Os controladores de fluxo de massa (MFC) fornecem medição e controle precisos do fluxo de massa de gases.
I. Qual é a diferença entre um MFC e um MFM?
O medidor de fluxo de massa (MFM) é um tipo de instrumento que mede com precisão o fluxo de gás, e seu valor de medição não é impreciso devido a flutuações de temperatura ou pressão e não requer compensação de temperatura e pressão. tem a função de medidor de vazão mássica, mas o mais importante é que pode controlar automaticamente a vazão do gás, ou seja, o usuário pode definir a vazão de acordo com sua necessidade, e o MFC mantém automaticamente a vazão constante no valor definido, mesmo que a pressão do sistema As flutuações ou alterações na temperatura ambiente não farão com que ela se desvie do valor definido.O controlador de fluxo de massa é um dispositivo de fluxo constante, que é um dispositivo de fluxo constante de gás que pode ser configurado manualmente ou controlado automaticamente pela conexão com um computador.Os medidores de fluxo de massa apenas medem, mas não controlam.O controlador de fluxo de massa possui uma válvula de controle, que pode medir e controlar o fluxo de gás.
II.Qual é a estrutura eprincípio de funcionamento?
1. Estrutura
2、Princípio de Operação
Quando o fluxo entra no tubo de admissão, a maior parte do fluxo passa pelo canal desviador, uma pequena parte do qual entra no tubo capilar dentro do sensor.Devido à estrutura especial
o canal desviador, as duas partes do fluxo de gás podem ser diretamente proporcionais.O sensor é pré-aquecido e aquecido, e a temperatura interna é superior à temperatura do ar de entrada.Neste momento, o fluxo de massa da pequena parte do gás é medido pelo princípio da transferência de calor pelo tubo capilar e pelo princípio da calorimetria por diferença de temperatura.O fluxo de gás medido desta forma pode ignorar os efeitos da temperatura e da pressão.O sinal de medição de vazão detectado pelo sensor é inserido na placa de circuito e amplificado e emitido, e a função do MFM é concluída.Adicionando a função de controle automático de circuito fechado PID à placa de circuito, compare o sinal de medição de vazão medido pelo sensor com o sinal definido fornecido pelo usuário.Com base nisso, a válvula de controle é controlada de forma que o sinal de detecção de fluxo seja igual ao sinal definido, realizando assim a função do MFC.
III.Aplicativos e recursos.
MFC, que é amplamente aplicado em áreas como: fabricação de semicondutores e IC, ciência de materiais especiais, indústria química, indústria petrolífera, indústria farmacêutica, proteção ambiental e pesquisa de sistemas de vácuo, etc. As aplicações típicas incluem: equipamentos de processo microeletrônico, como difusão , oxidação, epitaxia, DCV, gravação de plasma, pulverização catódica, implantação iônica;equipamento de deposição a vácuo, fusão de fibra óptica, equipamento de microrreação, sistema de mistura e combinação de gás, sistema de controle de fluxo capilar, cromatógrafo gasoso e outros instrumentos analíticos.
MFC traz alta precisão, excelente repetibilidade, resposta rápida, partida suave, melhor confiabilidade, ampla variedade de faixas de pressão de operação (bom funcionamento em situações de alta pressão e vácuo), operação simples e conveniente, instalação flexível, possível conexão com PC para realizar automático controle para o sistema dos usuários.
4.Como determinar e lidar com failures?
Nossa empresa possui engenheiro pós-venda profissional, pode ajudá-lo a resolver problemas de instalação e uso.
Horário da postagem: 29 de julho de 2022