پوهه - د ویکیوم والوز

I. د والو پیژندنه
ویکیوم والو د ویکیوم سیسټم یوه برخه ده چې د هوا جریان سمت بدلولو ، د ګاز جریان اندازه تنظیم کولو ، د ویکیوم سیسټم کې پایپ لاین پرې کولو یا وصل کولو لپاره کارول کیږي.د ویکیوم والو تړلې برخې د ربړ مهر یا فلزي مهر لخوا مهر شوي.

II.د ویکیوم والو عام غوښتنلیکونه.
د ویکیوم والوز
د لوړ یا خورا لوړ ویکیوم سیسټم تجهیزاتو کې کارول کیږي کله چې خلا باید په تړل شوي ویکیوم اداره کولو سیسټم کې وساتل شي.د ویکیوم والوز د ویکیوم چیمبر ته د هوا جریان کنټرولولو لپاره کارول کیږي ، جلا کول ، وینټ ، د فشار کمولو یا کنټرول کنټرول چمتو کول.د دروازې والوز، انلاین والوز او زاویه والوز د ویکیوم والوز تر ټولو عام ډولونه دي چې د لوړ یا الټرا - لوړ ویکیوم غوښتنلیکونو لپاره کارول کیږي.د اضافي والو ډولونو کې د تیتلی والوز، د لیږد والوز، د بال والوز، پنډولم والوز، ټول فلزي والوز، ویکیوم والوز، د المونیم زاویه والوز، د تیفلون لیپت ویکیوم والوز او مستقیم له لارې والوز شامل دي.

تیتلی والوز
د ګړندي پرانیستلو والوز دي چې د فلزي ډیسکونو یا وینونو څخه جوړ دي چې په پایپ لاین کې د جریان سمت ته په ښي زاویو کې محور کوي او کله چې د دوی په محور کې ګرځیږي ، والو د والو په بدن کې سیټ سیل کوي.

د لیږد والوز (مستطیل دروازې والوز)
د جلا کولو والوز د بار شوي ویکیوم چیمبرونو او لیږد چیمبرونو تر مینځ د کارونې لپاره مناسب دی ، او د سیمی کنډکټر تولید تجهیزاتو کې د لیږد چیمبرونو او پروسس چیمبرونو ترمینځ.

د ویکیوم بال والوز
د یونیفورم سیل کولو فشار لپاره د سرکلر سیټونو سره سمون لرونکي سرکلر بند اسمبلۍ سره د ربع مستقیم جریان والونه دي.

د پنډولم والوز
د پروسس ویکیوم چیمبر او د ټربومولیکولر پمپ انلیټ ترمینځ یو لوی throttle والو دی.دا ویکیوم پنډولم والوز عموما د OLED، FPD او PV صنعتي تولید سیسټمونو غوښتنلیکونو لپاره د دروازې یا پنډولم والو په توګه ډیزاین شوي.

ټول فلزي والوز
په خورا لوړ خلا چاپیریالونو کې د کارولو لپاره ډیزاین شوی چیرې چې لوړه تودوخه د ایلیسټومرونو او کریوجینک ګازکټ فلزاتو کارولو ته اجازه نه ورکوي.د پخولو وړ ټول فلزي والوز د اتموسفیر فشار څخه د 10-11 mbar څخه ښکته د لوړ تودوخې مهر کول چمتو کوي.

د ویکیوم والوز
د سیمی کنډکټر تولید سیسټمونو او غوښتنلیکونو کې د کیمیاوي او ذراتو ککړتیا سره په اعتبار سره کار وکړئ.دوی کولی شي په خراب خلا، لوړ خلا یا خورا لوړ خلا چاپیریال کې وکارول شي.

د المونیم زاویې والوز
د دې والوز داخل او بهر یو بل ته په سمه زاویې کې دي.دا زاویې والوز د المونیم A6061-T6 څخه جوړ شوي او د سیمی کنډکټر او وسایلو تولید ، R&D او صنعتي ویکیوم سیسټمونو کې د ټیټ څخه تر لوړ ویکیوم غوښتنلیکونو لپاره کارول کیږي.

د تیفلون لیپت ویکیوم والو په بشپړ ډول انجینر شوی سټینلیس سټیل ویکیوم اجزا وسیله ده چې د دوامدار او خورا کیمیاوي مقاومت لرونکي پوښ سره.

III.د ویکیوم والوز ځانګړتیاوې.
فشار د اتموسفیر فشار څخه ښکته دی او د والو فلیپ په اوږدو کې د فشار کمښت د 1 کیلو ګرام ځواک / سانتي مترو څخه ډیر نشي.د منځنۍ کاري تودوخې درجه د کارول شوي وسیلې پروسې پورې اړه لري.د تودوخې درجه عموما د -70 ~ 150 درجو څخه زیاته نه وي.د دې ډول والوزونو لپاره ترټولو اساسي اړتیا دا ده چې د پیوستون لوړه کچه او د جوړښت او ګازیک موادو کثافت ډاډ ترلاسه کړي.

د متوسط ​​فشار له مخې ویکیوم والوز په څلورو ګروپونو ویشل کیدی شي.
1) ټیټ ویکیوم والوز: متوسط ​​فشار p=760~1 mmHg.
2) منځنی ویکیوم والوز: p=1×10-3 mmHg.
3）لوړ ویکیوم والوز: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4) الټرا - لوړ ویکیوم والو: p≤1 × 10-8 mmHg.

د تړل شوي سرکټ والو په توګه چې د 250 ملي میتر څخه کم د تیریدو قطر سره، په پراخه توګه کارول شوي سټیم د ویکیوم بیلو بند والو دی چې د خطي حرکت سره.د دروازې والوز، که څه هم، ډیر محدود دي، مګر دا په عمده توګه د لوی قطر لپاره دی.همدارنګه د کروی پلګ والوز (بال والوز)، د پلنګ والوز او تیتلی والوز شتون لري.د ویکیوم والوز لپاره پلګ والوز ته وده نه ده ورکړل شوې ځکه چې دوی د تیلو غوړولو ته اړتیا لري، دا د تیلو بخار لپاره ممکنه کوي چې د ویکیوم سیسټم ته ننوځي، کوم چې اجازه نلري.د ویکیوم والوز په ساحه کې په لاسي او لیرې توګه کنټرول کیدی شي ، په بیله بیا بریښنایی ، بریښنایی مقناطیسي (سولینایډ والوز) ، نیوماتیک او هیدرولیک ډول.