Регулятор массового расхода Массовый расходомер CS200
Функции
1. Высокая точность и быстрый отклик.
Точность CS200 MFC была улучшена до ±1,0% от SP, а самые продвинутые модели имеют уменьшенное время отклика менее 0,8 секунды.
2. Низкий дрейф нуля и температурный коэффициент.
Изобретение новой сенсорной технологии позволяет CS200 MFC сохранять стабильность и выдерживать колебания температуры.Без усилителя с автообнулением ожидаемый дрейф нуля составляет менее 0,6% полной шкалы в год, а температурный коэффициент составляет менее 0,02% полной шкалы/℃ (ноль), 0,05% полной шкалы/℃ (диапазон).
3. Модели с металлическим уплотнением и функция высокой чистоты.
Проточный тракт линии CS200 MFC, контактирующий с рабочей средой, изготовлен из нержавеющей стали с пассивированной поверхностью.Все CS200 MFC собираются в сверхчистых чистых помещениях Sevenstar класса 100 в соответствии со стандартами SEMI и ISO 9001.
4. Совместимые интерфейсы
CS200 MFC совместим со следующими интерфейсами, которые может выбрать заказчик: двусторонний источник питания ±8В-±16В и несимметричный источник питания +14В-+28В;ввод и вывод цифрового или аналогового сигнала;Стандартные механические размеры SEMI;и модуль связи RS-485 или DeviceNet.
5. Разные функции
Мощное клиентское программное обеспечение входит в стандартную комплектацию каждой модели, а дополнительные функции, такие как работа с несколькими газами, несколькими диапазонами, автоматический обнуление, сигнализация, плавный пуск и задержка, доступны по выбору клиента.
Спецификация
| CS200 | |||||||
| Тип | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Полный диапазон шкалы (N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Точность | ±1,0% SP (≥35% полной шкалы) ±0,35% полной шкалы? (<35% полной шкалы) | ||||||
| Линейность | ±0,5% полной шкалы | ||||||
| Повторяемость | ±0,2% полной шкалы | ||||||
| Время отклика | ≤1 сек. | ≤0,8 с (SEMI E17-0600) | |||||
| Положение покоя клапана | Нормально закрытый или | Нет клапана | Нормально закрытый или | Нет клапана | Нормально закрытый или | Нет клапана | |
| Нормально открытый (100 sccm≤FS≤5 sm) | Нормально открытый (100 sccm≤FS≤5 sm) | Нормально открытый (100 sccm≤FS≤5 sm) | |||||
| Перепад давления | 0,05～0,35 МПа (расход≤10 слм) | ＜0,02 МПа | (0,05～0,35) МПа (≤10 слм) | ＜0,02 МПа | (0,05～0,35) МПа (≤10 слм) | ＜0,02 МПа | |
| 0,1～0,35 МПа (10см＜Расход≤30см） | (0,1～0,35) МПа（＞10см） | (0,1～0,35) МПа（＞10см） | |||||
| 0,2～0,45 МПа (расход＞30см） | |||||||
| Максимальное рабочее давление | 0,45 МПа | |||||
| Температура | Ноль: ≤±0,05% полной шкалы/℃; | Ноль: ≤±0,02% полной шкалы/℃;Диапазон: ≤±0,05% полной шкалы/℃ | ||||
| Коэффициент | Диапазон: ≤±0,1% полной шкалы/℃ (поток≤30 слм) | |||||
| Диапазон: ≤±0,2% полной шкалы/℃ (поток>30 слм) | ||||||
| Испытательное давление | 3МПа (435писг) | |||||
| Нулевой дрейф | ＜0,6% полной шкалы в год без автообнуления | |||||
| Герметичность утечки | 1×10-9 атм·см3/сек He | 1×10-10атм·см3/сек He | ||||
| Смачиваемые материалы | Витон; | Металл? (Нержавеющая сталь V/V, 5Ra) | Металл | |||
| Химия поверхности | —— | соотношение Cr/Fe >2,0;Толщина CrO > 20 ангстрем | ||||
| Чистота поверхности | 25Ра | 10Ра | 25Ра | |||
| Рабочая Температура | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
| Входной сигнал | Цифровой: RS485 или ProfiBus | Н/Д | Цифровой: RS485 или ProfiBus или DeviceNetTM | Н/Д | Цифровой: RS485 или ProfiBus или DeviceNetTM | Н/Д |
| или DeviceNetTM | Аналоговый: (0～5)В постоянного тока или (4～20)мА или (0～20)мА | Аналоговый: (0~5) В постоянного тока или (4~20) мА? или (0~20) мА | |||||
| Аналоговый: (0～5)В постоянного тока или (4～20)мА или (0～20)мА | |||||||
| Выходной сигнал | Цифровой: RS485 или DeviceNetTM или ProfiBus Аналоговый: (0～5)В постоянного тока или (4～20)мА или (0～20)мА | ||||||
| Источник питания | ±8 ~ ±16 В постоянного тока или +14 ~ +28 В постоянного тока (400 мА) | ||||||
| Электронный разъем | 9-контактный разъем Sub-D, 15-контактный разъем Sub-D, DeviceNetTM,ProfiBus, аналоговый | ||||||
| Фитинги | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | Видеомагнитофон 1/4” М; | |||||
| Компрессионный фитинг Φ10; Компрессионный фитинг Φ6; | Компрессионный фитинг Φ6, | ||||||
| Компрессионный фитинг 3/8 дюйма;Компрессионный фитинг 1/4 дюйма; | Компрессионный фитинг Φ3, | ||||||
| Компрессионный фитинг 1/8 дюйма;Компрессионный фитинг Φ3; | Компрессионный фитинг 1/4 дюйма, | ||||||
| Ф6(внутренний)×1шланг;Ф5(внутренний)×1,5шланг;Ф4(внутренний)×1шланг; | W-уплотнение, | ||||||
| А-Саэль; | C-уплотнение | ||||||
| Масса | 1 кг | 0,8 кг | 1,2 кг | 1 кг | 1,2 кг | 1 кг | |
