Stor pumpehastighet holdbar Lavstøy DRV roterende vinge luftpumpe vakuumpumpe
DRV-seriens vakuumpumpe er en to-trinns roterende vinge oljeforseglet vakuumpumpe egnet for lav- og middelsvakuumapplikasjoner, hovedsakelig brukt til å fjerne luft og andre tørre gasser.Det er et av hovedutstyret for lavt og middels vakuum, det kan brukes alene eller som forgrunn
pumpe av andre vakuumpumper.
Vakuumpumpen har egenskapene til pålitelig driftsytelse, færre slitasjedeler, lav vibrasjon, lav støy og høy effektivitet.
SV-seriens vakuumpumpe er importert fra utenlandsk avansert teknologi, og nøkkelkomponentene er importerte komponenter eller importerte
materialer.Vakuumpumpen i DRV-serien kan erstatte lignende utenlandske produkter fullstendig.
Brosjyre for EVFB Series Molecular Pump Product
Modell:
EVFB-100/301 Sammensatt integrert molekylær pumpe
EVFB-160/401 Sammensatt integrert molekylær pumpe
EVFB-160/450D Antivibrasjons molekylær pumpe
EVFB-160/701 Sammensatt integrert molekylær pumpe
EVFB-200/1401 Sammensatt integrert molekylær pumpe
EVFB-250/2201 Sammensatt integrert molekylær pumpe
EVFB-160/701 Sammensatt molekylær pumpe
EVFB-200/1401 Sammensatt molekylær pumpe
EVFB-250/2201 Sammensatt molekylær pumpe
EVFB-400/3600 Turbo molekylær pumpe
EVFB-400/4500 Turbo molekylær pumpe
Produktoversikt
Molekylær pumpe er en slags høyhastighets roterende momentumoverføringsvakuumpumpe, dens arbeidstrykkområde er vanligvis 10-1Pa ~ 10-7Pa, er et av de viktige vakuuminnsamlingsutstyrene for å oppnå høyt vakuum og ultrahøyt vakuum.Molekylær pumpe har fordelene med rask oppstartshastighet, bredt arbeidsområde, lavt strømforbruk, høy renslighet og enkelt vedlikehold.
Molekylærpumpeprodukter beskrevet i denne prøveboken er andre generasjon produkter
nylig lansert av selskapet, som hovedsakelig er designet og optimalisert for industrielt vakuum og vitenskapelige forskningsfelt, inkludert den første serien av industrielle vakuummolekylære pumpeprodukter med integrerte kontrollere og fleksible applikasjonsscenarier.I henhold til kaliberet er det hovedsakelig DN100, DN160, DN200, DN250 og DN400 og andre produkter.
Fettsmurt integrert molekylær pumpe
Hovedtrekkene til denne serien av produkter:
（1） Integrert kontroller: Integrert kontrollerdesign，Fasiliter systemintegrasjon，En viktig start-stopp；
（2） Presisjonslager: Fettsmøring presisjons keramiske kulelager，Installert i alle vinkler；
（3） Høy pålitelighet: Totale rotorer，BLDC-drivteknologi；
（4） Funksjonelt mangfold：Full utvalg av tilbehør，Tilpassede løsninger er tilgjengelig；
（5） Gi justerbar hastighetsfunksjon，For å møte kravene til en rekke pumpehastigheter；
Denne serien av produkter er hovedsakelig egnet for PVD, CVD, flytende krystallplater og andre industrielle belegg;Massespektrometri, høyenergifysikk, vakuumlekkasjedeteksjon, medisin og biologisk ingeniørfag og andre vitenskapelige forskningsfelt.
