ਮਾਸ ਫਲੋ ਕੰਟਰੋਲਰ ਮਾਸ ਫਲੋ ਮੀਟਰ CS200
ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ
1. ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਤੇਜ਼ ਜਵਾਬ
CS200 MFC ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨੂੰ SP ਦੇ ±1.0% ਤੱਕ ਸੁਧਾਰਿਆ ਗਿਆ ਹੈ, ਅਤੇ ਸਭ ਤੋਂ ਉੱਨਤ ਮਾਡਲਾਂ ਦਾ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਸਮਾਂ 0.8 ਸਕਿੰਟ ਤੋਂ ਘੱਟ ਹੈ।
2. ਘੱਟ ਜ਼ੀਰੋ ਡਰਾਫਟ ਅਤੇ ਤਾਪਮਾਨ ਗੁਣਾਂਕ
ਨਵੀਂ ਸੈਂਸਰ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦੀ ਕਾਢ CS200 MFC ਨੂੰ ਸਥਿਰਤਾ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣ ਅਤੇ ਤਾਪਮਾਨ ਦੇ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ ਦਾ ਸਾਮ੍ਹਣਾ ਕਰਨ ਦੇ ਯੋਗ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ।ਇੱਕ ਆਟੋ-ਜ਼ੀਰੋ ਐਂਪਲੀਫਾਇਰ ਤੋਂ ਬਿਨਾਂ, ਅਨੁਮਾਨਿਤ ਜ਼ੀਰੋ ਡ੍ਰਾਈਫਟ 0.6% FS/ਸਾਲ ਤੋਂ ਘੱਟ ਹੈ, ਅਤੇ ਤਾਪਮਾਨ ਗੁਣਾਂਕ 0.02% FS/℃(ਜ਼ੀਰੋ)，0.05%FS/℃ (ਸਪੈਨ) ਤੋਂ ਘੱਟ ਹੈ।
3. ਮੈਟਲ-ਸੀਲਡ ਮਾਡਲ ਅਤੇ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾ
CS200 MFC ਦਾ ਗਿੱਲਾ ਵਹਾਅ ਮਾਰਗ ਸਤਹ-ਪੈਸੀਵੇਟਿਡ ਸਟੇਨਲੈਸ ਸਟੀਲ ਤੋਂ ਬਣਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ।ਸਾਰੇ CS200 MFCs ਨੂੰ ਸੇਵਨਸਟਾਰ ਦੇ ਅਲਟਰਾਕਲੀਨ ਕਲਾਸ 100-ਕਲਾਸ ਦੇ ਕਲੀਨ ਰੂਮਾਂ ਵਿੱਚ SEMI ਅਤੇ ISO 9001 ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ ਇਕੱਠਾ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
4. ਅਨੁਕੂਲ ਇੰਟਰਫੇਸ
CS200 MFC ਹੇਠਾਂ ਦਿੱਤੇ ਇੰਟਰਫੇਸਾਂ ਦੇ ਅਨੁਕੂਲ ਹੈ, ਜੋ ਗਾਹਕ ਦੁਆਰਾ ਚੁਣਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ: ±8V-±16V ਡਬਲ-ਐਂਡ ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ ਅਤੇ +14V-+28V ਸਿੰਗਲ-ਐਂਡ ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ;ਡਿਜੀਟਲ ਜਾਂ ਐਨਾਲਾਗ ਸਿਗਨਲ ਇੰਪੁੱਟ ਅਤੇ ਆਉਟਪੁੱਟ;SEMI ਮਿਆਰੀ ਮਕੈਨੀਕਲ ਮਾਪ;ਅਤੇ RS-485 ਜਾਂ DeviceNet ਸੰਚਾਰ ਮੋਡੀਊਲ।
5. ਫੁਟਕਲ ਫੰਕਸ਼ਨ
