Firma Beijing Super Q Technology Co., Ltd. posiada smarowane olejem pompy molekularne serii EV o pojemności 600 l, 1200 l, 1600 l i pompy molekularne typu turbinowego 3600 l;smarowane smarem plastycznym pompy molekularne 300L, 650L, 1300L, 2000L.Artykuł ten koncentruje się na wyjaśnieniu charakterystyki, instalacji, użytkowania i konserwacji pomp molekularnych smarowanych smarem plastycznym serii EV-Z.
Charakterystyka struktury
Pompa molekularna smaru serii EV wykorzystuje importowane precyzyjne łożyska ceramiczne, wirnik pompy poprzez równowagę dynamiczną, stabilną i niezawodną pracę, silnik trójfazowy z silnikiem klatkowym, smarowanie łożysk poprzez smarowanie smarem, można zamontować w dowolnej orientacji.
instalacja i użytkowanie
I. O ciśnieniu ostatecznym
„Ciśnienie maksymalne” pompy molekularnej opiera się na międzynarodowej normie ISO „Metoda testowania wydajności pomp turbomolekularnych”. Po całkowitym wypieku korpusu pompy i pokrywy testowej (48 godzin suszenia i odgazowania) najniższe ciśnienie zmierzone przy określonej pozycji pokrywy testowej.wartość ciśnienia.W rzeczywistym użyciu wartość „ciśnienia granicznego” jest powiązana z ciśnieniem roboczym i efektywną prędkością pompowania skonfigurowanej pompy wspomagającej.Wybór pompy wspomagającej o wyższej wydajności jest bardzo korzystny, ponieważ pozwala uzyskać wyższą próżnię i skrócić czas wydechu.
Ponadto, ze względu na specyfikę zasady wydechu pompy molekularnej, wlot powietrza do pompy musi być jak najszerszy, a droga gazu z komory próżniowej do króćca pompy molekularnej powinna unikać skręcania jak najbardziej możliwe, aby zapewnić najlepszą wydajność pompy molekularnej i zagwarantować wyższą próżnię końcową.
II.Instalacja
2.1 Otwórz pakiet
Przed montażem należy sprawdzić, czy pompa molekularna nie uległa uszkodzeniom w transporcie.
Metoda jest następująca: zapoznaj się z instrukcją zasilania pompy molekularnej, podłącz ją prawidłowo do pompy molekularnej, nie musisz przepuszczać wody ani próżni, uruchom pompę molekularną i sprawdź, czy działa i czy jest nienormalny dźwięk.Jeżeli wystąpią jakiekolwiek nieprawidłowości, należy odpowiednio wcześnie nacisnąć wyłącznik, aby zatrzymać pompę.Uwaga: Podczas pracy próbnej częstotliwość zasilania nie powinna być wyższa niż 25 Hz
2.2 Podłączanie kołnierza wysokiego podciśnienia
Przyłącze pompy molekularnej można podnieść za kołnierz wysokiego podciśnienia lub zamocować na podstawie.Pompę molekularną należy zamocować, gdy kołnierz pompy molekularnej wysokiego podciśnienia jest podłączony do układu za pomocą metalowego mieszka.
(Powierzchnia uszczelniająca kołnierza nie ma żadnych zadrapań, a na pierścieniu uszczelniającym nie powinno być żadnych śladów)
2.3 Przednie przyłącze próżniowe
Pomiędzy pompą przednią a pompą molekularną należy zainstalować zawór odcinający i odpowietrzający, aby zapobiec zawracaniu oleju przez pompę mechaniczną po wyłączeniu.
2.4 Podłączenie urządzenia do ładowania gazu
Aby zapewnić czyste środowisko próżniowe, po zatrzymaniu pompy molekularnej, system próżniowy można napełnić azotem lub suchym powietrzem.Ogólnie rzecz biorąc, zawór odpowietrzający można podłączyć do rurociągu przedniego stopnia lub można zastosować zawór wysokiego podciśnienia do odpowietrzenia gazu po stronie wysokiego podciśnienia.