Molekylær pumpe tekniske spesifikasjoner
| Modell | EVFB-100/301 | EVFB-160/401 | EVFB-160/450D(skreddersydde） | ||||
| ☑De vakuum parametere | |||||||
| Pumping hastighet (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | He | |
| 300 | 230 | 460 | 380 | 38 | 310 | ||
| Ultimat press | < 5×10-6 Pa (LF);< 5×10 -7 Pa (CF) | < 8×10 -6 Pa (LF) < 8×10 -7 Pa (CF) | |||||
| Komprimering forhold | > | > | > | > | > 1×108 | > 1×10 3 | |
| Maksimalkontinuerliginletpress ure | 10 Pa | 2 Pa | 10 Pa | 2 Pa | 20 | 5 Pa | |
| Maksimalt kontinuerlig forlinjetrykk | 300 | 200 | 300 | 200 Pa | 20 | 10 Pa | |
| Maks foreline trykktoleranse | 1000 | 500 | 1000 | 500 Pa | 50 | 20 Pa | |
| ☑Fysisk parameter | |||||||
| Innløp flens | DN100 ISO-K (LF) eller CF | DN160 ISO-K (LF) eller CF | |||||
| Forlinje flens | DN25 ISO-KF eller DN40KF (valgfritt) | ||||||
| Rensing flens | DN16 ISO-KF | ||||||
| Vekt | 9,6 kg (ISO-K | 10 kg (ISO-K) | |||||
| 10 kg (CF) | 11 kg (CF) | ||||||
| Vibrasjon | ≤0,05 μm | ||||||
| Bråk | ≤55 dB (Standard luftkjøling) | ||||||
| Peiling | Fettsmurt keramisk kulelager | ||||||
| Drift posisjon | Noen | ||||||
| Oper.ambient Magnetisk felt | ≤3 mT (den største 10 mT, må tilpasses) | ||||||
| Opera.ambie nt | Luftkjøling | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| Vannkjøling | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Krav til kjølevann | Vanntemperatur: 15-30 ℃; trykk: 0,15Mpa; PH6~8, klart, oljefri, flyt: ≥ 1L/min. | ||||||
| Anbefalt forpumpe | 2~6 L/s | 3~8L/s | |||||
| ☑Kontroller parametere | |||||||
| Kontroller | EVFB-II | ||||||
| Roterende hastighet | 48000rp | 36000rpm | |||||
| Lav hastighet | 33600rp | 25200rpm | |||||
| Oppstart tid | ≤5 min | ||||||
| Spenning | 48VAC±2% | ||||||
| Kommunikasjon modus | RS-485 | ||||||
| Modell | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | ||||
| ☑De vakuum parametere | |||||||
| Ultimat trykk (Pa) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | ||||||
| Pumping hastighet (L/s) | N2 | He | N | He | N2 | He | |
| 6 | 5 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | ||
| Komprimering forhold | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | |
| Maksimalkontinuerliginletpress ure(Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | |
| Maksimalt kontinuerlig forlinjetrykk (Pa) | 30 | 2 | 3 | 2 | 2 | 1 | |
| Maxforelinepress uretoleranse (Pa) | 10 | 5 | 1000 | 5 | 5 | 2 | |
| ☑Fysisk parameter | |||||||
| Innløp flens | DN160 ISO-K（LF）eller CF | DN200 ISO-K (LF) eller CF | DN250 ISO-K (LF) eller | ||||
| Forlinje flens | DN25 ISO-KF eller KF40 (valgfritt) | DN40 ISO-KF eller KF50 (valgfritt) | |||||
| Rensing flens | DN16 ISO-KF | ||||||
| Anbefalt forpumpe (L/s) | 4~ | 8~ | 16~2 | ||||
| Vekt(kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ||||
| 23 (CF) | 34 | 45 (CF) | |||||
| Vibrasjon | ≤ | ||||||
| Støy (dB) | ≤ | ||||||
| Peiling | Fettsmurt keramisk kulelager | ||||||
| Drift posisjon | Noen | ||||||
| Magnetisk felt intensitet (mT) | ≤3 (Den største 10mT, må tilpasses) | ||||||
| Oper.ambient temperatur | Luft kjøling | 5~35 ℃ | |||||
| Vann kjøling | 5~40℃ | ||||||
| Avkjøling vann krav | Vanntemperatur: 15-25 ℃; trykk: 0,15Mpa, PH6~8, klart, oljefri ；flow：≥1,5L/min | ||||||
| ☑Kontroller parametere | |||||||
