Amapompe akoreshwa muri ultra-high vacuum sisitemu

I. Amapompe ya mashini
Igikorwa nyamukuru cya pompe ya mashini nugutanga icyuho gikenewe mbere yicyiciro cyo gutangira pompe ya turbomolecular.Amapompo akoreshwa cyane arimo pompe yumye cyane, pompe ya diaphragm na pompe yamashanyarazi ifunze.
Amapompe ya Diaphragm afite umuvuduko wo kuvoma kandi mubisanzwe bikoreshwa mumashanyarazi mato mato kubera ubunini buto.
Pompe ya mashini ifunze amavuta niyo pompe ikoreshwa cyane mubihe byashize, irangwa numuvuduko munini wo kuvoma hamwe nicyuka cyiza cyanyuma, imbogamizi ni ukubaho muri rusange kugaruka kwa peteroli, muri sisitemu ya ultra-high vacuum muri rusange igomba kuba ifite ibikoresho bya solenoid .
Mu myaka yashize, ibyakoreshejwe cyane ni umuzingo wumye pompe.Icyiza kiroroshye gukoresha kandi ntigisubira mumavuta, gusa umuvuduko wo kuvoma na vacuum ntangarugero ni bibi cyane kurenza ibya pompe ya mashini ifunze.
Imashini zikoresha imashini nisoko nyamukuru y urusaku no kunyeganyega muri laboratoire kandi nibyiza guhitamo pompe y urusaku ruke hanyuma ukabishyira hagati yibikoresho aho bishoboka, ariko ibyanyuma ntabwo byoroshye kubigeraho kubera kubuza intera gukora.
II.Amapompe ya Turbomolecular
Amapompe ya Turbo yishingikiriza kumuvuduko mwinshi uzunguruka (mubisanzwe hafi ya 1000 revolisiyo kumunota) kugirango ugere kuri gaze.Ikigereranyo cyumuvuduko wa pompe numuvuduko winjira bita compression ratio.Ikigereranyo cyo guhunika gifitanye isano numubare wibyiciro bya pompe, umuvuduko nubwoko bwa gaze, uburemere rusange bwa molekuline yo kwikuramo gaze ni mwinshi.Icyuho cyanyuma cya pompe ya turbomolecular isanzwe ifatwa nka mbar 10-9-10-10, kandi mumyaka yashize, hamwe niterambere ryiterambere rya tekinoroji ya pompe ya molekile, icyuho cyanyuma cyarushijeho kunozwa.
Nkuko ibyiza bya pompe ya turbomolecular bigaragarira gusa mumiterere ya molekile (leta itembera aho impuzandengo yubusa ya molekile ya gaze iruta kure cyane ubunini bunini bwambukiranya imiyoboro), pompe ya vacuum ibanziriza icyiciro hamwe nigitutu cyo gukora cya 1 kugeza 10-2 Pa birakenewe.Bitewe n'umuvuduko mwinshi wo kuzenguruka kw'imodoka, pompe ya molekile irashobora kwangizwa cyangwa gusenywa nibintu byamahanga, jitter, ingaruka, resonance cyangwa impanuka ya gaze.Kubatangiye, igitera kwangirika cyane ni ihungabana rya gaze ryatewe namakosa yo gukora.Kwangirika kwa pompe ya molekile birashobora kandi guterwa na resonance iterwa na pompe ya mashini.Iyi miterere ni gake ariko isaba kwitabwaho bidasanzwe kuko irigaragaza cyane kandi ntabwo byoroshye kuboneka.