III．Podłączenie chłodzenia
Ze względu na szybkie tarcie obrotowe łożyska, nagrzewanie się korpusu pompy i wzrost temperatury silnika, łożysko i silnik muszą być chłodzone podczas pracy pompy molekularnej.Zwykle stosuje się chłodzenie powietrzem, a chłodzenie wodą, gdy temperatura otoczenia jest wyższa niż 38°C.Rura do wody miękkiej o średnicy zewnętrznej 10 mm może być bezpośrednio podłączona do wlotu i wylotu wody pompy molekularnej.Stosuje się instalację wody obiegowej z czystą wodą, ale można stosować również wodę wodociągową o małych opadach (temperatura wody musi wynosić ≤28°C).
Przypadkowe zatrzymanie wody lub wysoka temperatura wody spowodują zadziałanie czujnika temperatury korpusu pompy molekularnej, a zasilacz natychmiast uruchomi alarm i zatrzyma wyjście.
Po nieoczekiwanym zatrzymaniu wody lub zbyt wysokiej temperaturze wody następuje przerwa około 15 minut (konkretny czas zależy od szybkości wzrostu temperatury), aż do momentu, gdy pompa molekularna uruchomi alarm z powodu przegrzania.
IV．Pieczenie
Ostateczne ciśnienie zależy od czystości wnętrza pompy i ścieżki próżniowej, w tym komory próżniowej.Aby uzyskać maksymalne ciśnienie w jak najkrótszym czasie należy wypalić układ próżniowy i pompę molekularną.Pieczenie należy przeprowadzać przy normalnie pracującej pompie molekularnej.
Temperatura wypalania pompy molekularnej powinna być niższa niż 80°C, kołnierz wysokiej próżni podłączony do króćca pompy nie powinien być wyższy niż 120°C, a temperatura wypalania układu próżniowego jest na ogół niższa niż 300°C.uszkodzeń.
Czas wypieku jest zależny od stopnia zabrudzenia układu i pompy molekularnej oraz przewidywanego granicznego ciśnienia roboczego, przy czym minimalny czas nie powinien być krótszy niż 4 godziny.
Aby uzyskać próżnię 10-4 Pa, w zasadzie nie jest wymagane pieczenie;do uzyskania próżni 10-5Pa wystarczy samo wypalenie samego układu próżniowego;w celu uzyskania ultrawysokiej próżni system próżniowy i pompa molekularna zwykle muszą być pieczone w tym samym czasie.Układ pomiarowy powinien być całkowicie wypalony, w przeciwnym razie będzie to miało wpływ na dokładność danych pomiarowych ze względu na jego odgazowanie.
V．Operacja
Potwierdź, że próżnia wstępna jest lepsza niż 15 Pa, naciśnij przycisk RON, aby uruchomić pompę molekularną i naciśnij przycisk STOP, aby zatrzymać ją po użyciu.Uwaga!Klucz miękkiego startu należy użyć przy pierwszym użyciu lub ponownie użyć po dłuższym okresie bezczynności.Operacja łagodnego startu przebiega w następujący sposób: podciśnienie na bieżącym etapie jest lepsze niż 15 Pa i zostaje naciśnięty klawisz miękkiego startu.Po 110 minutach pompa molekularna osiąga częstotliwość roboczą 550 Hz (550 Hz odpowiada pompie molekularnej EV300Z, 400 Hz odpowiada pompie molekularnej EV650Z, 1300Z, 2000), następnie naciśnij klawisz miękkiego startu (klawisz jest w górze), aby zatrzymać miękki start początek.
(Podczas normalnej pracy pompy molekularnej zabrania się przenoszenia, przenoszenia lub napełniania powietrzem.)
VI．Konserwacja i naprawa
6.1 Czyszczenie pompy
Jeżeli wyciek powietrza i stopień desorpcji w systemie próżniowym nie ulegają zmianie, a wydajności próżni nie można przywrócić nawet po długim czasie pieczenia lub gdy pompa podstawowa poważnie zwraca olej, należy ją oczyścić.
(Jeśli pompa wymaga naprawy i czyszczenia, musi zostać zdemontowana przez profesjonalnych techników.Jeśli zostanie zdemontowany bez przeszkolenia, konsekwencje ponosisz na własne ryzyko.)
6.2 Wymiana łożysk
Ponieważ pompa wymaga wyważenia, użytkownik nie może wymienić łożyska.