| Kontroller | EVFB-III-A | ||||||
| Kommunikasjon modus | RS-485 | ||||||
| Spenning(V） | 220V AC±10 % | ||||||
| Frekvens(Hz） | 50/60±5 % | ||||||
| Maksimum input Makt(W） | 100 | ||||||
| Start stopp kontroll modus | Kontrollerknapper kontrollerer start og stopp /RS485-kontrollerstart og stopp /DB15 Kontroller start og stopp | ||||||
| Beskyttelser | Kontroller overstrøm, overspenning, underspenning, overopphetingsbeskyttelse, molekylær pumpe overstrøm, overbelastning, overopphetingsbeskyttelse, etc. | ||||||
| Roterende hastighet (r/min) | 36000±0,1 % | 30 000±0,1 % | 24000±0,1 % | ||||
| Lav hastighet (r/min) | 25200±0,1 % | 21000±0,1 % | 16800±0,1 % | ||||
| Nåværende(A） | ≤0,6 | ≤1 | ≤1 | ||||
| Beskyttelse lunte(A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | ||||
| Oppstartstid(min） | ~5 | ~6 | ~7 | ||||
| Nedetid(min） | ~5 | ~10 | ~12 | ||||
Overordnet dimensjon
| Modell | DN | d1 | h | h1 | h2 | d2 | n |
| EVFB-100/301 | 100 LF | 130 | 253,5 | 180 | 170 | — | — |
| 100 CF | 152 | 274,5 | 201 | 191 | 130,3 | 16 | |
| EVFB-160/401 | 160 LF | 180 | 239,5 | 169,5 | 159,5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 238,5 | 168,5 | 158,5 | 181 | 20 | |
| EVFB-160/450D | 160 LF | 180 | 243 | 169,5 | 159,5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 242 | 168,5 | 158,5 | 181 | 20 |
| Modell | DN | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 | 160 LF | 180 | 218,5 | 241,8 | 336,8 | 201.8 | 124,8 |
| EVFB-160/701 | 160CF | 202 | 218,5 | 268,8 | 359,8 | 224,8 | 124,8 |
| EVFB-200/1400 | 200 LF | 240 | 267 | 257,5 | 352,5 | 231,5 | 155,1 |
| EVFB-200/1401 | 200CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248,5 | 155,1 |
| EVFB-250/2200 | 250 LF | 290 | 296 | 229,8 | 324,8 | 203,8 | 165,3 |
| EVFB-250/2201 | 250CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165,3 |
Bestilling Informasjon
| Antall | Produkt modell | Produkt kode | Tilbehør | RekkefølgeAntall | Forklare |
|
1 |
EVFB-100/301(LF) |
A3123 | standard molekylær pumpe | A3123 | Standardpumpen (luftkjøling er standard som standard) |
| Tilbehør til spyleventiler(liten flyt) | A3123-A | Standardpumpen + renseventiltilbehør (liten strømning) | |||
| Vannkjølende komponenter | A3123-B | Standardpumpen + vannkjølingskomponenter（Bytt ut luftkjølte komponenter） | |||
| Tilbehør til spyleventiler （liten strømning）、Vannkjølende komponenter | A3123-C | Standardpumpen + spyleventiltilbehør（liten strømning）+ Vannkjølingskomponenter（Skift ut luftkjølte komponenter） | |||
|
2 |
EVFB-100/301(CF) |
A3124 | standard molekylær pumpe | A3124 | Standardpumpen (luftkjøling er standard som standard) |
| Tilbehør til spyleventiler(liten flyt) | A3124-A | Standardpumpen + renseventiltilbehør (liten strømning) | |||
| Vannkjølende komponenter | A3124-B | Standardpumpen + vannkjølingskomponenter（Bytt ut luftkjølte komponenter） | |||
| Tilbehør til spyleventiler （liten strømning）、Vannkjølende komponenter | A3124-C | Standardpumpen + spyleventiltilbehør（liten strømning）+ Vannkjølingskomponenter（Skift ut luftkjølte komponenter） | |||
|
3 |
EVFB-160/401(LF) |
A3127 | standard molekylær pumpe | A3127 | Standardpumpen (luftkjøling er standard som standard) |
| Tilbehør til spyleventiler(liten flyt) | A3127-A | Standardpumpen + renseventiltilbehør (liten strømning) | |||
