Cunoștințe – Supape de vid

I. Introducerea supapei
Supapa de vid este o componentă a sistemului de vid folosită pentru a schimba direcția fluxului de aer, pentru a regla dimensiunea fluxului de gaz, pentru a întrerupe sau conecta conducta în sistemul de vid.Părțile de închidere ale supapei de vid sunt etanșate cu etanșare din cauciuc sau etanșare metalică.

II.Aplicații comune ale supapelor de vid.
Supape de vid
Folosit în echipamente de sistem de vid înalt sau ultra-înalt atunci când vidul trebuie menținut într-un sistem de manipulare a vidului închis.Supapele de vid sunt utilizate pentru a controla fluxul de aer în camera de vid, izola, aerisește, asigură reducerea presiunii sau controlează conducerea.Supapele cu gură, supapele în linie și supapele unghiulare sunt cele mai comune tipuri de supape de vid utilizate pentru aplicații de vid înalt sau ultra-înalt.Tipuri suplimentare de supape includ supape fluture, supape de transfer, supape cu bilă, supape cu pendul, supape din metal, supape de vid, supape unghiulare din aluminiu, supape de vid acoperite cu teflon și supape drepte.

Supape fluture
sunt supape cu deschidere rapidă formate din discuri sau palete metalice care pivotează în unghi drept față de direcția curgerii în conductă și când sunt rotite pe axa lor, supapa etanșează scaunul din corpul supapei.

Supape de transfer (supape cu poartă dreptunghiulară)
Supape de separare adecvate pentru utilizare între camerele de vid blocate la sarcină și camerele de transfer și între camerele de transfer și camerele de procesare în echipamentele de fabricare a semiconductoarelor.

Supape cu bilă de vid
sunt supape de curgere drepte cu un sfert de tură, cu un ansamblu de închidere circulară cu scaune circulare potrivite pentru solicitarea uniformă de etanșare.

Supape cu pendul
este o supapă mare de accelerație montată între camera de vid de proces și admisia pompei turbomoleculare.Aceste supape cu pendul de vid sunt de obicei proiectate ca supape cu poartă sau pendul pentru aplicații inclusiv sistemele de producție industrială OLED, FPD și PV.

Supape din metal
Conceput pentru utilizare în medii cu vid ultra-înalt, unde temperaturile ridicate nu permit utilizarea elastomerilor și a metalelor de garnitură criogenice.Supapele din metal care se pot coace asigură etanșare fiabilă la temperaturi înalte de la presiunea atmosferică până la sub 10-11 mbar.

Supape de vid
Funcționează în mod fiabil în sistemele de producție de semiconductori și în aplicații cu contaminare chimică și cu particule.Ele pot fi utilizate în medii de vid dur, vid înalt sau vid ultra-înalt.

Supape unghiulare din aluminiu
Intrarea și ieșirea acestor supape sunt în unghi drept unul față de celălalt.Aceste supape unghiulare sunt fabricate din aluminiu A6061-T6 și sunt utilizate în fabricarea semiconductoarelor și a instrumentelor, în cercetare și dezvoltare și în sistemele industriale de vid pentru aplicații de vid dur până la înalt.

Supapa de vid acoperită cu teflon este un dispozitiv de componentă de vid din oțel inoxidabil complet proiectat, cu un strat durabil și foarte rezistent la substanțe chimice.

III.Caracteristicile supapelor de vid.
Presiunea este sub presiunea atmosferică și căderea de presiune pe clapeta supapei nu poate depăși 1 kg forță/cm.Temperatura de lucru a mediului depinde de procesul dispozitivului utilizat.Temperatura nu depășește, în general, intervalul de -70 ~ 150°C.Cea mai de bază cerință pentru astfel de supape este asigurarea unui grad ridicat de etanșeitate a conexiunii și densitatea structurii și a materialului de garnitură.

În funcție de presiunea medie, supapele de vid pot fi împărțite în patru grupuri.
1) Supape de vid scăzut: presiune medie p=760~1 mmHg.
2) Supape de vid mediu: p=1×10-3 mmHg.
3) Supape de vid înalt: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4) Supapă de vid ultra-înalt: p≤1×10-8 mmHg.

Ca supapă cu circuit închis cu un diametru de trecere mai mic de 250 mm, tija utilizată pe scară largă este o supapă de închidere cu burduf de vid cu mișcare liniară.Supapele cu gură, totuși, sunt mai restrânse, dar acest lucru este în principal pentru diametre mari.Sunt disponibile, de asemenea, supape cu dop sferic (supape cu bilă), supape cu piston și supape fluture.Supapele cu dopuri pentru supapele de vid nu au fost promovate deoarece necesită lubrifiere cu ulei, făcând posibilă intrarea vaporilor de ulei în sistemul de vid, ceea ce nu este permis.Supapele de vid pot fi controlate manual și de la distanță în teren, precum și electric, electromagnetic (electrovalve), pneumatic și hidraulic.