Компания Beijing Super Q Technology Co., Ltd. имеет масляные смазочные насосы серии EV на 600 л, 1200 л, 1600 л и молекулярные насосы турбинного типа на 3600 л;составные молекулярные насосы с консистентной смазкой объемом 300 л, 650 л, 1300 л, 2000 л.В этой статье основное внимание уделяется объяснению характеристик, установки, использования и технического обслуживания молекулярных насосов для консистентной смазки серии EV-Z.
Характеристики конструкции
Молекулярный насос серии EV оснащен импортными прецизионными керамическими подшипниками, ротор насоса обеспечивает динамический баланс, стабильную и надежную работу, трехфазный двигатель с короткозамкнутым ротором, смазка подшипников консистентной смазкой, может быть установлена в любой ориентации.
установка и использование
I. О предельном давлении
«Предельное давление» молекулярного насоса основано на международном стандарте ISO «Метод испытаний турбомолекулярных насосов». После полной сушки корпуса насоса и испытательной крышки (48 часов сушки и дегазации) самое низкое давление, измеренное при указанное положение испытательной крышки.значение давления.При фактическом использовании значение «предельного давления» связано с рабочим давлением и эффективной скоростью откачки сконфигурированного форвакуумного насоса.Выбор более производительного форвакуумного насоса очень полезен для получения более высокого вакуума и сокращения времени откачки.
Кроме того, из-за особенностей принципа выхлопа молекулярного насоса воздухозаборник насоса должен быть как можно более широким, а путь газа от вакуумной камеры к порту молекулярного насоса должен избегать максимального поворота. Это возможно, чтобы обеспечить максимальную эффективность молекулярного насоса и гарантировать более высокий предельный вакуум.
II.Монтаж
2.1 Откройте пакет
Перед установкой проверьте, не был ли молекулярный насос поврежден при транспортировке.
Метод заключается в следующем: обратитесь к инструкциям по электропитанию молекулярного насоса, правильно подключите его к молекулярному насосу, не нужно пропускать воду или вакуум, запустите молекулярный насос и проверьте, работает ли он и есть ли какие-либо ненормальный звук.В случае возникновения каких-либо отклонений вовремя нажмите выключатель остановки, чтобы остановить насос.Примечание. Во время пробной эксплуатации частота сети не должна быть выше 25 Гц.
2.2 Подсоединение высоковакуумного фланца
Соединение молекулярного насоса можно поднять за высоковакуумный фланец или зафиксировать на основании.Молекулярный насос необходимо зафиксировать, если высоковакуумный фланец молекулярного насоса подключен к системе через металлический сильфон.
(Уплотняющая поверхность фланца не имеет царапин, и на уплотнительном кольце ничего не должно быть.)
2.3 Форвакуумное соединение
Между форвакуумным насосом и молекулярным насосом следует установить запорный и выпускной клапан, чтобы предотвратить возврат масла из механического насоса после остановки.
2.4 Подключение газозаправочного устройства
Чтобы создать чистую вакуумную среду, после остановки молекулярного насоса вакуумную систему можно заполнить азотом или сухим воздухом.Обычно к трубопроводу передней ступени можно подключить выпускной клапан или использовать клапан высокого вакуума для выпуска газа на конце высокого вакуума.
III．Подключение охлаждения
Из-за высокоскоростного трения подшипника, нагрева корпуса насоса и повышения температуры двигателя подшипник и двигатель должны охлаждаться во время работы молекулярного насоса.Обычно используется воздушное охлаждение, а водяное охлаждение используется, когда температура окружающей среды превышает 38°C.Труба для мягкой воды с внешним диаметром 10 мм может быть напрямую подключена к входу и выходу воды молекулярного насоса.Используется оборотная система водоснабжения с чистой водой, также можно использовать водопроводную воду с небольшим количеством осадков (температура воды должна быть не более 28°С).
Случайное прекращение подачи воды или высокая температура воды приведет к срабатыванию датчика температуры корпуса молекулярного насоса, а источник питания немедленно подаст сигнал тревоги и остановит выход.
После неожиданного прекращения подачи воды или слишком высокой температуры воды проходит интервал около 15 минут (конкретное время зависит от скорости повышения температуры), пока молекулярный насос не подаст сигнал тревоги из-за перегрева.
IV．Выпечка
Предельное давление зависит от чистоты внутренней части насоса и вакуумного тракта, включая вакуумную камеру.Чтобы получить предельное давление в кратчайшие сроки, вакуумную систему и молекулярный насос необходимо прокалить.Выпечку следует проводить при нормально работающем молекулярном насосе.
Температура обжига молекулярного насоса должна быть ниже 80°C, температура фланца высокого вакуума, подключенного к порту насоса, не должна быть выше 120°C, а температура обжига вакуумной системы обычно не превышает 300°C.ущерба.
Время выпечки зависит от степени загрязнения системы и молекулярного насоса и ожидаемого предельного рабочего давления, но минимальное время не должно быть менее 4 часов.
Для получения вакуума 10-4Па в принципе не требуется обжига;для получения вакуума 10-5Па достаточно только пропекания самой вакуумной системы;для получения сверхвысокого вакуума вакуумную систему и молекулярный насос обычно необходимо прокаливать одновременно.Измерительная система должна быть полностью прокалена, иначе это повлияет на точность данных измерений из-за ее газовыделения.
