Controlador de fluxo de massa de gás térmico (MFC)
Ormalgasmbundafbaixometer(MFM)isakindofacturatemeasurementofgasflow,the measuredvalusamarenotcontrolleDbyfluctuationsintemperatureorpressclaro, não precisotheheompensationoftemperatureandpressure.
Modelo | SQC-100 |
Faixas de Fluxo (N2) | 0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM |
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
Precisão | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Tipo de acionamento de válvula | Normalmente Fechado |
Linearidade | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Repetibilidade | ±0,2%FS |
Tempo de resposta | ≤1seg |
Sinal de entrada/saída | 0~5V |
Junta Elétrica | Pino DB15 (agulha) |
Operação Tem. | 5~45°C |
Pré Diferencial. | 0,05 ~ 0,5 MPa (MFC); 0,03 ~ 3,0 MPa (MFM) |
Taxa de vazamento | 1×10-8SCCS (Ele) |
Máx.Pressão | 3 MPa |
Material Médio | SS 316L e material de vedação |
Material de vedação | Viton, Borracha de silicone, NBR, Teflon, Vedação metálica. |
Tamanho da junta | VCR 1/4”;Swagelok 1/8” 、1/4”;φ3、 φ6mm |
Fonte de energia | +15V,50mA;-15V,200mA |
Modelo | SQC-200 |
Faixas de Fluxo (N2) | MFC:0~20,30,50,100,150,200SLM |
MFM:0~20,30,50,100,150,200,250,300SLM | |
Precisão | ±2%FS |
Tipo de acionamento de válvula | Normalmente Fechado |
Linearidade | ±2%FS |
Repetibilidade | ±0,2%FS |
Tempo de resposta | ≤5seg |
Sinal de entrada/saída | 1~5V;4~20mA |
Junta Elétrica | Pino DB15 (agulha) |
Operação Tem. | 5~45°C |
Pré Diferencial. | 0,1 ~ 0,3 MPa (MFC); 0,05 ~ 3,0 MPa (MFM) |
Taxa de vazamento | 1×10-8SCCS (Ele) |
Máx.Pressão | 3 MPa |
Material Médio | SS 316L e material de vedação |
Material de vedação | Viton, borracha de silicone, NBR, ERP, Teflon |
Tamanho da junta | Swagelok 3/8” 、 1/2”; φ8、φ10、φ12mm |
Fonte de energia | 24V,0,5A |
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