ମାସ ଫ୍ଲୋ କଣ୍ଟ୍ରୋଲର୍ ମାସ ଫ୍ଲୋ ମିଟର CS200 |
ବ Features ଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡିକ
1. ଉଚ୍ଚ ସଠିକତା ଏବଂ ଦ୍ରୁତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା |
CS200 MFC ର ସଠିକତାକୁ SP ର 1.0% କୁ ଉନ୍ନତ କରାଯାଇଛି, ଏବଂ ଉନ୍ନତ ମଡେଲଗୁଡିକର ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ସମୟ 0.8 ସେକେଣ୍ଡରୁ କମ୍ ରହିଛି |
2. କମ୍ ଜିରୋ ଡ୍ରାଇଫ୍ ଏବଂ ତାପମାତ୍ରା କୋଏଫିସିଏଣ୍ଟ୍ |
ନୂତନ ସେନସର ଟେକ୍ନୋଲୋଜିର ଉଦ୍ଭାବନ CS200 MFC କୁ ସ୍ଥିରତା ବଜାୟ ରଖିବା ଏବଂ ତାପମାତ୍ରା ପରିବର୍ତ୍ତନକୁ ପ୍ରତିହତ କରିବାକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ |ଏକ ଅଟୋ-ଶୂନ ଏମ୍ପ୍ଲିଫାୟର୍ ବିନା, ଆଶା କରାଯାଉଥିବା ଶୂନ୍ୟ ଡ୍ରାଇଫ୍ 0.6% FS / ବର୍ଷରୁ କମ୍, ଏବଂ ତାପମାତ୍ରା କୋଏଫିସିଏଣ୍ଟ୍ 0.02% FS / ℃ (ଶୂନ) ， 0.05% FS / ℃ (ସ୍ପାନ୍) ରୁ କମ୍ ଅଟେ |
3. ଧାତୁ-ସିଲ୍ ମଡେଲ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା ବ .ଶିଷ୍ଟ୍ୟ |
ଦି-ଲାଇନ୍ CS200 MFC ର ଓଦା ପ୍ରବାହ ପଥ ଭୂପୃଷ୍ଠ-ପାସିଭେଟେଡ୍ ଷ୍ଟେନଲେସ୍ ଷ୍ଟିଲରୁ ନିର୍ମିତ |ସମସ୍ତ CS200 MFC ଗୁଡିକ ଉଭୟ SEMI ଏବଂ ISO 9001 ମାନକ ଅନୁଯାୟୀ ସେଭେନଷ୍ଟାରର ଅଲଟ୍ରାକ୍ଲିନ୍ କ୍ଲାସ୍ 100-ଶ୍ରେଣୀ କ୍ଲିନରୁମରେ ଏକତ୍ରିତ |
4. ସୁସଙ୍ଗତ ଇଣ୍ଟରଫେସ୍ |
CS200 MFC ନିମ୍ନଲିଖିତ ଅନ୍ତରାପୃଷ୍ଠଗୁଡ଼ିକ ସହିତ ସୁସଂଗତ, ଯାହାକି ଗ୍ରାହକ ଦ୍ୱାରା ମନୋନୀତ ହୋଇପାରେ: ± 8V- ± 16V ଡବଲ୍-ଏଣ୍ଡ ବିଦ୍ୟୁତ ଯୋଗାଣ ଏବଂ + 14V- + 28V ଏକକ - ଶେଷ ଶକ୍ତି ଯୋଗାଣ;ଡିଜିଟାଲ୍ କିମ୍ବା ଆନାଗଲ୍ ସିଗନାଲ୍ ଇନପୁଟ୍ ଏବଂ ଆଉଟପୁଟ୍;SEMI ମାନକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପରିମାପ;ଏବଂ RS-485 କିମ୍ବା DeviceNet ଯୋଗାଯୋଗ ମଡ୍ୟୁଲ୍ |
5. ବିଭିନ୍ନ କାର୍ଯ୍ୟ
ଶକ୍ତିଶାଳୀ ଗ୍ରାହକ ସଫ୍ଟୱେର୍ ପ୍ରତ୍ୟେକ ମଡେଲ୍ ସହିତ ମାନକ ଆସେ, ଯେତେବେଳେ ଅତିରିକ୍ତ ଚୟନ ଯେପରିକି ମଲ୍ଟି ଗ୍ୟାସ୍ ， ମଲ୍ଟି ରେଞ୍ଜ୍ ， ଅଟୋ-ଶୂନ, ଆଲାର୍ମ, ସଫ୍ଟ ଷ୍ଟାର୍ଟ ଏବଂ ବିଳମ୍ବ ଗ୍ରାହକ ଚୟନ ଭାବରେ ଉପଲବ୍ଧ |
ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ
