Bomba molecular turbo semicondutora EV1600L/S da fábrica ODM na China
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Dimensões do perfil e conexões de montagem de bombas turbomoleculares
A curva de velocidade da bomba molecular Turbo
bombeando nitrogênio e hidrogênio
A curva de velocidade do Turbo molecular
bombear para a atmosfera
Dados Técnicos do EV-3600
Flange de entrada (mm) | 400 ISO-K | |
Flange de saída (mm) | 100 ISO-K | |
Taxa de bombeamento (L/S) | 3600 | |
Taxa de compressão | N2 | >108 |
H2 | >5X102 | |
Pressão Final (Pa) | <2X10-6 | |
Velocidade nominal (rpm) | 13.500 | |
Vibração | ≤0,15 μm | |
Hora de início(min) | <11 | |
Tempo de parada (min) | <20 | |
Bomba rotativa sugerida | 30-70 L/S | |
Método de resfriamento | Resfriamento a água | |
Temperatura de resfriamento de água (℃) | ≤25 | |
O fluxo de resfriamento de água (L/min) | 2 | |
Temperatura de cozimento do corpo da bomba | <120°C | |
Modo de instalação | Vertical ±5° | |
Peso (kg) | ≈100 |
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