiteinde te laten ontsnappen.
III．De koeling aansluiten
Vanwege de hoge snelheid roterende wrijving van het lager, de verwarming van het pomplichaam en de temperatuurstijging van de motor, moeten het lager en de motor worden gekoeld wanneer de moleculaire pomp werkt.Over het algemeen wordt luchtkoeling gebruikt en waterkoeling wanneer de omgevingstemperatuur hoger is dan 38°C.De zachtwaterleiding met een buitendiameter van 10 mm kan rechtstreeks worden aangesloten op de waterinlaat en -uitlaat van de moleculaire pomp.Er wordt gebruik gemaakt van een circulerend watersysteem met zuiver water, maar er kan ook leidingwater met weinig neerslag worden gebruikt (de watertemperatuur moet ≤28°C zijn).
Als het water per ongeluk stopt of de watertemperatuur hoog is, zal de temperatuursensor van het moleculaire pomplichaam in actie komen, en de voeding zal onmiddellijk alarm slaan en de uitvoer stoppen.
Er is een interval van ongeveer 15 minuten (de specifieke tijd is afhankelijk van de snelheid van de temperatuurstijging) na de onverwachte waterstop of als de watertemperatuur te hoog is totdat de moleculaire pomp een alarm geeft vanwege oververhitting.
IV．Bakken
De uiteindelijke druk hangt af van de reinheid van de binnenkant van de pomp en het vacuümpad inclusief de vacuümkamer.Om in de kortst mogelijke tijd de ultieme druk te verkrijgen, moeten het vacuümsysteem en de moleculaire pomp gebakken worden.Het bakken moet worden uitgevoerd terwijl de moleculaire pomp normaal draait.
De baktemperatuur van de moleculaire pomp moet lager zijn dan 80°C, de hoogvacuümflens aangesloten op de pomppoort mag niet hoger zijn dan 120°C en de baktemperatuur van het vacuümsysteem is over het algemeen minder dan 300°C.van schade.
De baktijd is afhankelijk van de vervuilingsgraad van het systeem en de moleculaire pomp en de verwachte maximale werkdruk, maar de minimale tijd mag niet minder dan 4 uur bedragen.
Voor het verkrijgen van een vacuüm van 10-4Pa is in principe geen bakken nodig;voor het verkrijgen van een vacuüm van 10-5Pa is alleen het bakken van het vacuümsysteem zelf voldoende;voor het verkrijgen van ultrahoog vacuüm moeten het vacuümsysteem en de moleculaire pomp meestal tegelijkertijd worden gebakken.Het meetsysteem moet volledig gebakken zijn, anders zal dit de nauwkeurigheid van de meetgegevens beïnvloeden als gevolg van ontgassing.
V．Operatie
Bevestig dat het voorvacuüm beter is dan 15 Pa, druk op de RON-toets om de moleculaire pomp te starten en druk op de STOP-toets om na gebruik te stoppen.Aandacht!De softstarttoets moet worden gebruikt bij het eerste gebruik of bij hergebruik na langdurig inactief gebruik.De softstartwerking is als volgt: het huidige trapvacuüm is beter dan 15 Pa en de softstarttoets wordt ingedrukt.Na 110 minuten bereikt de moleculaire pomp de werkfrequentie van 550 Hz (550 Hz komt overeen met de moleculaire pomp EV300Z, 400 Hz komt overeen met de moleculaire pomp EV650Z, 1300Z, 2000), en druk vervolgens op de zachte starttoets (de sleutel is omhoog) om de zachte start te stoppen. begin.
(Tijdens de normale werking van de moleculaire pomp is het verboden om lucht te dragen, verplaatsen of vullen.)
VI．Onderhoud en reparatie
6.1 Pomp reinigen
Wanneer de luchtlekkage en de desorptiesnelheid van het vacuümsysteem niet veranderen en de vacuümprestaties zelfs na langdurig bakken niet kunnen worden hersteld, of wanneer de hulppomp ernstig olie terugvoert, moet de pomp worden gereinigd.
(Als de pomp gerepareerd en gereinigd moet worden, moet deze door professionele technici worden gedemonteerd.Als het zonder training wordt gedemonteerd, zijn de gevolgen voor uw eigen risico.）
6.2 Het vervangen van de lagers
Omdat de pomp gebalanceerd moet worden, kan het lager niet door de gebruiker vervangen worden.