| Vannkjølende komponenter | A3127-B | Standardpumpen + vannkjølingskomponenter（Bytt ut luftkjølte komponenter） | |||
| Tilbehør til spyleventiler （liten strømning）、Vannkjølende komponenter | A3127-C | Standardpumpen + spyleventiltilbehør（liten strømning）+ Vannkjølingskomponenter（Skift ut luftkjølte komponenter） | |||
|
4 |
EVFB-160/401(CF) |
A3128 | standard molekylær pumpe | A3128 | Standardpumpen (luftkjøling er standard som standard) |
| Tilbehør til spyleventiler(liten flyt) | A3128-A | Standardpumpen + renseventiltilbehør (liten strømning) | |||
| Vannkjølende komponenter | A3128-B | Standardpumpen + vannkjølingskomponenter（Bytt ut luftkjølte komponenter） | |||
| Tilbehør til spyleventiler | A3128-C | Standard pumpe + renseventil |
| （liten strømning）、Vannkjølende komponenter | tilbehør（liten strømning）+ Vannkjølingskomponenter(Byttluftkjølte komponenter) | ||||
|
5 |
EVFB-160/450D(LF) |
A3129 | standard molekylær pumpe | A3129 | Standardpumpen (luftkjøling er standard som standard) |
| Tilbehør til spyleventiler(liten flyt) | A3129-A | Standardpumpen + renseventiltilbehør (liten strømning) | |||
| Vannkjølende komponenter | A3129-B | Standardpumpen + vannkjølingskomponenter（Bytt ut luftkjølte komponenter） | |||
| Tilbehør til spyleventiler （liten strømning）、Vannkjølende komponenter | A3129-C | Standardpumpen + spyleventiltilbehør（liten strømning）+ Vannkjølingskomponenter（Skift ut luftkjølte komponenter） | |||
|
6 |
EVFB-160/450D(CF) |
A3130 | standard molekylær pumpe | A3130 | Standardpumpen (luftkjøling er standard som standard) |
| Tilbehør til spyleventiler(liten flyt) | A3130-A | Standardpumpen + renseventiltilbehør (liten strømning) | |||
| Vannkjølende komponenter | A3130-B | Standardpumpen + vannkjølingskomponenter（Bytt ut luftkjølte komponenter） | |||
| Tilbehør til spyleventiler （liten strømning）、Vannkjølende komponenter | A3130-C | Standardpumpen + spyleventiltilbehør（liten strømning）+ Vannkjølingskomponenter（Skift ut luftkjølte komponenter） | |||
|
7 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139 | standard molekylær pumpe | A3139 | Standard pumpe (vannkjølinger standard som standard) |
| Tilbehør til spyleventiler | A3139-A | Standard pumpe + renseventiltilbehør | |||
| Viftekomponenter | A3139-B | Standard pumpe + vifte | |||
| Renseventiltilbehør,Viftekomponenter | A3139-C | Standard pumpe + renseventiltilbehør + Viftekomponenter | |||
|
8 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140 | standard molekylær pumpe | A3140 | Standard pumpe (vannkjølinger standard som standard) |
| Tilbehør til spyleventiler | A3140-A | Standard pumpe + renseventiltilbehør | |||
| Viftekomponenter | A3140-B | Standard pumpe + viftekomponenter | |||
| Renseventiltilbehør,Viftekomponenter | A3140-C | Standard pumpe + renseventiltilbehør + Viftekomponenter | |||
|
9 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135 | standard molekylær pumpe | A3135 | Standardpumpen (Vannkjøling er standard som standard) |
| Tilbehør til spyleventiler | A3135-A | Standard pumpe + renseventiltilbehør | |||
| Viftekomponenter | A3135-B | Standard pumpe + viftekomponenter | |||
| Renseventiltilbehør, | A3135-C | Standard pumpe + renseventil |
| Viftekomponenter | tilbehør + Viftekomponenter | ||||
|
