Вакуумный насос Roots серии ZJ Рекомендуемое изображение

Вакуумный насос Рутса серии ZJ

Краткое описание:

Информация о продукте

Теги продукта

Эту серию вакуумных насосов типа Рутса нельзя использовать отдельно.Его необходимо использовать последовательно с предварительным вакуумным насосом для увеличения скорости откачки предступенчатого вакуумного насоса, когда давление ниже 1,3×103~1,3×10-1 Па. Конструкция состоит из двух 8 Секции ротора и корпус ротора имеют форму, причем два ротора не контактируют друг с другом и вращаются в противоположных направлениях синхронно друг с другом.

Вакуумные насосы Рутса серии ZJ в основном применяются для:

PVD-покрытие, магнетронное распыление, ионное покрытие, оптическое покрытие и т. д.;

Монокристаллическая печь, поликристаллическая печь, печь для спекания, печь для отжига, печь для закалки и т. д.;

Вакуумная сушка, сублимационная сушка, система обнаружения утечек, система рекуперации газа, инжекция жидких кристаллов и т. д.;

Вакуумная промышленность, такая как холодильники, бытовые кондиционеры, центральные кондиционеры, автоматические линии эвакуации для подсветки и вытяжное оборудование.

Модель			ZJ-30	ZJ-70	ZJ-150	ZJ-300
Скорость накачки³/ч(л/мин)		50 Гц	100(1667)	280(4670)	500(8330)	1000(16667)
		60 Гц	120 (2000)	330(5500)	600(1000)	1200(20000)
Макс.входное давление(при непрерывной работе)		50 Гц	1,2X10³		1,3х10³
		60 Гц	9,3х10²		1,1х10³
Максимально допустимая разница давления (Па)		50 Гц	4х10³		7,3х10³
		60 Гц	3,3х10³		6х10³
Предельное давление (Па)			1X10^-1
Стандартный насос грубой очистки м³/h			16	40, 60	90, 150	150、240
Двигатель (2 полюса), кВт			0,4	0,75	2.2	3,7
Спецификация смазочного масла			Вакуумный насосМасло
Емкость масла, л			0,4	0,8	1,6	2.0
Охлаждающая вода	Расход л/мин		/	2^*1	2	3
	Перепад давления МПа		/	0,1
	Температура воды⁰C		/	5-30^*2
Вес (кг			30	51	79,5	115
Входной диаметр.мм			50	80	80	100
ВыходДиаметр, мм			50	80	80	80