پمپونه معمولا د الټرا لوړ ویکیوم سیسټمونو کې کارول کیږي

I. میخانیکي پمپونه
د میخانیکي پمپ اصلي دنده د ټربومولیکولر پمپ پیل کولو لپاره د مرحلې دمخه اړین خلا چمتو کول دي.په عام ډول کارول شوي میخانیکي پمپونه په عمده ډول د وورتیکس وچ پمپونه ، ډایفرام پمپونه او د تیلو مهر شوي میخانیکي پمپونه شامل دي.
د ډایفراګم پمپونه د پمپ کولو ټیټ سرعت لري او معمولا د کوچني اندازې له امله د کوچني مالیکول پمپ سیټونو لپاره کارول کیږي.
د تیلو مهر شوی میخانیکي پمپ په تیرو وختونو کې ترټولو کارول شوی میخانیکي پمپ دی ، د لوی پمپ کولو سرعت او ښه حتمي خلا لخوا مشخص شوی ، نیمګړتیا د تیلو بیرته راستنیدو عمومي شتون دی ، په خورا لوړ ویکیوم سیسټمونو کې عموما اړتیا لري د سولینایډ والو سره مجهز وي. (د تیلو د بیرته راستنیدو له امله د ناڅاپي بریښنا ناکامۍ مخنیوي لپاره) او مالیکولر چاڼ (د جذب اغیز).
په وروستي کلونو کې، د سکرول وچ پمپ ډیر کارول کیږي. ګټه یې کارول ساده دي او تیلو ته بیرته نه راځي، یوازې د پمپ کولو سرعت او حتمي خلا د تیلو مهر شوي میخانیکي پمپونو په پرتله یو څه خراب دی.
میخانیکي پمپونه په لابراتوار کې د شور او وایبریشن اصلي سرچینه ده او دا غوره ده چې د ټیټ شور پمپ غوره کړئ او د امکان په صورت کې یې د تجهیزاتو ترمینځ ځای په ځای کړئ ، مګر وروستی د کاري واټن محدودیتونو له امله ترلاسه کول اکثرا اسانه ندي.
II.توربومولکولر پمپونه
د ټربو مالیکولر پمپونه د ګاز د سمتي جریان ترلاسه کولو لپاره په لوړ سرعت څرخیدونکي وینز (معمولا په یوه دقیقه کې شاوخوا 1000 انقلابونه) ​​تکیه کوي.د پمپ د خارجي فشار تناسب د داخلي فشار سره د کمپریشن تناسب په نوم یادیږي.د کمپریشن تناسب د پمپ د مرحلو په شمیر، سرعت او د ګاز ډول پورې اړه لري، د ګاز کمپریشن عمومي مالیکولر وزن نسبتا لوړ دی.د توربومولکولر پمپ حتمي خلا عموما 10-9-10-10 mbar ګڼل کیږي، او په وروستیو کلونو کې، د مالیکولر پمپ ټیکنالوژۍ په دوامداره پرمختګ سره، حتمي خلا نوره هم ښه شوې.
لکه څنګه چې د ټربومولیکول پمپ ګټې یوازې د مالیکول جریان حالت کې درک کیږي (یو جریان حالت چې د ګاز مالیکولونو اوسط وړیا حد د ډیکټ کراس برخې اعظمي اندازې څخه خورا لوی وي) ، د مخکې مرحلې ویکیوم پمپ د 1 څخه تر 10-2 Pa د عملیاتي فشار سره اړتیا ده.د وینز د لوړ گردش سرعت له امله، مالیکول پمپ د بهرنیو شیانو، جټټر، اغیزو، ریزونانس یا ګاز شاک لخوا زیانمن یا ویجاړ کیدی شي.د پیل کونکو لپاره ، د زیان ترټولو عام لامل د ګاز شاک دی چې د عملیاتي غلطیو له امله رامینځته شوی.مالیکولر پمپ ته زیان هم د میخانیکي پمپ لخوا رامینځته شوي ریزونانس له امله رامینځته کیدی شي.دا حالت نسبتا نادر دی مګر ځانګړې پاملرنې ته اړتیا لري ځکه چې دا ډیر سپکاوی دی او په اسانۍ سره نه پیژندل کیږي.