10 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136 | standard molekylær pumpe | A3136 | Standardpumpen (Vannkjøling er standard som standard) |
| Tilbehør til spyleventiler | A3136-A | Standard pumpe + renseventiltilbehør | |||
| Viftekomponenter | A3136-B | Standard pumpe + viftekomponenter | |||
| Tilbehør til spyleventiler、 | A3136-C | Standard pumpe + renseventiltilbehør + Viftekomponenter | |||
|
11 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141 | standard molekylær pumpe | A3141 | Standardpumpen (Vannkjøling er standard som standard) |
| Tilbehør til spyleventiler | A3141-A | Standard pumpe + renseventiltilbehør | |||
| Viftekomponenter | A3141-B | Standard pumpe + vifte | |||
| Tilbehør til spyleventiler、Viftekomponenter | A3141-C | Standard pumpe + renseventiltilbehør + Viftekomponenter | |||
|
12 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142 | standard molekylær pumpe | A3142 | Standardpumpen (Vannkjøling er standard som standard) |
| Tilbehør til spyleventiler | A3142-A | Standard pumpe + renseventiltilbehør | |||
| Viftekomponenter | A3142-B | Standard pumpe + vifte | |||
| Tilbehør til spyleventiler、 | A3142-C | Standard pumpe + renseventiltilbehør + Viftekomponenter | |||
| 13 | EVFB-II | A3261 | - | A3261 | Molekylær pumpekontroller（ Egnet for molekylære pumper som EVFB-100/301、EVFB-160/401、EVFB-100/450D） |
| 14 | EVFB-III-A | A3263 | - | A3263 | Molekylær pumpekontroller（ Egnet for molekylære pumper som EVFB-160/701、EVFB-200/1401、EVFB-250/2201） |
Separerte Compound molekylære pumper
Hovedtrekk ved denne produktserien:
（1） Separat kontroller：AC220V strømforsyning，En nøkkel start-stopp；
（2） Høy pålitelighet: Totale rotorer，BLDC-drivteknologi；
（3） Presisjonslager：Presisjons keramiske kulelager，Installert i alle vinkler（Bare fettsmurte modeller）；
（4） Funksjonelt mangfold：Full utvalg av tilbehør，Tilpassede løsninger er tilgjengelig；
（5） Gi justerbar hastighetsfunksjon，For å møte kravene til en rekke pumpehastigheter； Denne serien av produkter er hovedsakelig egnet for PVD, CVD, flytende krystallplater og andre
industriell belegg, vitenskapelig forskning og andre felt.
Molekylær pumpe tekniske parametere
| Modell | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | EVFB-400/3600 | EVFB-400/4500 | |||||
| ☑De vakuum parametere | ||||||||||
| Ultimatepressur (Pa) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | |||||||||
| Pumping hastighet (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | H | N2 | He | N2 | He |
| 650 | 550 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | 3600 | 3000 | 4800 | 3500 | |
| Kompresjonsforhold | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | >1x108 | >6x102 | >1x108 | >8x103 |
| Maksimum kontinuerlige innløptrykk (Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | 0,05 | 0,02 | 0,03 | 0,01 |
| Maksimumkontinuerlige Forlinje | 300 | 200 | 300 | 200 | 200 | 100 | 50 | 35 | 40 | 30 |
| Maxforeline trykktoleranse (Pa) | 1000 | 500 | 1000 | 500 | 500 | 200 | 340 | 160 | 160 | 80 |
| ☑Fysisk parameter | ||||||||||
| Innløp flens | DN160 ISO-K（LF）ellerCF | DN200 ISO-K（LF）ellerCF | DN250 ISO-K（LF）ellerCF | DN400 ISO-K（LF）ellerCF | DN400 ISO-K（LF）ellerCF | |||||
| Forlinje flens | DN25 ISO-KF,KF40 (valgfritt) | DN40 ISO-KF，KF50（Valgfritt） | DN100 ISO-K（LF） | DN100 ISO-K（LF）ellerKF50 (Valgfritt) | ||||||
