Controloarele de debit de masă (MFC) asigură măsurarea și controlul precis al debitului de masă al gazelor.
I. Care este diferența dintre un MFC și un MFM?
Debitmetrul de masă (MFM) este un fel de instrument care măsoară cu precizie debitul de gaz, iar valoarea sa de măsurare nu este inexactă din cauza fluctuațiilor de temperatură sau presiune și nu necesită compensare de temperatură și presiune. Controlerul de debit de masă (MFC) nu numai are funcția unui debitmetru de masă, dar mai important, poate controla automat debitul de gaz, adică utilizatorul poate seta debitul în funcție de nevoile lor, iar MFC menține automat debitul constant la valoarea setată, chiar dacă presiunea sistemului Fluctuațiile sau modificările temperaturii ambiante nu vor determina abaterea acesteia de la valoarea setată.Controlerul debitului de masă este un dispozitiv de debit constant, care este un dispozitiv de debit constant de gaz care poate fi setat manual sau controlat automat prin conectarea la un computer.Debitmetrele masice măsoară doar, dar nu controlează.Controlerul debitului de masă are o supapă de control, care poate măsura și controla debitul de gaz.
II.Care este structura șiprincipiul de functionare?
1, Structura
2, Principiul de funcționare
Când debitul intră în conducta de admisie, cea mai mare parte a fluxului trece prin canalul de deviere, din care o mică parte intră în tubul capilar din interiorul senzorului.Datorită structurii speciale a
canalul de deviere, cele două părți ale fluxului de gaz pot fi direct proporționale.Senzorul este preîncălzit și încălzit, iar temperatura din interior este mai mare decât temperatura aerului de intrare.În acest moment, debitul de masă al părții mici a gazului este măsurat prin principiul transferului de căldură prin tubul capilar și principiul calorimetriei diferenței de temperatură.Debitul de gaz măsurat în acest mod poate ignora efectele temperaturii și presiunii.Semnalul de măsurare a debitului detectat de senzor este introdus pe placa de circuite și amplificat și ieșit, iar funcția MFM este finalizată.Adăugarea funcției de control automat PID în buclă închisă la placa de circuite, comparați semnalul de măsurare a debitului măsurat de senzor cu semnalul setat dat de utilizator.Pe baza acesteia, supapa de control este controlată astfel încât semnalul de detectare a debitului să fie egal cu semnalul setat, realizând astfel funcția MFC.
III.Aplicații și caracteristici.
MFC, care este aplicat pe scară largă în domenii precum: fabricarea semiconductorilor și IC, știința materialelor speciale, industria chimică, industria petrolieră, industria farmaceutică, protecția mediului și cercetarea sistemelor de vid, etc. Aplicațiile tipice includ: echipamente de proces microelectronice, cum ar fi difuzia , oxidare, epitaxie, CVD, gravare cu plasmă, pulverizare, implantare ionică;echipamente de depunere în vid, topirea fibrelor optice, echipamente de micro-reacție, sistem de amestecare și potrivire a gazelor, sistem de control al fluxului capilar, cromatograf de gaze și alte instrumente analitice.
MFC oferă precizie ridicată, repetabilitate excelentă, răspuns rapid, pornire ușoară, fiabilitate mai bună, game variate de presiune de funcționare (funcționare bună în situații de presiune înaltă și vid), funcționare simplă și convenabilă, instalare flexibilă, posibilă conectare la PC pentru a efectua automat control asupra sistemului utilizatorilor.
IV.Cum să determinați și să tratați cu failures?
Compania noastră are inginer profesionist post-vânzare, vă poate ajuta să rezolvați problemele de instalare și utilizare.
Ora postării: 29-iul-2022