Massestrømkontroller Massestrømmåler CS200
Egenskaper
1. Høy nøyaktighet og rask respons
Nøyaktigheten til CS200 MFC er forbedret til ±1,0 % av SP, og de mest avanserte modellene har en redusert responstid på mindre enn 0,8 sek.
2. Lav nulldrift og temperaturkoeffisient
Oppfinnelsen av ny sensorteknologi gjør det mulig for CS200 MFC å opprettholde stabilitet og tåle temperatursvingninger.Uten en auto-null forsterker er forventet nulldrift mindre enn 0,6 %FS/år, og temperaturkoeffisienten er mindre enn 0,02%FS/℃(null)，0,05%FS/℃ (spennvidde).
3. Metallforseglede modeller og funksjon med høy renhet
Den fuktede strømningsbanen til CS200 MFC er konstruert av overflatepassivert rustfritt stål.Alle CS200 MFC-er er satt sammen i Sevenstars ultrarene klasse 100-klasse renrom i henhold til både SEMI og ISO 9001 standarder.
4. Kompatible grensesnitt
CS200 MFC er kompatibel med følgende grensesnitt, som kan velges av kunden: ±8V-±16V tosidig strømforsyning og +14V-+28V enkelsidig strømforsyning;digital eller analog signalinngang og utgang;SEMI standard mekaniske dimensjoner;og RS-485 eller DeviceNet kommunikasjonsmodul.
5. Diverse funksjoner
Kraftig kundeprogramvare leveres som standard med hver modell, mens tilleggsfunksjoner som multi-gass, multi-range, auto-null, alarmer, myk start og forsinkelse er tilgjengelige som kundevalg.
Spesifikasjon
| CS200 | |||||||
| Type | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Fullskalaområde (N2) | ( 0–5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0–2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0–1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0–1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Nøyaktighet | ±1,0 % SP (≥35 % FS) ±0,35 % FS?(＜35 % FS) | ||||||
| Linearitet | ±0,5 % FS | ||||||
| Repeterbarhet | ±0,2 % FS | ||||||
| Responstid | ≤1 sek | ≤0,8 sek (SEMI E17-0600) | |||||
| Ventilhvileposisjon | Normalt stengt eller | Ingen ventil | Normalt stengt eller | Ingen ventil | Normalt stengt eller | Ingen ventil | |
| Normalt åpen（100 sccm≤FS≤5 slm） | Normalt åpen（100 sccm≤FS≤5 slm） | Normalt åpen（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Differensialtrykk | 0,05–0,35 MPa （Flow≤10slm） | ＜0,02 MPa | (0,05–0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02 MPa | (0,05–0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02 MPa | |
| 0,1–0,35 MPa（10slm＜Flow≤30slm） | (0,1–0,35) MPa（＞10slm） | (0,1–0,35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0,2–0,45 MPa (Flow＞30slm) | |||||||
| Maksimalt driftstrykk | 0,45 MPa | |||||
| Temperatur | Null:≤±0,05 % FS/℃; | Null:≤±0,02 % FS/℃;Spennvidde: ≤±0,05 % FS/℃ | ||||
| Koeffisient | Spennvidde: ≤±0,1 % FS/℃（Flow≤30slm） | |||||
| Spennvidde: ≤±0,2 % FS/℃（Flow>30slm） | ||||||
| Bevistrykk | 3 MPa (435 pisg) | |||||
| Null drift | ＜0,6 %FS per år uten autonull | |||||
| Lekkasjeintegritet | 1×10-9 atm·cc/sek He | 1×10-10atm·cc/sek He | ||||
| Fukte materialer | Viton; | Metall? (rustfritt stål V/V, 5Ra) | Metall | |||
| Overflatekjemi | —— | Cr/Fe-forhold -2,0;CrO-tykkelse ＞20 Ångstrøm | ||||
| Overflatefinish | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Driftstemperatur | (5–45）℃ | (0–50）℃ | ||||
| Inngangssignal | Digital: RS485 eller ProfiBus | N/A | Digital: RS485 eller ProfiBus eller DeviceNetTM | N/A | Digital: RS485 eller ProfiBus eller DeviceNetTM | N/A |
| eller DeviceNetTM | Analog:(0–5)VDC eller (4–20)mA eller (0–20)mA | Analog:(0–5)VDC eller (4–20)mA?eller (0–20)mA | |||||
| Analog:(0–5)VDC eller (4–20)mA eller(0–20)mA | |||||||
| Utgangssignal | Digital: RS485 eller DeviceNetTM eller ProfiBus Analog:(0～5)VDC eller (4～20)mA eller (0～20)mA | ||||||
| Strømforsyning | ±8 ~ ±16 VDC eller +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| Elektronisk kontakt | 9 pins hann sub-D ，15 pin hann sub-D ，DeviceNetTM,ProfiBus ，Analog | ||||||
| Beslag | VCR1/4" M； VCO1/4" M； | VCR1/4” M; | |||||
| KompresjonstilpasningΦ10;KompresjonstilpasningΦ6； | KompresjonstilpasningΦ6, | ||||||
| Kompresjonsfitting 3/8”;Kompresjonstilpasning 1/4"; | KompresjonstilpasningΦ3, | ||||||
| Kompresjonstilpasning 1/8”;KompresjonstilpasningΦ3； | Kompresjonstilpasning 1/4”， | ||||||
| Ф6(indre)×1slange;ф5(indre)×1,5slange;ф4(indre)×1slange; | W-forsegling, | ||||||
| A-sael ; | C-tetning | ||||||
| Vekt | 1 kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1 kg | 1,2 kg | 1 kg | |