| Rensing flens | DN16 ISO-KF | / | DN16 ISO-KF | |||||||
| Anbefalt | 4~10 l/s | 8~16 L/s | 16~24 L/s | 30~70 L/s | ||||||
| Vekt(kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ≈ 100 ISO-K(LF) | ≈ 83 ISO-K(LF) | |
| 23 (CF) | 34 (CF) | 45 (CF) | ≈ 105 (CF) | ≈ 88 (CF) | ||
| Vibrasjon | ≤ 0,05 | ≤ 0,3 | ||||
| Bråk (dB) | ≤ 50 | ≤ 60 | ||||
| Peiling | Fettsmurt keramisk kulelager | Keramisk kulelager | ||||
| Drift posisjon | Noen | Vertikal±5° | ||||
| Oper.Ambient Magnetfelt | ≤ 3mT (den største 10mT, må tilpasses) | ≤ 3mT | ||||
| Oper.omgivende temperatur | Luft kjøling | 5~35oC | / | / | ||
| Vannkjøling | 5~40oC | |||||
| Avkjøling vann krav | Vanntemperatur: 15-25 ℃; sikker: 0,15 Mpa; strømning: ≥ 1,5 l/min. | flow：≥ 3L/min | ||||
| ☑Kontroller parametere | ||||||
| Separert kontrolleren | EVFB-III-B（2U） | EVFB-VI（4U） | ||||
| Fjernkontroll kontroll | Ultra-avstandskontroll (vennligst kontakt våre ingeniører) | |||||
| Kommunikasjon modus | RS-485 | |||||
| Spenning(V） | Fra 100 til 240VAC（± | 220VAC（±10%） | ||||
| Frekvens(Hz） | 50/60Hz±5 % | |||||
| Maksimal inngangseffekt(W） | 1000 | 1500 | ||||
| Start stopp kontroll modus | Kontrollerknapper kontrollerer start og stopp /RS485-kontrollerstart og stopp /DB15 Kontroller start og stopp | |||||
| Beskyttelser | Kontroller overstrøm, overspenning, underspenning, overopphetingsbeskyttelse, molekylær pumpe overstrøm,overbelastning, overopphetingsbeskyttelse osv | |||||
| Roterende hastighet (r/min) | 36000±0,1 % | 30 000±0,1 % | 24000±0,1 % | 13500±0,1 % | 16200±0,1 % | |
| Lav hastighet (r/min) | 25200±0,1 % | 21000±0,1 % | 16800±0,1 % | / | ||
| Nåværende(A） | ≤ 0,6 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 5 | ||
| Beskyttelse lunte(A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 12 | ||
| Oppstart tid(min） | ~5 | ~6 | ~7 | ~20 | ||
| Nedetid(min） | ~5 | ~10 | ~12 | ~30 | ||
| Oper. omgivende betingelse | Ingen etsende gasser og åpenbare støvpartikler; miljøtemperatur: -10 ℃ ~ 50 ℃ ； miljøfuktighet: ≤ 90 %, vibrasjonsintensitet: ≤ 0,5 g | |||||
0verall dimensjon
| Modell | D N | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 EVFB-160/701 | 160 LF | 180 | 218,5 | 241,8 | 336,8 | 201.8 | 124,8 |
| 160CF | 202 | 218,5 | 268,8 | 359,8 | 224,8 | 124,8 | |
| EVFB-200/1400 EVFB-200/1401 | 200 LF | 240 | 267 | 257,5 | 352,5 | 231,5 | 155,1 |
| 200CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248,5 | 155,1 | |
| EVFB-250/2200 EVFB-250/2201 | 250 LF | 290 | 296 | 229,8 | 324,8 | 203,8 | 165,3 |
| 250CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165,3 |
EVFB-400/3600 Turbomolekylære pumpedimensjoner
EVFB-400/4500 Turbomolekylære pumpedimensjoner
Utseende til separert kontroller
EVFB-III-B（2U）separert kontroller
EVFB-VI（4U）separert kontroller
Rekkefølge Informasjon
| Antall | Produkt modell | produkt kode | Tilbehør | Rekkefølge Antall | Forklare |
|
1 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139-F | Standard molekylær pumpe | A3139-F | Standardpumpen (Vannkjøling er standard som standard) |
| Tilbehør til spyleventiler | A3139-FA | Standard pumpe + spyleventiltilbehør | |||
| Viftekomponenter | A3139-FB | Standard pumpe + viftekomponenter | |||
| Renseventiltilbehør、Viftekomponenter | A3139-FC | Standardpumpen + spyleventiltilbehør + viftekomponenter | |||