6.3 Impactbescherming
Moleculaire pomp is een roterende machine met hoge snelheid.De opening tussen de bewegende plaat en de statische plaat is erg klein en is niet bestand tegen overmatige schokken.De snelheid en versnelling van de bewegende drager die ermee in contact komt, moeten beperkt zijn.Bovendien zullen de plotselinge impact van het atmosferische volume en het vallen van externe harde voorwerpen tijdens de normale werking van de moleculaire pomp ook ernstige schade aan de moleculaire pomp veroorzaken.
6.4 Trillingsisolatie
Meestal is de moleculaire pomp strikt getest en zijn de trillingen erg klein en kan deze rechtstreeks op het gepompte systeem worden aangesloten.Voor instrumenttoepassingen met hoge precisie (zoals elektronenmicroscopen, enz.) wordt het gebruik van trillingsisolatoren aanbevolen om de impact van trillingen op het instrument te minimaliseren.
6.5 Sterke magnetische veldafscherming
De roterende rotor genereert wervelstroom in het magnetische veld, waardoor de rotor opwarmt.Omdat de hitte de sterkte van het aluminiummateriaal zal verzwakken, is de toepassing van de moleculaire pomp in het magnetische veld tot op zekere hoogte beperkt.
6.6 elektromagnetische interferentie
Bepaalde hoogfrequente instrumenten, zoals moleculaire pompen en frequentieomvormers, kunnen elektromagnetische interferentie in de omgeving veroorzaken.Maar als er aan internationale normen wordt voldaan, zal de toepassing van moleculaire pompen niet beperkt zijn.Als aan de eisen wordt voldaan, moeten tegelijkertijd de bijbehorende certificaten worden afgegeven.
6.7 Sterke beperking van de radioactiviteit
De meeste materialen zullen hun eigenschappen veranderen in een sterk radioactieve omgeving, vooral organische materialen (zoals moleculaire pompolie, afdichtingsringen) en halfgeleidercomponenten.De moleculaire pomp is bestand tegen een stralingsintensiteit van 105rad.Door anti-radioactieve materialen te selecteren en een motoraangedreven voeding te gebruiken, kan de anti-stralingssterkte worden verbeterd.Om te voorkomen dat het radioactieve element tritium in de atmosfeer ontsnapt, moeten bij het verpompen van tritium alle afdichtingsringen in de moleculaire pomp van metaal zijn gemaakt.
6.8 Foreline pomp
Aan het hogedrukuiteinde van de prestatiecurve van de moleculaire pomp varieert de inlaatdruk van ongeveer 200 Pa tot 10-1 Pa, wat drie ordes van grootte omvat.Het gemiddelde vrije pad van gasmoleculen wordt kleiner en het pompeffect begint te verslechteren.Daarom geldt in de overgangszone: hoe groter het gebruik van de hulppomp, hoe groter de pompsnelheid van de moleculaire pomp.De voorlijnpomp moet minimaal 3 l/s zijn.
Veelvoorkomende fouten en probleemoplossing
De vetgesmeerde moleculaire pomp uit de EV-Z-serie is een mechanische vacuümpomp die luchtextractie realiseert door relatief snelle rotatie van meertraps dynamische en statische turbinebladen.De turbomoleculaire pomp heeft de kenmerken van een hoge pompsnelheid en een hoge compressieverhouding in het moleculaire stroomgebied, is energiezuiniger dan de diffusiepomp en heeft geen olie- en stoomvervuiling.De vetgesmeerde moleculaire pomp uit de EV-serie is de moleculaire pomp met de grootste pompsnelheid van 100 kalibers in China.
Deze moleculaire pomp heeft geen selectiviteit en geen geheugeneffect op het te verpompen gas.Vanwege de hoge compressieverhouding van het gas met een hoog molecuulgewicht kan de pomp een schoon hoogvacuüm en ultrahoog vacuüm verkrijgen zonder koudevallen en olieschotten..Het wordt veel gebruikt op verschillende gebieden van de elektronica, de metallurgie, de chemische industrie, wetenschappelijk onderzoek en vacuümtechnologie.
Posttijd: 01 juli 2022