Medidor de fluxo de massa CS200 do controlador de fluxo de massa
Características
1. Alta precisão e resposta rápida
A precisão do CS200 MFC foi melhorada para ±1,0% do SP, e os modelos mais avançados têm um tempo de resposta reduzido de menos de 0,8 segundos.
2. Baixo desvio zero e coeficiente de temperatura
A invenção da nova tecnologia de sensores permite que o CS200 MFC mantenha a estabilidade e resista às flutuações de temperatura.Sem um amplificador de zero automático, o desvio de zero esperado é inferior a 0,6% FS/ano e o coeficiente de temperatura é inferior a 0,02% FS/℃ (zero), 0,05% FS/ ℃ (span).
3. Modelos selados com metal e recurso de alta pureza
O caminho de fluxo úmido da linha CS200 MFC é construído em aço inoxidável com superfície passivada.Todos os MFCs CS200 são montados nas salas limpas ultralimpas Classe 100 da Sevenstar, de acordo com os padrões SEMI e ISO 9001.
4. Interfaces compatíveis
O CS200 MFC é compatível com as seguintes interfaces, que podem ser selecionadas pelo cliente: Fonte de alimentação double-end ±8V-±16V e fonte de alimentação single-end +14V-+28V;entrada e saída de sinal digital ou analógico;Dimensões mecânicas padrão SEMI;e módulo de comunicação RS-485 ou DeviceNet.
5. Funções diversas
Um poderoso software do cliente vem como padrão em cada modelo, enquanto funções adicionais como multigás, multifaixa, zero automático, alarmes, partida suave e atraso estão disponíveis conforme as seleções do cliente.
Especificação
| CS200 | |||||||
| Tipo | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Faixa de escala completa (N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Precisão | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS?(<35% FS) | ||||||
| Linearidade | ±0,5% FS | ||||||
| Repetibilidade | ±0,2% FS | ||||||
| Tempo de resposta | ≤1seg | ≤0,8 seg (SEMI E17-0600) | |||||
| Posição de descanso da válvula | Normalmente fechado ou | Sem válvula | Normalmente fechado ou | Sem válvula | Normalmente fechado ou | Sem válvula | |
| Normalmente aberto（100 sccm≤FS≤5 slm） | Normalmente aberto（100 sccm≤FS≤5 slm） | Normalmente aberto（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Pressão diferencial | 0,05~0,35MPa （Fluxo≤10slm） | <0,02 MPa | (0,05~0,35) MPa（≤10slm） | <0,02 MPa | (0,05~0,35) MPa（≤10slm） | <0,02 MPa | |
| 0,1~0,35MPa(10slm＜Fluxo≤30slm） | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0,2~0,45MPa （Fluxo>30slm） | |||||||
| Pressão Máxima de Operação | 0,45 MPa | |||||
| Temperatura | Zero:≤±0,05% FS/℃; | Zero:≤±0,02% FS/℃;Extensão:≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Coeficiente | Extensão: ≤±0,1% FS/℃(Fluxo≤30slm) | |||||
| Extensão: ≤±0,2% FS/℃（Fluxo>30slm） | ||||||
| Pressão de prova | 3MPa (435pisg) | |||||
| Deriva Zero | <0,6%FS por ano sem autozero | |||||
| Integridade de vazamento | 1×10-9 atm·cc / seg Ele | 1×10-10atm·cc / seg Ele | ||||
| Materiais molhados | Vitão; | Metal?(Aço inoxidável V/V, 5Ra) | Metal | |||
| Química de Superfície | —— | Relação Cr/Fe >2,0;Espessura de CrO >20 Angstroms | ||||
| Acabamento de superfície | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Temperatura de operação | (5~45）℃ | (0~50）℃ | ||||
| Sinal de entrada | Digital: RS485 ou ProfiBus | N / D | Digital: RS485 ou ProfiBus ou DeviceNetTM | N / D | Digital: RS485 ou ProfiBus ou DeviceNetTM | N / D |
| ou DeviceNetTM | Analógico:(0~5)VDC ou (4~20)mA ou (0~20)mA | Analógico:(0~5)VDC ou (4~20)mA?ou (0~20)mA | |||||
| Analógico:(0~5)VDC ou (4~20)mA ou(0~20)mA | |||||||
| Sinal de saída | Digital: RS485 ou DeviceNetTM ou ProfiBus Analógico:(0~5)VDC ou (4~20)mA ou (0~20)mA | ||||||
| Fonte de energia | ±8 ~ ±16 VCC ou +14 ~ +28 VCC (400mA) | ||||||
| Conector Eletrônico | Sub-D macho de 9 pinos, sub-D macho de 15 pinos, DeviceNetTM,ProfiBus ， Analógico | ||||||
| Acessórios | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | Videocassete 1/4”M; | |||||
| Encaixe de compressãoΦ10;Acessório de compressãoΦ6； | Encaixe de compressãoΦ6, | ||||||
| Encaixe de Compressão 3/8”;Encaixe de compressão 1/4”; | Encaixe de compressãoΦ3, | ||||||
| Encaixe de compressão 1/8”;Encaixe de compressãoΦ3； | Encaixe de compressão 1/4”, | ||||||
| Ф6(interno)×1mangueira;ф5(interno)×1,5mangueira;ф4(interno)×1mangueira; | Selo W, | ||||||
| A-sael; | Selo C | ||||||
| Peso | 1 kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1 kg | 1,2 kg | 1 kg | |
