Złożone pompy molekularne serii EV
Dane techniczne serii EV
| Model | EV-600 EV-600F | EV-1200 EV-1200F | EV-1600 EV-1600F | ||||
| Kołnierz wlotowy (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
| Kołnierz wylotowy (mm) | 40 KF | 40 KF | 50 KF | ||||
| Prędkość pompowania (L/S) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
| Stopień sprężania | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
| H2 | >8X103 | >1X104 | >1X104 | ||||
| Ostateczna próżnia (Pa) | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | |
| Prędkość obrotowa (rpm) | 24000 | 24000 | 24000 | ||||
| Wibracja | ≤0,1 µm | ≤0,1 µm | ≤0,15 µm | ||||
| Czas rozruchu (min) | <4,5 | <5 | <6 | ||||
| Pompa wspomagająca | 4-8 L/S | 8-15 L/S | 15 L/S | ||||
| Metoda chłodzenia | Chłodzenie wodą (powietrzem). | Chłodzenie wodą (powietrzem). | Chłodzenie wodą (powietrzem). | ||||
| Temperatura wody chłodzącej (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
| Temperatura otoczenia (℃) | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
| Ilość przepływu wody chłodzącej | 1-2 l/min | 1-2 l/min | 1-2 l/min | ||||
| Temperatura wypalania (℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
| Moc grzałki (w) | <250 | <300 | <300 | ||||
| Napięcie wejściowe grzejnika (v) | AC220 | AC220 | AC220 | ||||
| Montowanie | Pionowo ±5° | Pionowo ±5° | Pionowo ±5° | ||||
| Waga (kg) | ≈25 | ≈29 | ≈31 | ||||
Krzywa pompowania atmosferycznego związku
Pompa molekularna
Krzywa stopnia sprężania azotu i wodoru
przez złożoną pompę molekularną
Tabela wymiarów instalacyjnych serii EV złożonej pompy molekularnej
| Model | EV-600 | EV-1200 | EV-1600 | ||||
| Kołnierz wlotowy (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
| D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
| D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
| D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
| D4 | ¨145,7 | ¨145,7 | ¨167,6 | ¨167,6 | ¨183,9 | ¨183,9 | |
| H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
| H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
| H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
| H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
| H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
| L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
| L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
| Otwór na śrubę w nodze pompy | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | |
| Kołnierz wylotowy (mm) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 | |
Pompy molekularne serii EV do chłodzenia powietrzem
Chłodzona powietrzem pompa molekularna serii EV składa się z pompy turbomolekularnej i tarczowej pompy trakcyjnej.Charakteryzuje się dużą prędkością pompowania i stopniem sprężania dla przepływu molekularnego pompy turbomolekularnej, dużą prędkością pompowania i stopniem sprężania dla wysokiego ciśnienia pompy trakcyjnej oraz rozszerza zakres zastosowania pompy molekularnej.
Złożona pompa molekularna nie ma efektu selektywności i pamięci na pompowanym gazie.Ze względu na wysoki stopień sprężania gazu o dużej masie cząsteczkowej, pompa może uzyskać czystą, wysoką i bardzo wysoką próżnię bez wymrażacza i przegrody olejowej.Jest szeroko stosowany w różnych dziedzinach elektroniki, metalurgii, przemysłu chemicznego, badań naukowych i technologii próżniowej.
| Model | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
| Kołnierz wlotowy (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K |
| D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
| D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
| D3 | ¨145,7 | ¨145,7 | ¨167,6 | ¨167,6 | ¨183,8 | ¨183,8 |
| H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
| H2 | 217,5 | 217,5 | 210 | 210 | 214,5 | 214,5 |
| H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
| L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
| L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
| Otwór na śrubę w nodze pompy | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 |
