Kontrolery masowego przepływu (MFC) zapewniają precyzyjny pomiar i kontrolę masowego przepływu gazów.
I. Jaka jest różnica między MFC a MFM?
Przepływomierz masowy (MFM) to rodzaj przyrządu, który dokładnie mierzy przepływ gazu, a jego wartość pomiaru nie jest niedokładna ze względu na wahania temperatury lub ciśnienia i nie wymaga kompensacji temperatury i ciśnienia. Kontroler masowego przepływu (MFC) nie tylko pełni funkcję przepływomierza masowego, ale co ważniejsze, może automatycznie sterować przepływem gazu, czyli użytkownik może ustawić przepływ według swoich potrzeb, a MFC automatycznie utrzymuje przepływ na stałym poziomie zadanej wartości, nawet jeśli ciśnienie w układzie Wahania lub zmiany temperatury otoczenia nie spowodują jej odchylenia od ustawionej wartości.Kontroler masowego przepływu jest urządzeniem zapewniającym stały przepływ, czyli urządzeniem zapewniającym stały przepływ gazu, które można ustawić ręcznie lub sterować automatycznie poprzez połączenie z komputerem.Przepływomierze masowe tylko mierzą, ale nie kontrolują.Kontroler przepływu masowego posiada zawór regulacyjny, który może zarówno mierzyć, jak i kontrolować przepływ gazu.
II.Jaka jest struktura izasada działania?
1. Struktura
2. Zasada działania
Kiedy strumień wpływa do rury wlotowej, większość przepływu przechodzi przez kanał przełączający, którego niewielka część wpływa do rurki kapilarnej wewnątrz czujnika.Ze względu na specjalną strukturę
kanału przełączającego, obie części przepływu gazu mogą być wprost proporcjonalne.Czujnik jest wstępnie podgrzewany i podgrzewany, a temperatura wewnątrz jest wyższa niż temperatura powietrza wlotowego.W tym momencie przepływ masowy małej części gazu mierzony jest na zasadzie wymiany ciepła przez rurkę kapilarną i na zasadzie kalorymetrii różnicowej temperatur.Zmierzony w ten sposób przepływ gazu może ignorować wpływ temperatury i ciśnienia.Sygnał pomiaru przepływu wykryty przez czujnik jest wprowadzany na płytkę drukowaną, wzmacniany i wyprowadzany, a funkcja MFM jest zakończona.Dodanie do płytki drukowanej funkcji automatycznego sterowania PID w pętli zamkniętej. Porównaj sygnał pomiaru przepływu zmierzony przez czujnik z sygnałem ustawionym podanym przez użytkownika.Na tej podstawie sterowany jest zawór regulacyjny tak, aby sygnał detekcji przepływu był równy sygnałowi nastawionemu, realizując w ten sposób funkcję MFC.
III.Aplikacje i funkcje.
MFC, które jest szeroko stosowane w takich dziedzinach jak: produkcja półprzewodników i układów scalonych, nauka o materiałach specjalnych, przemysł chemiczny, przemysł naftowy, przemysł farmaceutyczny, ochrona środowiska i badania systemów próżniowych itp. Typowe zastosowania obejmują: mikroelektroniczny sprzęt procesowy, taki jak dyfuzja , utlenianie, epitaksja, CVD, trawienie plazmowe, napylanie katodowe, implantacja jonów;sprzęt do osadzania próżniowego, topienia włókien optycznych, sprzęt do mikroreakcji, system mieszania i dopasowywania gazów, system kontroli przepływu kapilarnego, chromatograf gazowy i inne przyrządy analityczne.
MFC zapewniają wysoką dokładność, doskonałą powtarzalność, szybką reakcję, miękki start, lepszą niezawodność, szeroki zakres zakresów ciśnienia roboczego (dobre działanie w sytuacjach wysokiego ciśnienia i próżni), prostą, wygodną obsługę, elastyczną instalację, możliwość połączenia z komputerem w celu przeprowadzenia automatycznej kontrolę nad systemem użytkowników.
IV.Jak określić i sobie poradzić z fwypadki?
Nasza firma ma profesjonalnego inżyniera obsługi posprzedażnej, który może pomóc w rozwiązaniu problemów związanych z instalacją i użytkowaniem.
Czas publikacji: 29 lipca 2022 r