III.Gusohora ion pompe
Ihame ryakazi rya pompe ion pomping ni ugukoresha ion zatewe no gusohora kwa Penning kugirango utere ibisate bya titanium ya cathode kugirango ukore firime nshya ya titanium, bityo wamamaze imyuka ikora kandi ugire ingaruka runaka yo gushyingura kuri gaze ya inert. .Ibyiza byo gusohora pompe ion nibyiza cyane, nta kunyeganyega, nta rusaku, nta mwanda, inzira ikuze kandi ihamye, nta kubungabunga no kumuvuduko umwe wo kuvoma (usibye imyuka ya inert), igiciro cyacyo kiri munsi cyane ya pompe ya molekile, ibyo bigatuma ikoreshwa cyane muri sisitemu ya ultra-high vacuum.Mubisanzwe imikorere isanzwe yumuzingi wa pompe ion zirenga imyaka 10.
Amapompo ya Ion muri rusange agomba kuba hejuru ya 10-7 mbar kugirango akore neza (gukora kuri vacuum mbi bigabanya cyane ubuzima bwabo) bityo bisaba pompe ya molekile yashizweho kugirango itange icyuho cyiza mbere yicyiciro.Biramenyerewe gukoresha pompe ion + TSP mubyumba bikuru hamwe na pompe ntoya ya molekile yashyizwe mubyumba byinjira.Mugihe utetse, fungura insimburangingo ihujwe hanyuma ureke pompe ntoya ya pompe itanga icyuho cyimbere.
Twabibutsa ko pompe ion zidafite ubushobozi buke bwo kwinjiza imyuka ya inert kandi umuvuduko wazo wo kuvoma utandukanye cyane na pompe ya molekile, kuburyo kubwinshi bunini burenze urugero cyangwa imyuka myinshi ya inert, hasabwa gushiraho pompe ya molekile.Mubyongeyeho, pompe ion itanga amashanyarazi ya electronique mugihe ikora, ishobora kubangamira sisitemu yihariye.
IV.Titanium sublimation pompe
Titanium sublimation pompe ikora yishingikiriza kumyuka ya titanium metani kugirango ikore firime ya titanium kurukuta rwa chambre ya chemisorption.Ibyiza bya pompe ya titanium ni ubwubatsi bworoshye, buhendutse, kubungabunga byoroshye, nta mirasire kandi nta rusaku runyeganyega.
Amapompa ya Titanium ubusanzwe agizwe na firimu 3 ya titanium (kugirango yirinde gutwikwa) kandi ikoreshwa hamwe na pompe ya molekile cyangwa ion kugirango itange hydrogen nziza.Nibipompo byingenzi byingenzi mumashanyarazi ya 10-9-10-11 mbar kandi byashyizwe mubyumba byinshi bya ultra-high vacuum aho bikenewe cyane.
Ingaruka za pompe ya titanium ni ngombwa gukenera guhora kwa titanium, icyuho cyangirika hafi ya 1-2 yubunini mugihe cyo guterana (muminota mike), kubwibyo byumba bimwe bifite ibyifuzo byihariye bisaba gukoresha NEG.nanone, kuri titanium yoroheje yintangarugero / ibikoresho, hagomba kwitonderwa kugirango wirinde aho pompe ya titanium iba.
V. Amapompe ya Cryogenic
Amapompe ya Cryogenic yishingikiriza cyane cyane kubushyuhe buke bwa adsorption kugirango abone icyuho, hamwe nibyiza byo kwihuta kuvoma, nta mwanda hamwe nicyuka kinini.Ibintu nyamukuru bigira ingaruka kumuvuduko wo kuvoma pompe ya cryogenic nubushyuhe hamwe nubuso bwa pompe.Muri sisitemu nini ya molekulari ya epitaxy, pompe zo mu bwoko bwa kirogenike zikoreshwa cyane kubera ibisabwa byujuje ubuziranenge.
Ingaruka za pompe zo mu bwoko bwa kirogenike ni ukunywa cyane kwa azote yuzuye hamwe nigiciro kinini cyo gukora.Sisitemu hamwe na chillers izenguruka irashobora gukoreshwa utiriwe unywa azote yuzuye, ariko ibi bizana hamwe nibibazo bijyanye no gukoresha ingufu, kunyeganyega n urusaku.Kubera iyo mpamvu, pompe zo mu bwoko bwa kirogenike zikoreshwa cyane mubikoresho bya laboratoire bisanzwe.
VI.Amapompe ya Aspirator (NEG)
Amashanyarazi ya pompe nimwe muma pompe ikoreshwa cyane mumyaka yashize, ibyiza byayo ni ugukoresha byimazeyo imiti ya adsorption, nta byuka bihumeka hamwe n’umwanda wa electromagnetic, bikunze gukoreshwa bifatanije na pompe ya molekile kugirango bifate umwanya wa pompe ya titanium na sputter ion pompe, ibibi nigiciro kinini kandi numubare muto wo kuvugurura, mubisanzwe bikoreshwa muri sisitemu ifite ibisabwa byinshi kugirango ituze rya vacuum cyangwa yunvikana cyane kumashanyarazi.
Byongeye kandi, nkuko pompe ya aspirator idasaba ko hongerwaho amashanyarazi atarenze ibikorwa byambere, irakoreshwa kandi muri sisitemu nini nka pompe ifasha kongera umuvuduko wo kuvoma no kuzamura urwego rwa vacuum, rushobora koroshya neza sisitemu.

Igicapo pressions Imikazo yo gukora kubwoko butandukanye bwa pompe.Imyambi yijimye yerekana igipimo ntarengwa cyemewe cyo gukora kandi ibice byicyatsi kibisi byerekana urwego rusanzwe rwakazi.