Регуляторы массового расхода (MFC) обеспечивают точное измерение и контроль массового расхода газов.
I. В чем разница между MFC и MFM?
Массовый расходомер (MFM) — это своего рода прибор, который точно измеряет расход газа, и его значение измерения не является неточным из-за колебаний температуры или давления и не требует компенсации температуры и давления. Контроллер массового расхода (MFC) не только имеет функцию массового расходомера, но, что более важно, он может автоматически контролировать расход газа, то есть пользователь может установить расход в соответствии со своими потребностями, а MFC автоматически поддерживает постоянный расход на заданном значении, даже если давление в системе. Колебания или изменения температуры окружающей среды не приведут к отклонению ее от заданного значения.Регулятор массового расхода представляет собой устройство постоянного расхода, которое представляет собой устройство постоянного расхода газа, которое можно настраивать вручную или автоматически контролировать посредством подключения к компьютеру.Массовые расходомеры только измеряют, но не контролируют.Регулятор массового расхода имеет регулирующий клапан, который может как измерять, так и регулировать расход газа.
II.Какова структура ипринцип работы?
1、 Структура
2. Принцип работы
При попадании потока во впускной патрубок большая часть потока проходит через отводной канал, небольшая часть которого попадает в капиллярную трубку внутри датчика.Благодаря особой структуре
В отклоняющем канале две части газового потока могут быть прямо пропорциональны.Датчик предварительно подогревается и нагревается, а температура внутри выше температуры приточного воздуха.В это время массовый расход небольшой части газа измеряется по принципу теплопередачи по капиллярной трубке и по принципу разностной калориметрии.Измеренный таким образом поток газа может игнорировать влияние температуры и давления.Сигнал измерения расхода, обнаруженный датчиком, вводится на печатную плату, усиливается и выводится, после чего функция MFM завершается.Добавление функции автоматического управления ПИД-регулированием с замкнутым контуром на печатную плату позволяет сравнить сигнал измерения расхода, измеренный датчиком, с заданным сигналом, заданным пользователем.На основании этого регулирующий клапан управляется так, чтобы сигнал обнаружения расхода был равен заданному сигналу, тем самым реализуя функцию MFC.
III.Приложения и возможности.
MFC, который широко применяется в таких областях, как: производство полупроводников и интегральных схем, специальное материаловедение, химическая промышленность, нефтяная промышленность, фармацевтическая промышленность, защита окружающей среды, исследования вакуумных систем и т. д. Типичные области применения включают: микроэлектронное технологическое оборудование, такое как диффузия. , оксидирование, эпитаксия, CVD, плазменное травление, напыление, ионная имплантация;оборудование для вакуумного осаждения, плавление оптического волокна, оборудование для микрореакций, система смешивания и подбора газа, система контроля капиллярного потока, газовый хроматограф и другие аналитические инструменты.
MFC обеспечивает высокую точность, отличную повторяемость, быстрый отклик, плавный пуск, повышенную надежность, широкий диапазон рабочих давлений (хорошая работа в условиях высокого давления и вакуума), простое удобное управление, гибкую установку, возможность подключения к ПК для автоматического выполнения. контроль над системой пользователей.
IV.Как определить и бороться с fнедуги?
В нашей компании есть профессиональный инженер по послепродажному обслуживанию, который поможет вам решить проблемы при установке и использовании.
Время публикации: 29 июля 2022 г.