پمپ عام طور تي الٽرا هاء ويڪيوم سسٽم ۾ استعمال ٿيندا آهن

I. مشيني پمپ
مشيني پمپ جو بنيادي ڪم turbomolecular پمپ جي شروعات لاء ضروري پري اسٽيج ويڪيوم مهيا ڪرڻ آهي.عام طور تي استعمال ٿيندڙ مشيني پمپن ۾ شامل آهن خاص طور تي vortex خشڪ پمپ، ڊافراگم پمپ ۽ تيل سيل ٿيل ميڪيڪل پمپ.
ڊافراگم پمپن ۾ پمپنگ جي رفتار گهٽ هوندي آهي ۽ عام طور تي ننڍي سائيز جي ڪري ننڍي ماليڪيولر پمپ سيٽن لاءِ استعمال ٿينديون آهن.
تيل جي سيل ٿيل ميڪيڪل پمپ ماضي ۾ سڀ کان وڌيڪ استعمال ٿيل مشيني پمپ آهي، وڏي پمپنگ جي رفتار ۽ سٺي حتمي ويڪيوم جي خاصيت آهي، نقصان اهو آهي ته تيل جي واپسي جو عام وجود، الٽرا-هاء ويڪيوم سسٽم ۾ عام طور تي solenoid والو سان ليس ٿيڻ جي ضرورت آهي. (تيل جي واپسي جي ڪري حادثاتي طاقت جي ناڪامي کي روڪڻ لاءِ) ۽ ماليڪيولر سيو (جذب اثر).
تازن سالن ۾، وڌيڪ استعمال ٿيل اسڪرول خشڪ پمپ آهي. فائدو استعمال ڪرڻ آسان آهي ۽ تيل ڏانهن واپس نه ٿو اچي، صرف پمپنگ جي رفتار ۽ آخري ويڪيوم تيل جي سيل ميڪيڪل پمپ جي ڀيٽ ۾ ٿورڙي خراب آهي.
مشيني پمپ ليبارٽري ۾ شور ۽ وائبريشن جو هڪ مکيه ذريعو آهن ۽ اهو بهتر آهي ته گهٽ شور وارو پمپ چونڊيو ۽ ان کي سامان جي وچ ۾ رکي جتي ممڪن هجي، پر بعد ۾ ڪم ڪندڙ فاصلي جي پابندين جي ڪري حاصل ڪرڻ آسان ناهي.
II.Turbomolecular پمپ
ٽربو ماليڪيولر پمپ تيز رفتار گھمڻ واري وين تي ڀاڙين ٿا (عام طور تي تقريباً 1000 انقلاب في منٽ) گيس جي سڌي وهڪري حاصل ڪرڻ لاءِ.انٽ پريشر کي پمپ جي نڪرڻ واري دٻاء جي تناسب کي کمپريشن تناسب سڏيو ويندو آهي.کمپريشن تناسب پمپ جي مرحلن جي تعداد، رفتار ۽ گئس جي قسم سان لاڳاپيل آهي، گيس کمپريشن جي عام سالمياتي وزن نسبتا بلند آهي.turbomolecular پمپ جي آخري خال کي عام طور تي 10-9-10-10 mbar سمجهيو ويندو آهي، ۽ تازن سالن ۾، ماليڪيولر پمپ ٽيڪنالاجي جي مسلسل ترقي سان، حتمي خال کي وڌيڪ بهتر ڪيو ويو آهي.
جيئن ته ٽربوموليڪيولر پمپ جا فائدا صرف ماليڪيولر وهڪري جي حالت ۾ محسوس ٿيندا آهن (هڪ وهڪري واري حالت جنهن ۾ گئس ماليڪيولن جي سراسري آزاد حد ڊڪٽ ڪراس سيڪشن جي وڌ ۾ وڌ سائيز کان تمام گهڻي هوندي آهي)، هڪ پري اسٽيج ويڪيوم پمپ 1 کان 10-2 Pa جي آپريٽنگ دٻاء جي ضرورت آهي.وين جي تيز گھمڻ واري رفتار جي ڪري، ماليڪيول پمپ غير ملڪي شيون، جٽ، اثر، گونج يا گيس جھٽڪو طرفان خراب يا تباهه ٿي سگهي ٿو.شروعاتي لاء، نقصان جو سڀ کان وڏو سبب آپريٽنگ غلطين جي ڪري گئس جھٽڪو آهي.هڪ ماليڪيولر پمپ کي نقصان پڻ ٿي سگهي ٿو گونج جي سبب هڪ ميخانياتي پمپ ذريعي.اها حالت نسبتا ناياب آهي پر خاص ڌيان جي ضرورت آهي ڇو ته اها وڌيڪ گندي آهي ۽ آساني سان معلوم نه آهي.

