Conhecimento – Válvulas de Vácuo

I. Introdução da válvula
A válvula de vácuo é um componente do sistema de vácuo usado para alterar a direção do fluxo de ar, ajustar o tamanho do fluxo de gás, cortar ou conectar a tubulação no sistema de vácuo.As peças de fechamento da válvula de vácuo são vedadas por vedação de borracha ou vedação metálica.

II.Aplicações comuns de válvulas de vácuo.
Válvulas de vácuo
Usado em equipamentos de sistema de alto ou ultra-alto vácuo quando o vácuo deve ser mantido em um sistema fechado de manuseio de vácuo.As válvulas de vácuo são usadas para controlar o fluxo de ar na câmara de vácuo, isolar, ventilar, fornecer redução de pressão ou controlar a condução.Válvulas gaveta, válvulas Inline e válvulas angulares são os tipos mais comuns de válvulas de vácuo usadas para aplicações de alto ou ultra-alto vácuo.Tipos de válvulas adicionais incluem válvulas borboleta, válvulas de transferência, válvulas de esfera, válvulas de pêndulo, válvulas totalmente metálicas, válvulas de vácuo, válvulas angulares de alumínio, válvulas de vácuo revestidas de Teflon e válvulas diretas.

Válvulas borboleta
são válvulas de abertura rápida que consistem em discos ou palhetas metálicas que giram perpendicularmente à direção do fluxo na tubulação e quando giradas em seu eixo, a válvula veda a sede no corpo da válvula.

Válvulas de transferência (válvulas gaveta retangulares)
Válvulas de separação adequadas para uso entre câmaras de vácuo com carga bloqueada e câmaras de transferência, e entre câmaras de transferência e câmaras de processamento em equipamentos de fabricação de semicondutores.

Válvulas de esfera a vácuo
são válvulas de fluxo reto de um quarto de volta com um conjunto de fechamento circular com sedes circulares correspondentes para tensão de vedação uniforme.

Válvulas de pêndulo
é uma grande válvula borboleta instalada entre a câmara de vácuo do processo e a entrada da bomba turbomolecular.Essas válvulas pêndulo a vácuo são normalmente projetadas como válvulas gaveta ou pêndulo para aplicações que incluem sistemas de fabricação industrial OLED, FPD e fotovoltaica.

Válvulas totalmente metálicas
Projetado para uso em ambientes de ultra-alto vácuo, onde altas temperaturas não permitem o uso de elastômeros e juntas metálicas criogênicas.Válvulas totalmente metálicas que podem ser assadas fornecem vedação confiável em altas temperaturas, desde pressão atmosférica até abaixo de 10-11 mbar.

Válvulas de vácuo
Opere de forma confiável em sistemas de produção de semicondutores e em aplicações com contaminação química e particulada.Eles podem ser usados ​​em ambientes de vácuo bruto, alto vácuo ou ultra-alto vácuo.

Válvulas angulares de alumínio
A entrada e a saída dessas válvulas formam ângulos retos entre si.Essas válvulas angulares são feitas de alumínio A6061-T6 e são usadas na fabricação de semicondutores e instrumentação, P&D e sistemas de vácuo industrial para aplicações de alto a alto vácuo.

A válvula de vácuo revestida com Teflon é um dispositivo de componente de vácuo de aço inoxidável totalmente projetado com um revestimento durável e altamente resistente a produtos químicos.

III.Características das válvulas de vácuo.
A pressão está abaixo da pressão atmosférica e a queda de pressão na aba da válvula não pode exceder 1 kg força/cm.A temperatura de trabalho do meio depende do processo do dispositivo utilizado.A temperatura geralmente não excede a faixa de -70 ~ 150°C.O requisito mais básico para tais válvulas é garantir um alto grau de estanqueidade da conexão e a densidade da estrutura e do material da junta.

De acordo com as válvulas de vácuo de média pressão podem ser divididas em quatro grupos.
1) Válvulas de baixo vácuo: pressão média p=760~1 mmHg.
2）Válvulas de médio vácuo: p=1×10-3 mmHg.
3）Válvulas de alto vácuo: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）Válvula de vácuo ultra-alto: p≤1×10-8 mmHg.

Por ser uma válvula de circuito fechado com diâmetro de passagem inferior a 250 mm, a haste amplamente utilizada é uma válvula de corte de fole a vácuo com movimento linear.As válvulas gaveta, entretanto, são mais restritas, mas principalmente para grandes diâmetros.Também estão disponíveis válvulas macho esféricas (válvulas esfera), válvulas de êmbolo e válvulas borboleta.Válvulas macho para válvulas de vácuo não foram promovidas porque requerem lubrificação com óleo, possibilitando a entrada de vapor de óleo no sistema de vácuo, o que não é permitido.As válvulas de vácuo podem ser controladas manualmente e remotamente no campo, bem como eletricamente, eletromagneticamente (válvulas solenóides), pneumaticamente e hidraulicamente.