ଥର୍ମାଲ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ମାସ ଫ୍ଲୋ କଣ୍ଟ୍ରୋଲର୍ (MFC)
Thermଆଲଗାସ୍mଗଧfନିମ୍ନmeter(MFM) isakindoଫାକୁରା |temeଆସୁremଏଣ୍ଟୋଫ୍ |gasflow,the meଆସୁredvaluesarenotconଟ୍ରlledbyfluctuationsinଟେମ୍ପେରା |tureorpressure, donot needthecompensationoftemperatureandpressure.
| ମଡେଲ୍ | | SQC-100 |
| ପ୍ରବାହର ପରିସର (N2) | 0 ～ 5，10，20，30 ， 50 ， 100 ， 200，500SCCM | |
| 0 ～ 1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | | |
| ସଠିକତା | ± 1 ％ FS (≤15SLM) ； ± 2 ％ FS (＞ 15SLM) |
| ଭଲଭ୍ ଡ୍ରାଇଭ୍ ପ୍ରକାର | | ସାଧାରଣ ବନ୍ଦ | |
| ରେଖା | ± 1 ％ FS (≤15SLM) ； ± 2 ％ FS (＞ 15SLM) |
| ପୁନରାବୃତ୍ତି | | ± 0.2 ％ FS |
| ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ସମୟ | ≤1sec |
| ଇନପୁଟ୍ / ଆଉଟପୁଟ୍ ସିଗ୍ନାଲ୍ | | 0 ～ 5V |
| ଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଯୁଗ୍ମ | | DB15 ପିନ୍ (ଛୁଞ୍ଚି) |
| ଅପରେସନ୍ ଟେମ୍ | | 5 ～ 45 ℃ |
| ଭିନ୍ନକ୍ଷମ ପ୍ରି। | 0.05 ～ 0.5MPa （MFC） ； 0.03 ～ 3.0MPa （MFM） |
| ଲିକ୍ ହାର | 1 × 10-8SCCS （ସେ） |
| ସର୍ବାଧିକଚାପ | 3MPa |
| ମଧ୍ୟମ ସାମଗ୍ରୀ | | 316L SS ଏବଂ ସିଲ୍ ସାମଗ୍ରୀ | |
| ସିଲ୍ ସାମଗ୍ରୀ | | ଭିଟନ୍, ସିଲିକନ୍ ରବର, NBR, ଟେଫଲନ୍, ଧାତୁ ସିଲ୍ | |
| ମିଳିତ ଆକାର | | VCR 1/4 ”； Swagelok 1/8” 、 1/4 ”； φ3 、 mm6mm |
| ଶକ୍ତି ଯୋଗାଣ | + 15V, 50mA ； -15V, 200mA | |
| ମଡେଲ୍ | | SQC-200 |
| ପ୍ରବାହର ପରିସର (N2) | MFC ： 0 ～ 20，30 ， 50 ， 100 ， 150 ， 200SLM | |
| MFM ： 0 ～ 20 ， 30 ， 50，100 ， 150 ， 200 ， 250，300SLM | |
| ସଠିକତା | ± 2 ％ FS |
| ଭଲଭ୍ ଡ୍ରାଇଭ୍ ପ୍ରକାର | | ସାଧାରଣ ବନ୍ଦ | |
| ରେଖା | ± 2 ％ FS |
| ପୁନରାବୃତ୍ତି | | ± 0.2 ％ FS |
| ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ସମୟ | ≤5sec |
| ଇନପୁଟ୍ / ଆଉଟପୁଟ୍ ସିଗ୍ନାଲ୍ | | 1 ～ 5V ； 4 ～ 20mA | |
| ଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଯୁଗ୍ମ | | DB15 ପିନ୍ (ଛୁଞ୍ଚି) |
| ଅପରେସନ୍ ଟେମ୍ | | 5 ～ 45 ℃ |
| ଭିନ୍ନକ୍ଷମ ପ୍ରି। | 0.1 ～ 0.3MPa （MFC） ； 0.05 ～ 3.0MPa （MFM） |
| ଲିକ୍ ହାର | 1 × 10-8SCCS （ସେ） |
| ସର୍ବାଧିକଚାପ | 3MPa |
| ମଧ୍ୟମ ସାମଗ୍ରୀ | | 316L SS ଏବଂ ସିଲ୍ ସାମଗ୍ରୀ | |
| ସିଲ୍ ସାମଗ୍ରୀ | | ଭିଟନ୍, ସିଲିକନ୍ ରବର, NBR, ERP, Teflon | |
| ମିଳିତ ଆକାର | | ସ୍ ag ାଗେଲକ୍ 3/8 ”、 1/2” ； φ8 、 φ10 、 mm12 ମିମି | |
| ଶକ୍ତି ଯୋଗାଣ | 24V, 0.5A |
ତୁମର ବାର୍ତ୍ତା ଏଠାରେ ଲେଖ ଏବଂ ଆମକୁ ପଠାନ୍ତୁ |