ਸ਼ਕਤੀਸ਼ਾਲੀ ਗਾਹਕ ਸੌਫਟਵੇਅਰ ਹਰੇਕ ਮਾਡਲ ਦੇ ਨਾਲ ਮਿਆਰੀ ਆਉਂਦਾ ਹੈ, ਜਦੋਂ ਕਿ ਵਾਧੂ ਫੰਕਸ਼ਨ ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਮਲਟੀ-ਗੈਸ，ਮਲਟੀ-ਰੇਂਜ，ਆਟੋ-ਜ਼ੀਰੋ, ਅਲਾਰਮ, ਸਾਫਟ ਸਟਾਰਟ, ਅਤੇ ਦੇਰੀ ਗਾਹਕ ਚੋਣ ਵਜੋਂ ਉਪਲਬਧ ਹਨ।
ਨਿਰਧਾਰਨ
| CS200 | |||||||
| ਟਾਈਪ ਕਰੋ | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| ਪੂਰੀ ਸਕੇਲ ਰੇਂਜ (N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| ਸ਼ੁੱਧਤਾ | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| ਰੇਖਿਕਤਾ | ±0.5% FS | ||||||
| ਦੁਹਰਾਉਣਯੋਗਤਾ | ±0.2% FS | ||||||
| ਜਵਾਬ ਸਮਾਂ | ≤1 ਸਕਿੰਟ | ≤0.8 ਸਕਿੰਟ (SEMI E17-0600) | |||||
| ਵਾਲਵ ਆਰਾਮ ਸਥਿਤੀ | ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਬੰਦ ਜਾਂ | ਕੋਈ ਵਾਲਵ ਨਹੀਂ | ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਬੰਦ ਜਾਂ | ਕੋਈ ਵਾਲਵ ਨਹੀਂ | ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਬੰਦ ਜਾਂ | ਕੋਈ ਵਾਲਵ ਨਹੀਂ | |
| ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਖੁੱਲ੍ਹਾ（100 sccm≤FS≤5 slm） | ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਖੁੱਲ੍ਹਾ（100 sccm≤FS≤5 slm） | ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਖੁੱਲ੍ਹਾ（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| ਵਿਭਿੰਨ ਦਬਾਅ | 0.05～0.35MPa （Flow≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05～0.35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05～0.35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | |
| 0.1～0.35MPa（10slm＜Flow≤30slm） | (0.1～0.35) MPa（～10slm） | (0.1～0.35) MPa（～10slm） | |||||
| 0.2～0.45MPa （ਪ੍ਰਵਾਹ＞30slm） | |||||||
| ਅਧਿਕਤਮ ਓਪਰੇਟਿੰਗ ਦਬਾਅ | 0.45MPa | |||||
| ਤਾਪਮਾਨ | ਜ਼ੀਰੋ:≤±0.05% FS/℃; | ਜ਼ੀਰੋ:≤±0.02% FS/℃;ਸਪੈਨ:≤±0.05% FS/℃ | ||||
| ਗੁਣਾਂਕ | ਸਪੈਨ: ≤±0.1% FS/℃（Flow≤30slm） | |||||
| ਸਪੈਨ: ≤±0.2% FS/℃（ਪ੍ਰਵਾਹ>30slm） | ||||||