| CS200 | |||||||
| ଟାଇପ୍ କରନ୍ତୁ | | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| ପୂର୍ଣ୍ଣ ମାପ ପରିସର (N2) | (0 ～ 5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (0 ～ 2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |||||
| (0 ～ 1,2,3,5,10,20,30,50) SLM | (0 ～ 1,2,3,5,10,20,30) SLM | ||||||
| ସଠିକତା | ± 1.0% SP (≥35% FS) ± 0.35% FS? (＜ 35% FS) | ||||||
| ରେଖା | ± 0.5% FS | ||||||
| ପୁନରାବୃତ୍ତି | | ± 0.2% FS | ||||||
| ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ସମୟ | ≤1sec | ≤0.8 ସେକେଣ୍ଡ (SEMI E17-0600) | |||||
| ଭଲଭ୍ ବିଶ୍ରାମ ଅବସ୍ଥାନ | | ସାଧାରଣତ Cl ବନ୍ଦ କିମ୍ବା | କ Val ଣସି ଭଲଭ୍ ନାହିଁ | | ସାଧାରଣତ Cl ବନ୍ଦ କିମ୍ବା | କ Val ଣସି ଭଲଭ୍ ନାହିଁ | | ସାଧାରଣତ Cl ବନ୍ଦ କିମ୍ବା | କ Val ଣସି ଭଲଭ୍ ନାହିଁ | | |
| ସାଧାରଣତ Open ଖୋଲନ୍ତୁ （100 sccm≤FS≤5 slm） | ସାଧାରଣତ Open ଖୋଲନ୍ତୁ （100 sccm≤FS≤5 slm） | ସାଧାରଣତ Open ଖୋଲନ୍ତୁ （100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| ଭିନ୍ନ ଭିନ୍ନ ଚାପ | | 0.05 ～ 0.35MPa （Flow≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05 ～ 0.35) MPa （≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05 ～ 0.35) MPa （≤10slm） | ＜0.02MPa | |
| 0.1 ～ 0.35MPa （10slm ＜ Flow≤30slm） | (0.1 ～ 0.35) MPa （＞ 10slm） | (0.1 ～ 0.35) MPa （＞ 10slm） | |||||
| 0.2 ～ 0.45MPa （ଫ୍ଲୋ ＞ 30slm） | |||||||
| ସର୍ବାଧିକ ଅପରେଟିଂ ଚାପ | | 0.45MPa | |||||
| ତାପମାତ୍ରା | ଶୂନ: ≤ ± 0.05% FS / ℃; | ଶୂନ: ≤ ± 0.02% FS / ℃;ବିସ୍ତାର: ≤ ± 0.05% FS / ℃ | | ||||
| ଗୁଣବତ୍ତା | ବିସ୍ତାର: ≤ ± 0.1% FS / ℃ ≤ Flow≤30slm） | |||||
| ବିସ୍ତାର: ≤ ± 0.2% FS / ℃ （ପ୍ରବାହ> 30slm） | ||||||
| ପ୍ରମାଣ ଚାପ | | 3MPa (435pisg) | |||||
| ଜିରୋ ଡ୍ରିଫ୍ଟ | | ＜ଅଟୋଜେରୋ ବିନା ପ୍ରତିବର୍ଷ 0.6% FS | | |||||
