Знания – вакуумные клапаны

I. Введение клапана
Вакуумный клапан — это компонент вакуумной системы, используемый для изменения направления воздушного потока, регулировки величины потока газа, перекрытия или подключения трубопровода в вакуумной системе.Закрывающиеся части вакуумного клапана герметизированы резиновым или металлическим уплотнением.

II.Общие применения вакуумных клапанов.
Вакуумные клапаны
Используется в оборудовании систем высокого или сверхвысокого вакуума, когда вакуум необходимо поддерживать в закрытой вакуумной системе обработки.Вакуумные клапаны используются для регулирования потока воздуха в вакуумной камере, изоляции, вентиляции, снижения давления или регулирования проводимости.Задвижки, линейные клапаны и угловые клапаны являются наиболее распространенными типами вакуумных клапанов, используемых в системах с высоким или сверхвысоким вакуумом.Дополнительные типы клапанов включают дроссельные клапаны, перепускные клапаны, шаровые клапаны, маятниковые клапаны, цельнометаллические клапаны, вакуумные клапаны, алюминиевые угловые клапаны, вакуумные клапаны с тефлоновым покрытием и прямоточные клапаны.

Поворотные затворы
представляют собой быстрооткрывающиеся клапаны, состоящие из металлических дисков или лопастей, которые поворачиваются под прямым углом к ​​направлению потока в трубопроводе и при вращении вокруг своей оси клапан герметизирует седло в корпусе клапана.

Перепускные клапаны (задвижки прямоугольные)
Разделительные клапаны, подходящие для использования между вакуумными камерами с блокировкой нагрузки и камерами передачи, а также между камерами передачи и камерами обработки в оборудовании для производства полупроводников.

Вакуумные шаровые краны
представляют собой четвертьоборотные прямоточные клапаны с круглым затвором и соответствующими круглыми седлами для равномерного уплотнения.

Маятниковые клапаны
представляет собой большой дроссельный клапан, установленный между технологической вакуумной камерой и входом турбомолекулярного насоса.Эти вакуумные маятниковые клапаны обычно проектируются как задвижки или маятниковые клапаны для применения в промышленных производственных системах OLED, FPD и PV.

Цельнометаллические клапаны
Разработан для использования в условиях сверхвысокого вакуума, где высокие температуры не позволяют использовать эластомеры и криогенные металлические прокладки.Цельнометаллические клапаны, пригодные для обжига, обеспечивают надежную высокотемпературную герметизацию от атмосферного давления до давления ниже 10-11 мбар.

Вакуумные клапаны
Надежно работают в системах производства полупроводников и в приложениях с химическими загрязнениями и твердыми частицами.Их можно использовать в условиях грубого, высокого или сверхвысокого вакуума.

Алюминиевые угловые клапаны
Входное и выходное отверстия этих клапанов расположены под прямым углом друг к другу.Эти угловые клапаны изготовлены из алюминия A6061-T6 и используются в производстве полупроводников и приборостроения, в исследованиях и разработках, а также в промышленных вакуумных системах для работы в условиях грубого и высокого вакуума.

Вакуумный клапан с тефлоновым покрытием представляет собой полностью спроектированное вакуумное устройство из нержавеющей стали с прочным и химически стойким покрытием.

III.Характеристики вакуумных клапанов.
Давление ниже атмосферного, а перепад давления на створке клапана не может превышать 1 кгс/см.Рабочая температура среды зависит от процесса используемого устройства.Температура обычно не превышает диапазон -70 ~ 150°C.Самым основным требованием к таким клапанам является обеспечение высокой степени герметичности соединения и плотности конструкции и материала прокладки.

По типу вакуумных клапанов среднего давления можно разделить на четыре группы.
1) Клапаны низкого вакуума: среднее давление p=760~1 мм рт. ст.
2) Клапаны среднего вакуума: p=1×10-3 мм рт. ст.
3) Клапаны высокого вакуума: p=1×10-4 ~1×10-7 мм рт.ст.
4) Клапан сверхвысокого вакуума: p≤1×10-8 мм рт.ст.

В качестве клапана закрытого типа с диаметром прохода менее 250 мм широко применяется шток вакуумного сильфонного запорного клапана с линейным перемещением.Задвижки, однако, более ограничены, но это в основном для больших диаметров.Также доступны сферические пробковые клапаны (шаровые краны), плунжерные клапаны и дроссельные клапаны.Пробковые клапаны для вакуумных клапанов не рекламируются, поскольку они требуют масляной смазки, что позволяет парам масла проникать в вакуумную систему, что не допускается.Вакуумными клапанами можно управлять вручную и дистанционно в полевых условиях, а также электрически, электромагнитно (электромагнитные клапаны), пневматически и гидравлически.