|
2 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140-F | standard molekylær pumpe | A3140-F | Standardpumpen (Vannkjøling er standard som standard) |
| Tilbehør til spyleventiler | A3140-FA | Standard pumpe + spyleventiltilbehør | |||
| Viftekomponenter | A3140-FB | Standard pumpe + viftekomponenter | |||
| Renseventiltilbehør、Viftekomponenter | A3140-FC | Standardpumpen + spyleventiltilbehør + viftekomponenter | |||
|
3 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135-F | standard molekylær pumpe | A3135-F | Standard pumpe (vannkjøling er standard som standard) |
| Tilbehør til spyleventiler | A3135-FA | Standard pumpe + spyleventiltilbehør | |||
| Viftekomponenter | A3135-FB | Standard pumpe + viftekomponenter | |||
| Renseventiltilbehør、Viftekomponenter | A3135-FC | Standardpumpen + spyleventiltilbehør + viftekomponenter | |||
|
4 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136-F | standard molekylær pumpe | A3136-F | Standardpumpen (Vannkjøling er standard som standard) |
| Tilbehør til spyleventiler | A3136-FA | Standard pumpe + spyleventiltilbehør | |||
| Viftekomponenter | A3136-FB | Standard pumpe + viftekomponenter | |||
| Renseventiltilbehør、Viftekomponenter | A3136-FC | Standardpumpen + spyleventiltilbehør + viftekomponenter | |||
|
5 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141-F | standard molekylær pumpe | A3141-F | Standardpumpen (Vannkjøling er standard som standard) |
| Tilbehør til spyleventiler | A3141-FA | Standard pumpe + spyleventiltilbehør | |||
| Viftekomponenter | A3141-FB | Standard pumpe + viftekomponenter | |||
| Renseventiltilbehør、Viftekomponenter | A3141-FC | Standardpumpen + spyleventiltilbehør + viftekomponenter | |||
|
6 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142-F | standard molekylær pumpe | A3142-F | Standardpumpen (Vannkjøling er standard som standard) |
| Tilbehør til spyleventiler | A3142-FA | Standard pumpe + spyleventiltilbehør | |||
| Viftekomponenter | A3142-FB | Standard pumpe + viftekomponenter | |||
| Tilbehør til spyleventiler | A3142-FC | Standard pumpe + renseventil |
| Viftekomponenter | tilbehør + Viftekomponenter | ||||
| 7 | EVFB-400/3600(LF) | A3187 | standard molekylær pumpe | A3187 | Standard pumpe (vannkjøling er standard som standard) |
| 8 | EVFB-400/3600(CF) | A3188 | standard molekylær pumpe | A3188 | Standard pumpe (vannkjøling er standard som standard) |
|
9 |
EVFB-400/4500(LF) |
A3185 | standard molekylær pumpe | A3185 | Standardpumpen (Vannkjøling er standard som standard) |
| Tilbehør til spyleventiler | A3185-A | Standard pumpe + spyleventiltilbehør | |||
|
10 |
EVFB-400/4500(CF) |
A3186 | standard molekylær pumpe | A3186 | Standardpumpen (Vannkjøling er standard som standard) |
| Tilbehør til spyleventiler | A3186-A | Standard pumpe + spyleventiltilbehør | |||
|
11 |
EVFB-III-HMI |
A3261-1 |
Håndbetjent panel |
A3261-1 | Kundevalgfritt ，Passer for molekylære pumper som EVFB-160/701 、 EVFB-200/1401 、EVFB-250/2201 |
| 12 | EVFB-VI | A3270 | Separert kontroller （4U） | A3270 | Egnet for turbo molekylære pumper som EVFB-400/3600, EVFB-400/450 |
| 13 | EVFB-III-B | A3264 | Separert kontroller （2U） | A3264 | Egnet for molekylære pumper som EVFB-160/701 、 EVFB- 200/1401 、 EVFB-250/2201 (separert type) |
