ماس فلو ڪنٽرولر ماس فلو ميٽر CS200
خاصيتون
1. اعلي درستگي ۽ تيز جواب
CS200 MFC جي درستگي کي ± 1.0% SP تائين بهتر ڪيو ويو آهي، ۽ سڀ کان وڌيڪ ترقي يافته ماڊلز ۾ 0.8 سيڪنڊ کان گھٽ جوابي وقت آهي.
2. گھٽ زيرو ڊرافٽ ۽ گرمي پد جي کوٽائي
نئين سينسر ٽيڪنالاجي جي ايجاد CS200 MFC کي استحڪام برقرار رکڻ ۽ گرمي جي وهڪري کي منهن ڏيڻ جي قابل بڻائي ٿي.آٽو-صفر ايمپليفائر کان سواء، متوقع صفر drift 0.6% FS/سال کان گهٽ آهي، ۽ گرمي پد جي کوٽائي 0.02%FS/℃(zero)，0.05%FS/℃ (span) کان گهٽ آهي.
3. ڌاتو-سيل ماڊل ۽ اعلي پاڪائي خاصيت
CS200 MFC جو ويٽ ٿيل وهڪري جو رستو مٿاڇري کان پاسو ٿيل اسٽينلیس سٹیل مان ٺهيل آهي.سڀئي CS200 MFCs Sevenstar جي الٽرا ڪلين ڪلاس 100-ڪلاس ڪلين رومز ۾ گڏ ڪيا ويا آهن، ٻنهي SEMI ۽ ISO 9001 معيارن جي مطابق.
4. مطابقت رکندڙ انٽرفيس
CS200 MFC هيٺين انٽرفيس سان مطابقت رکي ٿو، جيڪو ڪسٽمر طرفان چونڊيو وڃي ٿو: ±8V-±16V ڊبل-آخر پاور سپلائي ۽ +14V-+28V واحد-آخر پاور سپلائي؛ڊجيٽل يا اينالاگ سگنل ان پٽ ۽ آئوٽ؛SEMI معياري مشيني طول و عرض؛۽ RS-485 يا DeviceNet ڪميونيڪيشن ماڊل.
5. متفرق ڪم
طاقتور ڪسٽمر سافٽ ويئر هر ماڊل سان معياري اچي ٿو، جڏهن ته اضافي افعال جهڙوڪ ملٽي گيس، ملٽي رينج، آٽو-صفر، الارم، نرم شروعات، ۽ دير موجود آهن گراهڪ جي چونڊ جي طور تي.
تفصيل
| CS200 | |||||||
| قسم | CS200A | سي ايس 200 سي | سي ايس 200 ڊي | ||||
| مڪمل پيماني جي حد (N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0 - 1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0 - 1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| درستگي | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS؟ (＜35% FS) | ||||||
| لڪيريت | ±0.5% FS | ||||||
| ورجائي قابليت | ±0.2% FS | ||||||
| جوابي وقت | ≤1 سيڪنڊ | ≤0.8 سيڪنڊ (SEMI E17-0600) | |||||
| والو جي آرام واري پوزيشن | عام طور تي بند ٿيل يا | ڪو والو | عام طور تي بند ٿيل يا | ڪو والو | عام طور تي بند ٿيل يا | ڪو والو | |
| عام طور تي کليل (100 sccm≤FS≤5 slm) | عام طور تي کليل (100 sccm≤FS≤5 slm) | عام طور تي کليل (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| اختلافي دٻاءُ | 0.05～0.35MPa (flow≤10slm) | ج0.02 ايم پي اي | (0.05～0.35) MPa (≤10slm) | ج0.02 ايم پي اي | (0.05～0.35) MPa (≤10slm) | ج0.02 ايم پي اي | |
| 0.1～0.35MPa (10slm،Flow≤30slm) | (0.1～0.35) ايم پي اي (10slm) | (0.1～0.35) ايم پي اي (10slm) | |||||
| 0.2～0.45MPa (فلو) 30slm | |||||||
| وڌ ۾ وڌ آپريٽنگ پريشر | 0.45MPa | |||||
| گرمي پد | صفر: ≤±0.05% FS/℃؛ | صفر: ≤±0.02% FS/℃؛اسپان: ≤±0.05% FS/℃ | ||||
| کوٽائي | اسپن: ≤±0.1% FS/℃ (flow≤30slm) | |||||
| اسپان: ≤±0.2% FS/℃ (flow>30slm) | ||||||
| ثبوت جو دٻاء | 3MPa (435pisg) | |||||
| زيرو ڊرافٽ | ج0.6% FS في سال بغير آٽوزيرو | |||||
| ليڪ سالميت | 1×10-9 atm·cc/sec He | 1×10-10atm·cc/sec He | ||||
| ٻرندڙ مواد | ويٽن؛ | ڌاتو؟ (اسٽينلیس اسٽيل V/V، 5Ra) | ڌاتو | |||
| مٿاڇري ڪيميا | —— | Cr/Fe تناسب 2.0؛CrO ٿلهي <20 Angstroms | ||||
| مٿاڇري ختم | 25 را | 10 را | 25 را | |||
| آپريشن جي درجه حرارت | (5～45) ℃ | (0～50) ℃ | ||||
| ان پٽ سگنل | ڊجيٽل: RS485 يا ProfiBus | N/A | ڊجيٽل: RS485 يا ProfiBus يا DeviceNetTM | N/A | ڊجيٽل: RS485 يا ProfiBus يا DeviceNetTM | N/A |
| يا DeviceNetTM | اينالاگ: (0～5)VDC يا (4～20)mA يا (0～20)mA | اينالاگ: (0～5)VDC يا (4～20)mA؟ or (0～20)mA | |||||
| اينالاگ: (0～5)VDC يا (4～20)mA يا (0～20)mA | |||||||
| ٻاھر نڪرندڙ سگنل | ڊجيٽل: RS485 يا DeviceNetTM يا ProfiBus اينالاگ: (0～5)VDC يا (4～20)mA يا (0～20)mA | ||||||
| بجلي جي فراهمي | ±8 ~ ±16 VDC يا +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| اليڪٽرانڪ ڪنيڪٽر | 9 پن مرد ذيلي ڊي ， 15 پن مرد ذيلي ڊي ， DeviceNetTM،پروفي بس، اينالاگ | ||||||
| فِٽنگ | VCR1/4 "M" VCO1/4" M | VCR1/4” ايم؛ | |||||
| ڪمپريشن فِٽنگΦ10؛ ڪمپريشن فِٽنگΦ6 | کمپريشن فٽنگ Φ6، | ||||||
| ڪمپريشن فٽنگ 3/8”؛ڪمپريشن فٽنگ 1/4” | کمپريشن فٽنگ Φ3، | ||||||
| ڪمپريشن فٽنگ 1/8”؛ڪمپريشن فٽنگΦ3 | ڪمپريشن فٽنگ 1/4”، | ||||||
| Ф6 (اندرون) × 1 هوز؛ ايف 5 (اندرون) × 1.5 هوز؛ ايف 4 (اندرون) × 1 هوز؛ | و مهر، | ||||||
| اي-سيل؛ | سي مهر | ||||||
| وزن | 1 ڪلو | 0.8 ڪلو | 1.2 ڪلو | 1 ڪلو | 1.2 ڪلو | 1 ڪلو | |
