Kunnskap – Vakuumventiler

I. Innføring av ventil
Vakuumventil er en vakuumsystemkomponent som brukes til å endre luftstrømmens retning, justere størrelsen på gassstrømmen, kutte av eller koble til rørledningen i vakuumsystemet.De lukkende delene av vakuumventilen er forseglet med gummipakning eller metalltetning.

II.Vanlige vakuumventilapplikasjoner.
Vakuumventiler
Brukes i utstyr med høyt eller ultrahøyt vakuum når vakuum må opprettholdes i et lukket vakuumhåndteringssystem.Vakuumventiler brukes til å kontrollere luftstrømmen inn i vakuumkammeret, isolere, lufte, gi trykkreduksjon eller kontrollere ledning.Slukeventiler, inline-ventiler og vinkelventiler er de vanligste typene vakuumventiler som brukes til høy- eller ultrahøyvakuumapplikasjoner.Ytterligere ventiltyper inkluderer spjeldventiler, overføringsventiler, kuleventiler, pendelventiler, helmetallventiler, vakuumventiler, aluminiumsvinkelventiler, teflonbelagte vakuumventiler og gjennomgående ventiler.

Sommerfuglventiler
er hurtigåpnede ventiler som består av metallskiver eller skovler som svinger vinkelrett på strømningsretningen i rørledningen, og når den roteres om deres akse, tetter ventilen setet i ventilhuset.

Overføringsventiler (rektangulære sluseventiler)
Separasjonsventiler egnet for bruk mellom lastlåste vakuumkamre og overføringskamre, og mellom overføringskamre og prosesseringskamre i halvlederproduksjonsutstyr.

Vakuum kuleventiler
er kvart omdreinings rette strømningsventiler med en sirkulær lukkeenhet med matchende sirkulære seter for jevn tetningsspenning.

Pendelventiler
er en stor strupeventil montert mellom prosessvakuumkammeret og turbomolekylærpumpens innløp.Disse vakuumpendelventilene er typisk utformet som port- eller pendelventiler for applikasjoner inkludert OLED, FPD og PV industrielle produksjonssystemer.

Helmetallventiler
Designet for bruk i miljøer med ultrahøyt vakuum der høye temperaturer ikke tillater bruk av elastomerer og kryogene pakningsmetaller.Stekbare helmetallventiler gir pålitelig høytemperaturtetning fra atmosfærisk trykk til under 10-11 mbar.

Vakuumventiler
Fungerer pålitelig i halvlederproduksjonssystemer og i applikasjoner med kjemisk og partikkelforurensning.De kan brukes i miljøer med grovt vakuum, høyvakuum eller ultrahøyt vakuum.

Vinkelventiler i aluminium
Innløpet og utløpet til disse ventilene er i rette vinkler på hverandre.Disse vinkelventilene er laget av aluminium A6061-T6 og brukes i halvleder- og instrumentproduksjon, FoU og industrielle vakuumsystemer for grov til høyvakuumapplikasjoner.

Den Teflon-belagte vakuumventilen er en fullstendig konstruert vakuumkomponentenhet i rustfritt stål med et slitesterkt og svært kjemisk motstandsdyktig belegg.

III.Egenskaper til vakuumventiler.
Trykket er under atmosfærisk trykk og trykkfallet over ventilklaffen kan ikke overstige 1 kg kraft/cm.Arbeidstemperaturen til mediet avhenger av prosessen til enheten som brukes.Temperaturen overstiger vanligvis ikke området -70 ~ 150°C.Det mest grunnleggende kravet til slike ventiler er å sikre en høy grad av tetthet av forbindelsen og tettheten til strukturen og pakningsmaterialet.

I henhold til middels trykk kan vakuumventiler deles inn i fire grupper.
1) Lavvakuumventiler: middels trykk p=760~1 mmHg.
2）Middelsvakuumventiler: p=1×10-3 mmHg.
3） Høyvakuumventiler: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）Ultrahøyvakuumventil: p≤1×10-8 mmHg.

Som en lukket kretsventil med en passasjediameter på mindre enn 250 mm, er den mye brukte stammen en vakuumbelg stengeventil med lineær bevegelse.Portventiler er imidlertid mer begrensede, men dette er hovedsakelig for store diametre.Også tilgjengelig er sfæriske pluggventiler (kuleventiler), stempelventiler og spjeldventiler.Pluggventiler for vakuumventiler har ikke blitt promotert fordi de krever oljesmøring, noe som gjør det mulig for oljedamp å komme inn i vakuumsystemet, noe som ikke er tillatt.Vakuumventiler kan styres manuelt og fjernstyrt i felt, samt elektrisk, elektromagnetisk (magnetventiler), pneumatisk og hydraulisk.