Controler debit de masă de gaz termic (MFC)
Thermalgelemcurfscăzutmeter(MFM)isakindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressnu e nevoiethecompensationoftemperatureandpressure.
Model | SQC-100 |
Domenii de debit (N2) | 0~5,10,20,30 ,50 ,100 ,200,500SCCM |
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
Precizie | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Tip de antrenare a supapei | Normal închis |
Liniaritate | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Repetabilitate | ±0,2% FS |
Timp de raspuns | ≤1 sec |
Semnal de intrare/ieșire | 0~5V |
Articulație electrică | Pin DB15 (ac) |
Operațiunea Tem. | 5~45℃ |
Diferenţial Pre. | 0,05~0,5MPa (MFC); 0,03~3,0MPa (MFM) |
Rata de scurgere | 1×10-8SCCS (El) |
Max.Presiune | 3MPa |
Material mediu | 316L SS și material de etanșare |
Material de etanșare | Viton, cauciuc siliconic, NBR, teflon, garnitură metalică. |
Dimensiunea articulației | VCR 1/4”;Swagelok 1/8” 、1/4”;φ3、 φ6mm |
Alimentare electrică | +15V,50mA;-15V,200mA |
Model | SQC-200 |
Domenii de debit (N2) | MFC: 0~20,30 ,50 ,100 ,150, 200SLM |
MFM: 0~20 ,30 ,50,100 ,150, 200 ,250,300SLM | |
Precizie | ±2%FS |
Tip de antrenare a supapei | Normal închis |
Liniaritate | ±2%FS |
Repetabilitate | ±0,2% FS |
Timp de raspuns | ≤5sec |
Semnal de intrare/ieșire | 1~5V;4~20mA |
Articulație electrică | Pin DB15 (ac) |
Operațiunea Tem. | 5~45℃ |
Diferenţial Pre. | 0,1~0,3MPa (MFC); 0,05~3,0MPa (MFM) |
Rata de scurgere | 1×10-8SCCS (El) |
Max.Presiune | 3MPa |
Material mediu | 316L SS și material de etanșare |
Material de etanșare | Viton, cauciuc siliconic, NBR, ERP, teflon |
Dimensiunea articulației | Swagelok 3/8” 、1/2”; φ8、φ10、φ12mm |
Alimentare electrică | 24 V, 0,5 A |
Scrie mesajul tău aici și trimite-l nouă