III.اسپٽرنگ آئن پمپ
اسپٽرنگ آئن پمپ جو ڪم ڪندڙ اصول اهو آهي ته پيننگ ڊسچارج ذريعي پيدا ٿيندڙ آئنز کي استعمال ڪرڻ لاءِ ڪيٿوڊ جي ٽائيٽينيم پليٽ تي بمباري ڪري هڪ تازي ٽائيٽينيم فلم ٺاهي ٿي، اهڙيءَ طرح فعال گيسز کي جذب ڪري ٿو ۽ ان سان گڏ غير فعال گيسز تي هڪ خاص دفن اثر پڻ آهي. .اسپٽرنگ آئن پمپ جا فائدا سٺا حتمي ويڪيوم آهن، نه ڪو کمپن، نه شور، نه آلودگي، هڪ پختو ۽ مستحڪم عمل، نه سار سنڀال ۽ ساڳئي پمپنگ جي رفتار تي (سواءِ انارٽ گيسز جي)، انهن جي قيمت ماليڪيولر پمپن جي ڀيٽ ۾ تمام گهٽ آهي، جيڪو انهن کي انتهائي وڏي پيماني تي الٽرا هاء ويڪيوم سسٽم ۾ استعمال ڪري ٿو.عام طور تي اسپٽرنگ آئن پمپ جو عام آپريٽنگ چڪر 10 سالن کان وڌيڪ آهي.
آئن پمپن کي عام طور تي 10-7 mbar کان مٿي هجڻ جي ضرورت آهي صحيح ڪم ڪرڻ لاءِ (خراب ويڪيوم تي ڪم ڪرڻ سان انهن جي زندگي جو وقت گهٽجي ويندو آهي) ۽ ان ڪري هڪ سٺو پري اسٽيج ويڪيوم مهيا ڪرڻ لاءِ ماليڪيولر پمپ سيٽ جي ضرورت هوندي آهي.مکيه چيمبر ۾ آئن پمپ + TSP استعمال ڪرڻ ۽ انٽ چيمبر ۾ هڪ ننڍڙو ماليڪيولر پمپ استعمال ڪرڻ عام رواج آهي.جڏهن بيڪنگ ڪريو، ڳنڍيل داخل والو کوليو ۽ ننڍڙي ماليڪيول پمپ سيٽ کي اڳيان ويڪيوم مهيا ڪرڻ ڏيو.
اهو ياد رکڻ گهرجي ته آئن پمپ غير فعال گيسز کي جذب ڪرڻ جي صلاحيت ۾ گهٽ هوندا آهن ۽ انهن جي وڌ ۾ وڌ پمپنگ جي رفتار ماليڪيولر پمپن جي ڀيٽ ۾ ڪجهه مختلف هوندي آهي، تنهنڪري وڏي آئوٽ گيسنگ حجم يا انٽ گيسس جي وڏي مقدار لاء، هڪ ماليڪيول پمپ سيٽ جي ضرورت هوندي آهي.ان کان سواء، آئن پمپ آپريشن دوران هڪ برقياتي مقناطيسي فيلڊ ٺاهي ٿو، جيڪو خاص طور تي حساس سسٽم سان مداخلت ڪري سگهي ٿو.
IV.Titanium sublimation پمپ
ٽائيٽينيم سبليميشن پمپ ڪم ڪن ٿا دھاتي ٽائيٽينيم جي بخارات تي ڀروسو ڪندي ڪم ڪن ٿا ته ڪيميسورپشن لاءِ چيمبر جي ڀتين تي ٽائيٽينيم فلم ٺاهي.ٽائيٽينيم سبليميشن پمپ جا فائدا سادو تعمير، گھٽ قيمت، آسان سار سنڀال، ڪو تابڪاري ۽ ڪو وائبريشن شور ناهي.