| ਸਬੂਤ ਦਾ ਦਬਾਅ | 3MPa (435pisg) | |||||
| ਜ਼ੀਰੋ ਡਰਾਫਟ | ＜ਆਟੋਜ਼ੀਰੋ ਤੋਂ ਬਿਨਾਂ 0.6% FS ਪ੍ਰਤੀ ਸਾਲ | |||||
| ਲੀਕ ਅਖੰਡਤਾ | 1×10-9 atm·cc / ਸਕਿੰਟ He | 1×10-10atm·cc / ਸਕਿੰਟ He | ||||
| ਗਿੱਲੀ ਸਮੱਗਰੀ | ਵਿਟਨ; | ਧਾਤੂ? (ਸਟੇਨਲੈੱਸ ਸਟੀਲ V/V, 5Ra) | ਧਾਤੂ | |||
| ਸਰਫੇਸ ਕੈਮਿਸਟਰੀ | —— | Cr/Fe ਅਨੁਪਾਤ ＞2.0;CrO ਮੋਟਾਈ ＞20 ਐਂਗਸਟ੍ਰੋਮਸ | ||||
| ਸਰਫੇਸ ਫਿਨਿਸ਼ | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| ਓਪਰੇਸ਼ਨ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ | (5～45) ℃ | (0～50) ℃ | ||||
| ਇੰਪੁੱਟ ਸਿਗਨਲ | ਡਿਜੀਟਲ: RS485 ਜਾਂ ProfiBus | N/A | ਡਿਜੀਟਲ: RS485 ਜਾਂ ProfiBus ਜਾਂ DeviceNetTM | N/A | ਡਿਜੀਟਲ: RS485 ਜਾਂ ProfiBus ਜਾਂ DeviceNetTM | N/A |
| ਜਾਂ DeviceNetTM | ਐਨਾਲਾਗ:(0～5)VDC ਜਾਂ (4～20)mA ਜਾਂ (0～20)mA | ਐਨਾਲਾਗ:(0～5)VDC ਜਾਂ (4～20)mA? ਜਾਂ (0～20)mA | |||||
| ਐਨਾਲਾਗ:(0～5)VDC ਜਾਂ (4～20)mA ਜਾਂ (0～20)mA | |||||||
| ਆਉਟਪੁੱਟ ਸਿਗਨਲ | ਡਿਜੀਟਲ: RS485 ਜਾਂ DeviceNetTM ਜਾਂ ProfiBus ਐਨਾਲਾਗ:(0～5)VDC ਜਾਂ (4～20)mA ਜਾਂ (0～20)mA | ||||||
| ਬਿਜਲੀ ਦੀ ਸਪਲਾਈ | ±8 ~ ±16 VDC ਜਾਂ +14 ~ +28 VDC(400mA) | ||||||
| ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਕਨੈਕਟਰ | 9 ਪਿੰਨ ਪੁਰਸ਼ ਸਬ-ਡੀ ， 15 ਪਿੰਨ ਪੁਰਸ਼ ਸਬ-ਡੀ ， ਡਿਵਾਈਸ ਨੈੱਟਟੀਐਮ,ProfiBus, ਐਨਾਲਾਗ | ||||||
| ਫਿਟਿੰਗਸ | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4”M; | |||||
| ਕੰਪਰੈਸ਼ਨ ਫਿਟਿੰਗΦ10; ਕੰਪਰੈਸ਼ਨ ਫਿਟਿੰਗΦ6； | ਕੰਪਰੈਸ਼ਨ ਫਿਟਿੰਗΦ6, | ||||||
| ਕੰਪਰੈਸ਼ਨ ਫਿਟਿੰਗ 3/8”;ਕੰਪਰੈਸ਼ਨ ਫਿਟਿੰਗ 1/4”; | ਕੰਪਰੈਸ਼ਨ ਫਿਟਿੰਗΦ3, | ||||||
| ਕੰਪਰੈਸ਼ਨ ਫਿਟਿੰਗ 1/8”;ਕੰਪਰੈਸ਼ਨ ਫਿਟਿੰਗΦ3; | ਕੰਪਰੈਸ਼ਨ ਫਿਟਿੰਗ 1/4”, | ||||||
| Ф6(ਅੰਦਰੂਨੀ)×1ਹੋਜ਼;ਐਫ5(ਅੰਦਰੂਨੀ)×1.5ਹੋਜ਼;ਐਫ4(ਅੰਦਰੂਨੀ)×1ਹੋਜ਼; | ਡਬਲਯੂ-ਸੀਲ, | ||||||
| ਏ-ਸੈਲ; | ਸੀ-ਸੀਲ | ||||||
| ਭਾਰ | 1 ਕਿਲੋਗ੍ਰਾਮ | 0.8 ਕਿਲੋਗ੍ਰਾਮ | 1.2 ਕਿਲੋਗ੍ਰਾਮ | 1 ਕਿਲੋਗ੍ਰਾਮ | 1.2 ਕਿਲੋਗ੍ਰਾਮ | 1 ਕਿਲੋਗ੍ਰਾਮ | |
