ماس فلو ڪنٽرولرز (MFC) گيس جي ماس وهڪري جي درست ماپ ۽ ڪنٽرول مهيا ڪن ٿا.
I. MFC ۽ MFM جي وچ ۾ ڇا فرق آهي؟
ماس فلو ميٽر (MFM) هڪ قسم جو اوزار آهي جيڪو گيس جي وهڪري کي درست انداز ۾ ماپيندو آهي، ۽ ان جي ماپ جو قدر غلط نه هوندو آهي درجه حرارت يا دٻاءُ ۾ ڦيرڦار جي ڪري، ۽ نه ئي حرارت ۽ دٻاءُ جي معاوضي جي ضرورت هوندي آهي. ماس فلو ڪنٽرولر (MFC) نه رڳو هڪ ماس فلو ميٽر جو ڪم آهي، پر وڌيڪ اهم، اهو خودڪار طور تي گئس جي وهڪري کي ڪنٽرول ڪري سگهي ٿو، اهو آهي، صارف پنهنجي ضرورتن مطابق وهڪري کي سيٽ ڪري سگهي ٿو، ۽ MFC خودڪار طريقي سان وهڪري کي مقرر ڪيل قيمت تي رکي ٿو، جيتوڻيڪ. سسٽم جي دٻاء جي وهڪري يا ماحول جي گرمي پد ۾ تبديلي ان کي مقرر ڪيل قدر کان انحراف ڪرڻ جو سبب نه ٿيندو.ماس فلو ڪنٽرولر هڪ مستحڪم وهڪري ڊوائيس آهي، جيڪو هڪ گيس جي مسلسل وهڪري جي ڊوائيس آهي جيڪو دستي طور تي سيٽ ڪري سگهجي ٿو يا خودڪار طريقي سان ڪمپيوٽر سان ڪنيڪشن ذريعي ڪنٽرول ڪري سگهجي ٿو.ماس فلو ميٽر صرف ماپ ڪن ٿا پر ڪنٽرول نٿا ڪن.ڪاميٽي فلو ڪنٽرولر وٽ هڪ ڪنٽرول والو آهي، جيڪو گئس جي وهڪري کي ماپ ۽ ڪنٽرول ڪري سگهي ٿو.
II.ساخت ڇا آهي ۽آپريشن جو اصول؟
1، ساخت
2، آپريشن جو اصول
جڏهن وهڪري انٽيڪ پائپ ۾ داخل ٿئي ٿي، گهڻو ڪري وهڪري ڊائيورٽر چينل مان گذري ٿو، جنهن جو هڪ ننڍڙو حصو سينسر جي اندر ڪيپيلري ٽيوب ۾ داخل ٿئي ٿو.جي خاص ڍانچي جي ڪري
diverter چينل، گئس جي وهڪري جا ٻه حصا سڌي طرح متناسب ٿي سگهي ٿو.سينسر اڳ ۾ گرم ۽ گرم ڪيو ويو آهي، ۽ اندر جي درجه حرارت انليٽ ايئر جي درجه حرارت کان وڌيڪ آهي.هن وقت، گيس جي ننڍڙي حصي جي وڏي وهڪري کي ڪيپيلري ٽيوب پاران گرمي جي منتقلي جي اصول ۽ حرارت جي فرق جي ڪلوريميٽري جي اصول سان ماپي ويندي آهي.هن طريقي سان ماپيل گيس جي وهڪري گرمي ۽ دٻاء جي اثرات کي نظر انداز ڪري سگهي ٿو.سينسر پاران معلوم ڪيل وهڪري جي ماپ سگنل سرڪٽ بورڊ ۾ ان پٽ ۽ وڌايو ويو آهي ۽ آئوٽ، ۽ ايم ايف ايم جو ڪم مڪمل ڪيو ويو آهي.سرڪٽ بورڊ ۾ PID بند ٿيل لوپ خودڪار ڪنٽرول فنڪشن شامل ڪرڻ، استعمال ڪندڙ پاران ڏنل سيٽ سگنل سان سينسر پاران ماپيل وهڪري جي ماپ سگنل جو مقابلو ڪريو.ان جي بنياد تي، ڪنٽرول والو کي ڪنٽرول ڪيو ويو آهي ته جيئن وهڪري جي چڪاس سگنل سيٽ سگنل جي برابر آهي، اهڙيء طرح MFC جي ڪم کي محسوس ڪندي.
III.ايپليڪيشنون ۽ خاصيتون.
MFC، جيڪو وڏي پيماني تي شعبن ۾ لاڳو ٿئي ٿو جيئن: سيمي ڪنڊڪٽر ۽ آئي سي ٺاھڻ، خاص مواد سائنس، ڪيميائي صنعت، پيٽرولڪ صنعت، دواسازي جي صنعت، ماحولياتي تحفظ ۽ ويڪيوم سسٽم جي تحقيق، وغيره. عام ايپليڪيشنن ۾ شامل آھن: مائڪرو اليڪٽرڪ پروسيسنگ سامان جهڙوڪ ڊفيوژن , oxidation , epitaxy , CVD , Plasma etching , sputtering , ion implantation ؛ويڪيوم جمع ڪرڻ جو سامان، آپٽيڪل فائبر پگھلڻ، مائڪرو ري ايڪشن جو سامان، ميڪنگ ۽ ملاپ گيس سسٽم، ڪيپيلري فلو ڪنٽرول سسٽم، گيس ڪروميٽوگراف ۽ ٻيا تجزياتي اوزار.
MFC اعليٰ درستگي، شاندار ورجائي قابليت، تڪڙو جواب، نرم شروع، بهتر اعتبار، آپريشن جي پريشر جي وسيع قسم جي حدن (هاءِ پريشر ۽ ويڪيوم جي حالتن ۾ سٺو آپريشن)، سادو آسان آپريشن، لچڪدار تنصيب، پي سي سان ڳنڍڻ ممڪن بڻائي ٿو. صارفين جي سسٽم تي ڪنٽرول.
IV.ڪيئن طئي ڪرڻ ۽ ڊيل سان fبيماريون؟
اسان جي ڪمپني کي پيشه ورانه وڪرو انجنيئر آهي، توهان کي انسٽاليشن ۽ استعمال ۾ مسئلا حل ڪرڻ ۾ مدد ڪري سگهي ٿي.
پوسٽ جو وقت: جولاء-29-2022