Controler de debit de masă Debitmetru de masă CS200
Caracteristici
1. Precizie ridicată și răspuns rapid
Precizia CS200 MFC a fost îmbunătățită la ±1,0% din SP, iar cele mai avansate modele au un timp de răspuns redus de mai puțin de 0,8 sec.
2. Deriva zero și coeficient de temperatură scăzut
Invenția unei noi tehnologii de senzori permite CS200 MFC să mențină stabilitatea și să reziste la fluctuațiile de temperatură.Fără un amplificator auto-zero, deviația de zero așteptată este mai mică de 0,6% FS/an, iar coeficientul de temperatură este mai mic de 0,02% FS/℃ (zero), 0,05% FS/ ℃ (span).
3. Modele sigilate cu metal și caracteristică de înaltă puritate
Calea de curgere umezită a liniei CS200 MFC este construită din oțel inoxidabil pasivizat la suprafață.Toate MFC-urile CS200 sunt asamblate în camerele curate de clasa 100 de la Sevenstar, în conformitate cu standardele SEMI și ISO 9001.
4. Interfețe compatibile
CS200 MFC este compatibil cu următoarele interfețe, care pot fi selectate de client: ±8V-±16V sursă de alimentare dublu și +14V-+28V sursă de alimentare cu un singur capăt;intrare și ieșire semnal digital sau analogic;Dimensiuni mecanice standard SEMI;și modul de comunicații RS-485 sau DeviceNet.
5. Funcții diverse
Software-ul puternic pentru clienți vine standard cu fiecare model, în timp ce funcții suplimentare, cum ar fi multi-gaz, multi-gamă, zero automat, alarme, pornire ușoară și întârziere sunt disponibile ca selecții ale clientului.
Specificație
| CS200 | |||||||
| Tip | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Gama la scară completă (N2) | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Precizie | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS?(<35% FS) | ||||||
| Liniaritate | ±0,5% FS | ||||||
| Repetabilitate | ±0,2% FS | ||||||
| Timp de raspuns | ≤1 sec | ≤0,8 secunde (SEMI E17-0600) | |||||
| Poziția de repaus a supapei | În mod normal închis sau | Fără supapă | În mod normal închis sau | Fără supapă | În mod normal închis sau | Fără supapă | |
| În mod normal deschis (100 sccm≤FS≤5 slm) | În mod normal deschis (100 sccm≤FS≤5 slm) | În mod normal deschis (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| Presiune diferențială | 0,05 ~ 0,35 MPa （Debit≤10slm） | ＜0,02 MPa | (0,05~0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02 MPa | (0,05~0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02 MPa | |
| 0,1 ~ 0,35 MPa (10 slm ＜ Debit ≤ 30 slm ) | (0,1~0,35) MPa（＞10slm） | (0,1~0,35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0,2~0,45MPa (Debit>30slm) | |||||||
| Presiune maximă de funcționare | 0,45 MPa | |||||
| Temperatura | Zero: ≤±0,05% FS/℃; | Zero: ≤±0,02% FS/℃;Interval: ≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Coeficient | Interval: ≤±0,1% FS/℃（Debit≤30slm） | |||||
| Interval: ≤±0,2% FS/℃（Debit>30slm） | ||||||
| Presiunea de probă | 3MPa (435 piși) | |||||
| Deriva Zero | ＜0,6% FS pe an fără autozero | |||||
| Integritatea scurgerilor | 1×10-9 atm·cc / sec He | 1×10-10atm·cc / sec He | ||||
| Materiale umede | Viton; | Metal? (Oțel inoxidabil V/V, 5Ra) | Metal | |||
| Chimia suprafeței | —— | Raport Cr/Fe ＞2,0;Grosimea CrO ＞20 Angstroms | ||||
| Finisaj de suprafață | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Temperatură de lucru | （5~45）℃ | （0~50）℃ | ||||
| Semnal de intrare | Digital: RS485 sau ProfiBus | N / A | Digital: RS485 sau ProfiBus sau DeviceNetTM | N / A | Digital: RS485 sau ProfiBus sau DeviceNetTM | N / A |
| sau DeviceNetTM | Analogic: (0~5)VDC sau (4~20)mA sau (0~20)mA | Analogic: (0~5)VDC sau (4~20)mA? sau (0~20)mA | |||||
| Analogic: (0~5)VDC sau (4~20)mA sau (0~20)mA | |||||||
| Semnal de ieșire | Digital: RS485 sau DeviceNetTM sau ProfiBus Analogic: (0~5)VDC sau (4~20)mA sau (0~20)mA | ||||||
| Alimentare electrică | ±8 ~ ±16 VDC sau +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| Conector electronic | Sub-D tată cu 9 pini ，Sub-D tată cu 15 pini ，DeviceNetTM,ProfiBus ，Analogic | ||||||
| Fitinguri | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| Fitting de compresieΦ10;Fitting de compresieΦ6; | Fitting de compresieΦ6, | ||||||
| Fitting de compresie 3/8”;Racord de compresie 1/4”； | Fitting prin compresieΦ3, | ||||||
| Fitting de compresie1/8”;Fitting prin compresieΦ3; | Racord de compresie 1/4”， | ||||||
| Ф6(interior)×1 furtun;ф5(interior)×1.5hose;ф4(interior)×1furtun; | Sigiliu W, | ||||||
| A-sael ; | Sigiliu C | ||||||
| Greutate | 1 kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1 kg | 1,2 kg | 1 kg | |
