Termisk gass massestrømskontroller (MFC)
Dermalgermassflavmeter(MFM) erkindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressja, trenger ikkethecompensationoftemperatureandpressure.
Modell | SQC-100 |
Strømningsområder (N2) | 0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM |
0–1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
Nøyaktighet | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Type ventildrift | Normal Lukket |
Linearitet | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Repeterbarhet | ±0,2%FS |
Responstid | ≤1 sek |
Inn-/utgangssignal | 0~5V |
Elektrisk skjøt | DB15 pin (nål) |
Operasjon Tem. | 5 ~ 45 ℃ |
Differensial Pre. | 0,05–0,5 MPa (MFC); 0,03–3,0 MPa (MFM) |
Lekkasjefrekvens | 1×10-8SCCS (He) |
Maks.Press | 3 MPa |
Middels materiale | 316L SS og tetningsmateriale |
Tetningsmateriale | Viton, Silikongummi, NBR, Teflon, Metallpakning. |
Leddstørrelse | VCR 1/4";Swagelok 1/8" 、1/4";φ3、 φ6mm |
Strømforsyning | +15V,50mA;-15V,200mA |
Modell | SQC-200 |
Strømningsområder (N2) | MFC:0~20,30,50,100,150, 200SLM |
MFM:0–20 ,30 ,50,100 ,150, 200 ,250,300SLM | |
Nøyaktighet | ±2%FS |
Type ventildrift | Normal Lukket |
Linearitet | ±2%FS |
Repeterbarhet | ±0,2%FS |
Responstid | ≤5 sek |
Inn-/utgangssignal | 1~5V~4~20mA |
Elektrisk skjøt | DB15 pin (nål) |
Operasjon Tem. | 5 ~ 45 ℃ |
Differensial Pre. | 0,1–0,3 MPa (MFC); 0,05–3,0 MPa (MFM) |
Lekkasjefrekvens | 1×10-8SCCS (He) |
Maks.Press | 3 MPa |
Middels materiale | 316L SS og tetningsmateriale |
Tetningsmateriale | Viton, Silikongummi, NBR, ERP, Teflon |
Leddstørrelse | Swagelok 3/8" 、1/2"; φ8, φ10, φ12mm |
Strømforsyning | 24V,0,5A |
Skriv din melding her og send den til oss