Massestrømkontrollere (MFC) gir nøyaktig måling og kontroll av massestrømmen av gasser.
I. Hva er forskjellen mellom en MFC og en MFM?
Massestrømmåler (MFM) er et slags instrument som måler gassstrøm nøyaktig, og måleverdien er ikke unøyaktig på grunn av svingninger i temperatur eller trykk, og krever ikke temperatur- og trykkkompensasjon. Massestrømskontrolleren (MFC) ikke bare har funksjonen til en massestrømmåler, men enda viktigere kan den automatisk kontrollere gassstrømmen, det vil si at brukeren kan stille inn strømmen i henhold til deres behov, og MFC holder automatisk strømmen konstant på den innstilte verdien, selv om systemtrykket Svingninger eller endringer i omgivelsestemperaturen vil ikke føre til at det avviker fra innstilt verdi.Massestrømskontrolleren er en jevnstrømsenhet, som er en jevnstrømsenhet for gass som kan stilles inn manuelt eller automatisk kontrolleres ved tilkobling til en datamaskin.Massestrømmålere måler kun, men kontrollerer ikke.Massestrømsregulatoren har en reguleringsventil, som både kan måle og kontrollere gassstrømmen.
II.Hva er strukturen ogdriftsprinsipp?
1, struktur
2, Driftsprinsipp
Når strømmen kommer inn i inntaksrøret, går det meste av strømmen gjennom avlederkanalen, hvorav en liten del går inn i kapillarrøret inne i sensoren.På grunn av den spesielle strukturen til
avlederkanalen, kan de to delene av gassstrømmen være direkte proporsjonale.Føleren er forvarmet og oppvarmet, og temperaturen inne er høyere enn temperaturen på inntaksluften.På dette tidspunktet måles massestrømmen til den lille delen av gassen ved prinsippet om varmeoverføring av kapillarrøret og prinsippet om temperaturdifferansekalorimetri.Strømmen av gass målt på denne måten kan ignorere effekten av temperatur og trykk.Strømningsmålesignalet som er oppdaget av sensoren, føres inn til kretskortet og forsterkes og sendes ut, og funksjonen til MFM er fullført.Legger til PID lukket sløyfe automatisk kontrollfunksjon til kretskortet, Sammenlign strømningsmålesignalet målt av sensoren med det innstilte signalet gitt av brukeren.Basert på dette styres reguleringsventilen slik at strømningsdeteksjonssignalet er lik innstilt signal, og realiserer dermed funksjonen til MFC.
III.Applikasjoner og funksjoner.
MFC, som er mye brukt i feltene som: halvleder- og IC-fabrikasjon, spesialmaterialvitenskap, kjemisk industri, petroleumsindustri, farmasøytisk industri, miljøvern og vakuumsystemforskning, etc.. De typiske bruksområdene inkluderer: mikroelektronisk prosessutstyr som diffusjon , oksidasjon, epitaksi, CVD, plasmaetsing, sputtering, ioneimplantasjon;vakuumavsetningsutstyr, optisk fibersmelting, mikroreaksjonsutstyr, blandings- og matchinggasssystem, kapillærstrømningskontrollsystem, gasskromatograf og andre analytiske instrumenter.
MFC gir høy nøyaktighet, utmerket repeterbarhet, rask respons, mykstart, bedre pålitelighet, bredt utvalg av driftstrykk (god drift i høytrykks- og vakuumsituasjoner), enkel, praktisk drift, fleksibel installasjon, mulig tilkobling til PC for å utføre automatisk kontroll til brukernes system.
IV.Hvordan bestemme og håndtere fproblemer?
Vårt firma har profesjonell ettersalgsingeniør, kan hjelpe deg med å løse problemer med installasjon og bruk.
Innleggstid: 29. juli 2022