6.3 Ochrona przed uderzeniami
Pompa molekularna jest maszyną wirującą o dużej prędkości.Szczelina między płytą ruchomą a płytą statyczną jest bardzo mała i nie wytrzymuje nadmiernego uderzenia.Prędkość i przyspieszenie poruszającego się nośnika stykającego się z nim powinny być ograniczone.Ponadto nagłe uderzenie objętości atmosferycznej i upadek zewnętrznych twardych przedmiotów podczas normalnej pracy pompy molekularnej spowoduje również poważne uszkodzenie pompy molekularnej.
6.4 Izolacja wibracyjna
Zwykle pompa molekularna została dokładnie przetestowana, a wibracje są bardzo małe i można ją bezpośrednio podłączyć do pompowanego układu.W przypadku zastosowań wymagających dużej precyzji (takich jak mikroskopy elektronowe itp.) zaleca się stosowanie wibroizolatorów w celu zminimalizowania wpływu wibracji na przyrząd.
6,5 Silne ekranowanie pola magnetycznego
Obracający się wirnik generuje prąd wirowy w polu magnetycznym, który powoduje nagrzewanie się wirnika.Ponieważ ciepło osłabia wytrzymałość materiału aluminiowego, zastosowanie pompy molekularnej w polu magnetycznym jest w pewnym stopniu ograniczone.
6.6 interferencja elektromagnetyczna
Niektóre przyrządy o wysokiej częstotliwości, takie jak pompy molekularne i przetwornice częstotliwości, mogą powodować zakłócenia elektromagnetyczne w otaczającym środowisku.Jednak w przypadku spełnienia międzynarodowych standardów zastosowanie pomp molekularnych nie będzie ograniczone.Jeżeli wymagania są spełnione, należy jednocześnie wydać odpowiednie certyfikaty.
6.7 Silne ograniczenie radioaktywności
Większość materiałów zmieni swoje właściwości w silnym środowisku radioaktywnym, zwłaszcza materiały organiczne (takie jak olej do pomp molekularnych, pierścienie uszczelniające) i elementy półprzewodnikowe.Pompa molekularna wytrzymuje promieniowanie o natężeniu 105rad.Wybierając materiały antyradioaktywne i stosując zasilacz napędzany silnikiem, można poprawić odporność na promieniowanie.Podczas pompowania trytu, aby zapobiec przedostawaniu się pierwiastka promieniotwórczego trytu do atmosfery, wszystkie pierścienie uszczelniające w pompie molekularnej muszą być wykonane z materiałów metalowych
6.8 Pompa przednia
Na wysokociśnieniowym końcu krzywej wydajności pompy molekularnej ciśnienie wlotowe mieści się w zakresie od około 200 Pa do 10-1 Pa i obejmuje trzy rzędy wielkości.Średnia swobodna droga cząsteczek gazu staje się mniejsza, a efekt pompowania zaczyna się pogarszać.Dlatego w strefie przejściowej im większe wykorzystanie pompy wspomagającej, tym większa prędkość pompowania pompy molekularnej.Pompa przednia nie powinna być mniejsza niż minimum 3 L/S.
Typowe usterki i rozwiązywanie problemów
Pompa molekularna smarowana smarem stałym serii EV-Z to mechaniczna pompa próżniowa, która realizuje odsysanie powietrza poprzez stosunkowo dużą prędkość obrotową wielostopniowych dynamicznych i statycznych łopatek turbiny.Pompa turbomolekularna charakteryzuje się dużą prędkością pompowania i wysokim stopniem sprężania w obszarze przepływu molekularnego, jest bardziej energooszczędna niż pompa dyfuzyjna i nie powoduje zanieczyszczeń olejem ani parą.Pompa molekularna smarowana smarem stałym serii EV to pompa molekularna o największej prędkości pompowania wynoszącej 100 kalibrów w Chinach.
Ta pompa molekularna nie ma selektywności ani efektu pamięci w przypadku pompowanego gazu.Ze względu na wysoki stopień sprężania gazu o dużej masie cząsteczkowej, pompa może uzyskać czystą, wysoką i bardzo wysoką próżnię bez wymrażarek i przegród olejowych..Jest szeroko stosowany w różnych dziedzinach elektroniki, metalurgii, przemysłu chemicznego, badań naukowych i technologii próżniowej.
Czas publikacji: 01 lipca 2022 r