III.د سپټرینګ ایون پمپ
د سپټرینګ آئن پمپ کاري اصول دا دي چې د پیننګ خارج کیدو لخوا رامینځته شوي آیونونو څخه کار واخلئ ترڅو د کیتوډ ټایټانیوم پلیټ باندې بمباري وکړي ترڅو تازه ټایټانیوم فلم رامینځته کړي ، پدې توګه فعال ګازونه جذبوي او په غیر فعال ګازونو هم یو مشخص دفن تاثیر لري. .د سپټټرینګ آیون پمپونو ګټې دا دي چې ښه حتمي خلا، هیڅ کمپن، هیڅ شور، نه ککړتیا، یو بالغ او باثباته پروسه، هیڅ ساتنه او د پمپ کولو په ورته سرعت کې (د غیر فعال ګازونو پرته)، د دوی لګښت د مالیکول پمپونو په پرتله خورا ټیټ دی، کوم چې دوی په خورا لوړ ویکیوم سیسټمونو کې په پراخه کچه کارول کیږي.معمولا د سپټرینګ آئن پمپونو نورمال عملیاتي دوره له 10 کلونو څخه ډیر وي.
د آیون پمپونه عموما د 10-7 mbar څخه پورته وي ترڅو په سمه توګه کار وکړي (په خراب خلا کې کار کول د دوی عمر د پام وړ کموي) او له همدې امله د مخکې مرحلې ښه خلا چمتو کولو لپاره مالیکول پمپ سیټ ته اړتیا لري.دا یو عام عمل دی چې د آیون پمپ + TSP په اصلي چیمبر کې کارول کیږي او یو کوچنی مالیکولر پمپ د داخلی چیمبر کې تنظیم شوی.کله چې پخیږي، تړل شوی داخلی والو خلاص کړئ او پریږدئ چې کوچني مالیکولر پمپ سیټ مخکینۍ خلا چمتو کړي.
دا باید په پام کې ونیول شي چې د آیون پمپونه د غیر فعال ګازونو د جذب کولو وړتیا لري او د دوی اعظمي پمپ کولو سرعت د مالیکولر پمپونو څخه یو څه توپیر لري نو د لوی خارج ګاز حجم یا د غیر فعال ګازونو لوی مقدار لپاره د مالیکول پمپ سیټ ته اړتیا ده.سربیره پردې، د آیون پمپ د عملیاتو په جریان کې بریښنایی مقناطیسي ساحه رامینځته کوي ، کوم چې ممکن په ځانګړي ډول حساس سیسټمونو کې مداخله وکړي.
IV.د Titanium sublimation پمپونه
د ټایټینیم سبلیمیشن پمپونه د فلزي ټایټانیوم په تبخیر تکیه کولو سره کار کوي ترڅو د کیمیسورپشن لپاره د خونې په دیوالونو کې د ټایټانیوم فلم رامینځته کړي.د ټایټانیوم سبلیمیشن پمپونو ګټې ساده ساختماني ، ټیټ لګښت ، اسانه ساتنه ، هیڅ وړانګې او د کمپن شور نه دي.
د ټایټینیم سبلیمیشن پمپونه معمولا د 3 ټایټانیوم فلامینټونو څخه جوړ دي (د سوځیدنې مخه نیولو لپاره) او د مالیکول یا آئن پمپونو سره په ترکیب کې کارول کیږي ترڅو غوره هایدروجن لرې کړي.دا د 10-9-10-11 mbar رینج کې ترټولو مهم ویکیوم پمپونه دي او په ډیرو الټرا - لوړ ویکیوم چیمبرونو کې نصب شوي چیرې چې د ویکیوم لوړې کچې ته اړتیا وي.
د ټایټانیوم سبلیمیشن پمپونو نیمګړتیا د ټایټانیوم منظم تودوخې ته اړتیا ده ، خلا د سپټرینګ پرمهال د شاوخوا 1-2 امرونو شدت سره خرابیږي (په څو دقیقو کې) ، نو له همدې امله ځانګړي خونې د ځانګړو اړتیاو سره د NEG کارولو ته اړتیا لري.همچنان ، د ټایټانیوم حساس نمونو / وسیلو لپاره ، باید پاملرنه وشي ترڅو د ټایټینیم سبلیمیشن پمپ موقعیت څخه مخنیوی وشي.
V. کریوجینک پمپونه
کریوجینک پمپونه په عمده توګه د ویکیوم ترلاسه کولو لپاره د ټیټ حرارت فزیکي جذب باندې تکیه کوي ، د لوړ پمپ کولو سرعت ، هیڅ ککړتیا او لوړ حتمي خلا ګټې سره.اصلي عوامل چې د کریوجنیک پمپونو د پمپ کولو سرعت اغیزه کوي د تودوخې درجه او د پمپ سطحه ده.په لوی مالیکولر بیم ایپیټیکسي سیسټمونو کې ، کریوجینک پمپونه په پراخه کچه د لوړ حتمي خلا اړتیاو له امله کارول کیږي.
د کریوجینک پمپونو زیانونه د مایع نایتروجن لوړ مصرف او لوړ عملیاتي لګښتونه دي.د بیا گردش کولرونو سره سیسټمونه د مایع نایتروجن مصرف کولو پرته کارول کیدی شي ، مګر دا د انرژي مصرف ، کمپن او شور سره ورته ستونزې راوړي.د دې دلیل لپاره، کریوجینک پمپونه په دودیز لابراتوار تجهیزاتو کې لږ کارول کیږي.
VI.د اسپریټر پمپونه (NEG)
د سکشن اجنټ پمپ په تیرو کلونو کې یو له ډیر کارول شوي ویکیوم پمپونو څخه دی ، د دې ګټه د کیمیاوي جذب بشپړ کارول دي ، د بخار پلیټ کول او بریښنایی مقناطیسي ککړتیا شتون نلري ، ډیری وختونه د مالیکول پمپونو سره په ګډه د ټایټینیم سبلیمیشن پمپونو او سپټرینګ آئن ځای نیولو لپاره کارول کیږي. د پمپونو، نیمګړتیا د لوړ لګښت او د بیا رغولو محدود شمیر دی، معمولا په سیسټمونو کې کارول کیږي چې د ویکیوم ثبات لپاره لوړ اړتیاوې لري یا د بریښنایی مقناطیسي ساحو لپاره خورا حساس دي.
سربیره پردې ، لکه څنګه چې د اسپریټر پمپ د لومړني فعالیت څخه وروسته اضافي بریښنا رسولو اتصال ته اړتیا نلري ، دا اکثرا په لوی سیسټمونو کې د معاون پمپ په توګه هم کارول کیږي ترڅو د پمپ کولو سرعت ډیر کړي او د خلا کچه ښه کړي ، کوم چې کولی شي سیسټم په مؤثره توګه ساده کړي.

شکل: د مختلف ډوله پمپونو لپاره د کار فشار.نسواري تیر د عملیاتي فشار اعظمي حد ښیي او بولډ شوي شنه برخې د عام کاري فشار حد ښیې.