Thermische gasmassastroomregelaar (MFC)
Dermalgenmezelflaagmeter(MFM) isakindofeittemeasurementofgasflow,the measuredvalgebruiksvriendelijknotcontrolledbyfLuctuationeetemperatureorpressure, niet nodigthecompensationoftemperaturandpressure.
Model | SQC-100 |
Stroombereiken (N2) | 0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM |
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
Nauwkeurigheid | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Type klepaandrijving | Normaal Gesloten |
Lineariteit | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Herhaalbaarheid | ±0,2%FS |
Reactietijd | ≤1sec |
Ingangs-/uitgangssignaal | 0~5V |
Elektrische verbinding | DB15-pin (naald) |
Operatie Tem. | 5~45℃ |
Differentiële pre. | 0,05~0,5 MPa (MFC); 0,03~3,0 MPa (MFM) |
Lekpercentage | 1×10-8SCCS (Hij) |
Max.Druk | 3MPa |
Middelmatig materiaal | 316L RVS en afdichtingsmateriaal |
Afdichtingsmateriaal | Viton, Siliconenrubber, NBR, Teflon, Metalen afdichting. |
Gezamenlijke grootte | Videorecorder 1/4”; Swagelok 1/8” 、1/4”; φ3, φ6mm |
Stroomvoorziening | +15V,50mA;-15V,200mA |
Model | SQC-200 |
Stroombereiken (N2) | MFC: 0 ~ 20, 30, 50, 100, 150, 200SLM |
MFM: 0 ~ 20, 30, 50, 100, 150, 200, 250, 300SLM | |
Nauwkeurigheid | ±2%FS |
Type klepaandrijving | Normaal Gesloten |
Lineariteit | ±2%FS |
Herhaalbaarheid | ±0,2%FS |
Reactietijd | ≤5sec |
Ingangs-/uitgangssignaal | 1~5V;4~20mA |
Elektrische verbinding | DB15-pin (naald) |
Operatie Tem. | 5~45℃ |
Differentiële pre. | 0,1 ~ 0,3 MPa (MFC); 0,05 ~ 3,0 MPa (MFM) |
Lekpercentage | 1×10-8SCCS (Hij) |
Max.Druk | 3MPa |
Middelmatig materiaal | 316L RVS en afdichtingsmateriaal |
Afdichtingsmateriaal | Viton, Siliconenrubber, NBR, ERP, Teflon |
Gezamenlijke grootte | Swagelok 3/8” 、1/2”; φ8、φ10、φ12mm |
Stroomvoorziening | 24 V, 0,5 A |
Schrijf hier uw bericht en stuur het naar ons