د تودوخې ګاز ماس فلو کنټرولر (MFC)
دrmalgasmغوښهfټیټmeter(MFM) isakindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsinټیمپیرهtureorpressهو، اړتیا نلريthecompensationoftemperatureandpressure.
ماډل | SQC-100 |
د جریان لړۍ (N2) | 0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM |
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
دقت | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(315SLM) |
د والو ډرایو ډول | عادي تړل |
خطاطي | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(315SLM) |
د تکرار وړتیا | ±0.2%FS |
د غبرګون وخت | ≤ 1 ثانیه |
داخل/آؤټ پټ سیګنال | 0~5V |
د بریښنا ګډه | DB15 پن (سایه) |
د عملیاتو ټیم | 5~45℃ |
توپیر پری. | 0.05~0.5MPa (MFC); 0.03~3.0MPa(MFM) |
د لیک کچه | 1×10-8SCCS (هغه) |
مکسفشار | 3MPa |
منځنی مواد | 316L SS او سیل کولو مواد |
د مهر کولو مواد | Viton، سلیکون ربړ، NBR، Teflon، فلزي مهر. |
ګډ اندازه | VCR 1/4”;Swagelok 1/8″, 1/4″;φ3、φ6mm |
برښنا ترتیبونکی | +15V,50mA;-15V,200mA |
ماډل | SQC-200 |
د جریان لړۍ (N2) | MFC: 0~20,30,50,100,150, 200SLM |
MFM: 0~20,30,50,100,150,200,250,300SLM | |
دقت | ± 2 پي ایف ایس |
د والو ډرایو ډول | عادي تړل |
خطاطي | ± 2 پي ایف ایس |
د تکرار وړتیا | ±0.2%FS |
د غبرګون وخت | ≤5 ثانیې |
داخل/آؤټ پټ سیګنال | 1~5V;4~20mA |
د بریښنا ګډه | DB15 پن (سایه) |
د عملیاتو ټیم | 5~45℃ |
توپیر پری. | 0.1~0.3MPa(MFC;; 0.05~3.0MPa(MFM) |
د لیک کچه | 1×10-8SCCS (هغه) |
مکسفشار | 3MPa |
منځنی مواد | 316L SS او سیل کولو مواد |
د مهر کولو مواد | ویټون، سیلیکون ربړ، NBR، ERP، Teflon |
ګډ اندازه | سواګیلوک 3/8″ 、1/2″; φ8、φ10、φ12mm |
برښنا ترتیبونکی | 24V,0.5A |
خپل پیغام دلته ولیکئ او موږ ته یې واستوئ