V．Операция
Убедитесь, что предварительный вакуум превышает 15 Па, нажмите кнопку RON, чтобы запустить молекулярный насос, и нажмите кнопку STOP, чтобы остановить его после использования.Внимание!Клавишу плавного пуска необходимо использовать при первом использовании или повторно использовать после длительного простоя.Операция плавного пуска заключается в следующем: вакуум на текущей ступени превышает 15 Па и нажимается кнопка плавного пуска.Через 110 минут молекулярный насос достигает рабочей частоты 550 Гц (550 Гц соответствует молекулярному насосу EV300Z, 400 Гц соответствует молекулярному насосу EV650Z, 1300Z, 2000), затем нажмите кнопку плавного запуска (клавиша вверху), чтобы остановить плавный запуск. начинать.
(При нормальной работе молекулярного насоса запрещается переносить, перемещать или наполнять воздухом.)
VI．Техническое обслуживание и ремонт
6.1 Очистка насоса
Когда утечка воздуха и скорость десорбции вакуумной системы не изменяются, а производительность вакуума не может быть восстановлена даже после длительного времени обжига, или когда форвакуумный насос серьезно возвращает масло, насос следует очистить.
（Если насос необходимо отремонтировать и очистить, его разборку должны выполнять профессиональные специалисты.Если его разобрать без подготовки, последствия вы несете на свой страх и риск.)
6.2 Замена подшипников
Поскольку насос необходимо отбалансировать, подшипник не может быть заменен пользователем.
6.3 Защита от ударов
Молекулярный насос представляет собой высокоскоростную вращающуюся машину.Зазор между движущейся и неподвижной пластинами очень мал, и он не может выдержать чрезмерных ударов.Скорость и ускорение движущегося носителя, контактирующего с ним, должны быть ограничены.Кроме того, внезапное воздействие атмосферного объема и падение внешних твердых предметов во время нормальной работы молекулярного насоса также могут привести к серьезному повреждению молекулярного насоса.
6.4 Виброизоляция
Обычно молекулярный насос проходит строгие испытания, его вибрация очень мала, и его можно напрямую подключить к перекачиваемой системе.Для высокоточных приборов (таких как электронные микроскопы и т. д.) рекомендуется использовать виброизоляторы, чтобы минимизировать воздействие вибрации на прибор.
6,5 Сильное экранирование магнитного поля
Вращающийся ротор генерирует вихревой ток в магнитном поле, что приводит к нагреву ротора.Поскольку тепло ослабляет прочность алюминиевого материала, применение молекулярного насоса в магнитном поле в определенной степени ограничено.
6.6 электромагнитная интерференция
Некоторые высокочастотные приборы, такие как молекулярные насосы и преобразователи частоты, могут вызывать электромагнитные помехи в окружающей среде.Но в случае соответствия международным стандартам применение молекулярных насосов не будет ограничено.При соблюдении требований одновременно должны быть выданы соответствующие сертификаты.
6.7 Сильное ограничение радиоактивности
Большинство материалов меняют свои свойства в сильной радиоактивной среде, особенно органические материалы (такие как масло для молекулярных насосов, уплотнительные кольца) и полупроводниковые компоненты.Молекулярный насос может выдерживать интенсивность излучения 105 рад.За счет выбора антирадиоактивных материалов и использования источника питания с приводом от двигателя можно повысить противорадиационную прочность.При перекачке трития, чтобы предотвратить выход радиоактивного элемента трития в атмосферу, все уплотнительные кольца в молекулярном насосе должны быть изготовлены из металлических материалов.
6,8 Форвакуумный насос
На конце кривой производительности молекулярного насоса, где высокое давление, входное давление колеблется от примерно 200 Па до 10-1 Па, что составляет три порядка величины.Длина свободного пробега молекул газа становится меньше, и эффект накачки начинает ухудшаться.Следовательно, в переходной зоне, чем больше используется форвакуумный насос, тем выше скорость откачки молекулярного насоса.Форвакуумный насос должен иметь производительность не менее 3 л/с.
Распространенные неисправности и их устранение
Молекулярный насос с консистентной смазкой серии EV-Z представляет собой механический вакуумный насос, который осуществляет откачку воздуха за счет относительно высокоскоростного вращения многоступенчатых динамических и статических лопаток турбины.Турбомолекулярный насос обладает характеристиками высокой скорости откачки и высокой степени сжатия в области молекулярного потока, более экономичен, чем диффузионный насос, и не имеет загрязнения маслом и паром.Молекулярный насос с консистентной смазкой серии EV — это молекулярный насос с самой большой скоростью перекачки 100 калибров в Китае.
Этот молекулярный насос не обладает селективностью и эффектом памяти для перекачиваемого газа.Благодаря высокой степени сжатия газа с большой молекулярной массой насос может получать чистый высокий и сверхвысокий вакуум без холодных ловушек и масляных перегородок..Он широко используется в различных областях электроники, металлургии, химической промышленности, научных исследований и вакуумной техники.
Время публикации: 01 июля 2022 г.