Termiczny regulator masowego przepływu gazu (MFC)
ThermalgimtyłekfNiskimeter(MFM) jestkindofakuratemeasuremEntofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfLuctuationsintempertureorpressJasne, nie potrzebujęthejompensationoftemperatureandpressure.
Model | SQC-100 |
Zakresy przepływu (N2) | 0 ~ 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 500SCCM |
0 ~ 1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
Dokładność | ±1% FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Typ napędu zaworu | Normalnie Zamknięte |
Liniowość | ±1% FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Powtarzalność | ±0,2%FS |
Czas odpowiedzi | ≤1 sek |
Sygnał wejściowy/wyjściowy | 0 ~ 5 V |
Złącze elektryczne | Szpilka DB15 (igła) |
Operacja Tem. | 5 ~ 45 ℃ |
Wstępny mechanizm różnicowy | 0,05 ~ 0,5 MPa (MFC); 0,03 ~ 3,0 MPa (MFM) |
Szybkość wycieku | 1×10-8SCCS (On) |
Maks.Ciśnienie | 3MPa |
Materiał średni | Stal nierdzewna 316L i materiał uszczelniający |
Materiał uszczelniający | Viton, guma silikonowa, NBR, teflon, uszczelka metalowa. |
Rozmiar stawu | Magnetowid 1/4”; Swagelok 1/8” 、1/4”; φ3, φ6mm |
Zasilacz | +15 V, 50 mA; -15 V, 200 mA |
Model | SQC-200 |
Zakresy przepływu (N2) | MFC: 0 ~ 20, 30, 50, 100, 150, 200SLM |
MFM: 0 ~ 20, 30, 50, 100, 150, 200, 250, 300 SLM | |
Dokładność | ±2%FS |
Typ napędu zaworu | Normalnie Zamknięte |
Liniowość | ±2%FS |
Powtarzalność | ±0,2%FS |
Czas odpowiedzi | ≤5 sek |
Sygnał wejściowy/wyjściowy | 1 ~ 5 V; 4 ~ 20 mA |
Złącze elektryczne | Szpilka DB15 (igła) |
Operacja Tem. | 5 ~ 45 ℃ |
Wstępny mechanizm różnicowy | 0,1 ~ 0,3 MPa (MFC); 0,05 ~ 3,0 MPa (MFM) |
Szybkość wycieku | 1×10-8SCCS (On) |
Maks.Ciśnienie | 3MPa |
Materiał średni | Stal nierdzewna 316L i materiał uszczelniający |
Materiał uszczelniający | Viton, guma silikonowa, NBR, ERP, teflon |
Rozmiar stawu | Swagelok 3/8”, 1/2”; φ8, φ10, φ12mm |
Zasilacz | 24 V, 0,5 A |
Napisz tutaj swoją wiadomość i wyślij ją do nas