| ଅଖଣ୍ଡତା ଲିକ୍ କରନ୍ତୁ | | 1 × 10-9 atm · cc / sec ସେ | 1 × 10-10atm · cc / sec ସେ | ||||
| ଓଦା ସାମଗ୍ରୀ | | ଭିଟନ୍; | ଧାତୁ? (ଷ୍ଟେନଲେସ୍ ଷ୍ଟିଲ୍ V / V, 5Ra) | ଧାତୁ | | |||
| ଭୂପୃଷ୍ଠ ରସାୟନ | | —— | Cr / Fe ଅନୁପାତ ＞ 2.0;CrO ଘନତା ＞ 20 ଆଙ୍ଗଷ୍ଟ୍ରମ୍ | | ||||
| ପୃଷ୍ଠଭୂମି ସମାପ୍ତ | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| ଅପରେସନ୍ ତାପମାତ୍ରା | | （5 ～ 45） ℃ | （0 ～ 50） ℃ | | ||||
| ଇନପୁଟ୍ ସିଗ୍ନାଲ୍ | | ଡିଜିଟାଲ୍: RS485 କିମ୍ବା ProfiBus | | N / A | ଡିଜିଟାଲ୍: RS485 କିମ୍ବା ProfiBus କିମ୍ବା DeviceNetTM | | N / A | ଡିଜିଟାଲ୍: RS485 କିମ୍ବା ProfiBus କିମ୍ବା DeviceNetTM | | N / A |
| କିମ୍ବା DeviceNetTM | | ଅନୁଗୋଳ: (0 ～ 5) VDC କିମ୍ବା (4 ～ 20) mA କିମ୍ବା (0 ～ 20) mA | ଅନୁଗୋଳ: (0 ～ 5) VDC କିମ୍ବା (4 ～ 20) mA? କିମ୍ବା (0 ～ 20) mA | |||||
| ଅନୁଗୋଳ: (0 ～ 5) VDC କିମ୍ବା (4 ～ 20) mA କିମ୍ବା (0 ～ 20) mA | |||||||
| ଆଉଟପୁଟ୍ ସଙ୍କେତ | ଡିଜିଟାଲ୍: RS485 କିମ୍ବା DeviceNetTM କିମ୍ବା ProfiBus Analog: (0 ～ 5) VDC କିମ୍ବା (4 ～ 20) mA କିମ୍ବା (0 ～ 20) mA | ||||||
| ଶକ୍ତି ଯୋଗାଣ | ± 8 ~ ± 16 VDC କିମ୍ବା +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ସଂଯୋଜକ | | 9 ପିନ୍ ପୁରୁଷ ସବ୍-ଡି ， 15 ପିନ୍ ପୁରୁଷ ସବ୍-ଡି ， ଡିଭାଇସ୍ ନେଟଟିଏମ୍ |，ProfiBus ， ଅନୁଗୋଳ | | ||||||
| ଫିଟିଙ୍ଗ୍ | | VCR1 / 4 ”M ； VCO1 / 4” M ； | VCR1 / 4 ”M; | |||||
| ସଙ୍କୋଚନ ଫିଟିଂ Φ10; ସଙ୍କୋଚନ ଫିଟିଙ୍ଗ୍ Φ | ସଙ୍କୋଚନ ଫିଟିଂ 6, | ||||||
| ସଙ୍କୋଚନ ଫିଟିଂ 3/8 ”;ସଙ୍କୋଚନ ଫିଟିଂ 1/4 ”； | ସଙ୍କୋଚନ ଫିଟିଂ Φ, | ||||||
| ସଙ୍କୋଚନ ଫିଟିଂ 1/8 ”;ସଙ୍କୋଚନ ଫିଟିଂ Φ | ସଙ୍କୋଚନ ଫିଟିଂ 1/4 ”， | ||||||
| Ф6 (ଭିତର) × 1 ହୋସ୍; ф5 (ଭିତର) × 1.5 ହୋସ୍; ф4 (ଭିତର) × 1 ହୋସ୍; | W- ସିଲ୍ ， | ||||||
| ଏ-ସେଲ୍; | ସି-ସିଲ୍ | | ||||||
| ଓଜନ | 1 କିଲୋଗ୍ରାମ | 0.8 କିଲୋଗ୍ରାମ | | 1.2 କିଲୋଗ୍ରାମ | | 1 କିଲୋଗ୍ରାମ | 1.2 କିଲୋଗ୍ରାମ | | 1 କିଲୋଗ୍ରାମ | |