Titanium sublimation پمپ عام طور تي 3 titanium filaments تي مشتمل هوندا آهن (جلائڻ کي روڪڻ لاءِ) ۽ بهترين هائڊروجن ختم ڪرڻ لاءِ ماليڪيولر يا آئن پمپن سان ميلاپ ۾ استعمال ٿيندا آهن.اهي 10-9-10-11 mbar رينج ۾ سڀ کان اهم ويڪيوم پمپ آهن ۽ اڪثر الٽرا هاءِ ويڪيوم چيمبرن ۾ لڳل آهن جتي اعليٰ ويڪيوم ليول گهربل آهن.
ٽائيٽينيم سبليميشن پمپ جو نقصان اهو آهي ته ٽائيٽينيم جي باقاعدي ڦاٽڻ جي ضرورت آهي، ويڪيوم اسپٽرنگ دوران تقريباً 1-2 آرڊرن جي شدت سان خراب ٿئي ٿو (چند منٽن اندر)، تنهن ڪري مخصوص چيمبرن کي مخصوص ضرورتن سان NEG جي استعمال جي ضرورت آهي.پڻ، titanium حساس نموني/ڊوائيسز لاء، خيال رکڻ گهرجي ته titanium sublimation پمپ جي مقام کان بچڻ لاء.
V. Cryogenic پمپ
Cryogenic پمپ خاص طور تي ويڪيوم حاصل ڪرڻ لاءِ گھٽ درجه حرارت جي جسماني جذب تي ڀاڙين ٿا، تيز پمپنگ اسپيڊ، ڪو آلودگي ۽ اعليٰ حتمي ويڪيوم جي فائدن سان.بنيادي عنصر جيڪي cryogenic پمپ جي پمپنگ جي رفتار کي متاثر ڪن ٿا، گرمي پد ۽ پمپ جي سطح جو علائقو.وڏي ماليڪيولر بيم ايپيٽڪسي سسٽم ۾، ڪرائيوجنڪ پمپ وڏي پيماني تي استعمال ڪيا ويندا آهن ڇاڪاڻ ته اعليٰ حتمي ويڪيوم گهرجن جي ڪري.
cryogenic پمپ جا نقصان مائع نائٽروجن جي اعلي واپرائڻ ۽ اعلي آپريٽنگ خرچ آهن.وري گردش ڪندڙ چيلرن سان سسٽم مائع نائٽروجن استعمال ڪرڻ کان سواءِ استعمال ڪري سگھجن ٿا، پر اھو ان سان گڏ توانائي جي استعمال، وائبريشن ۽ شور جا لاڳاپيل مسئلا آڻي ٿو.هن سبب لاء، cryogenic پمپ گهٽ عام طور تي روايتي ليبارٽري سامان ۾ استعمال ٿيندا آهن.
VI.اسپريٽر پمپ (NEG)
سکشن ايجنٽ پمپ تازو سالن ۾ وڌيڪ استعمال ٿيل ويڪيوم پمپن مان هڪ آهي، ان جو فائدو ڪيميائي جذب جو مڪمل استعمال آهي، ڪو به وانپ پلاٽنگ ۽ برقياتي مقناطيسي آلودگي، اڪثر ڪري ماليڪيول پمپ سان گڏ استعمال ڪيو ويندو آهي ٽائيٽينيم سبليميشن پمپ ۽ اسپٽرنگ آئن جي جاء تي. پمپ، نقصان اعلي قيمت ۽ محدود تعداد جي بحالي آهي، عام طور تي سسٽم ۾ استعمال ڪيو ويندو آهي اعلي ضرورتن سان ويڪيوم استحڪام يا برقياتي مقناطيسي شعبن لاء انتهائي حساس.
ان کان علاوه، جيئن ته اسپريٽر پمپ کي ابتدائي چالو ٿيڻ کان سواء اضافي بجلي جي فراهمي جي ڪنيڪشن جي ضرورت ناهي، اهو اڪثر ڪري وڏي سسٽم ۾ استعمال ٿيندو آهي هڪ معاون پمپ جي طور تي پمپنگ جي رفتار کي وڌائڻ ۽ ويڪيوم جي سطح کي بهتر ڪرڻ لاء، جيڪو مؤثر طريقي سان سسٽم کي آسان ڪري سگهي ٿو.

شڪل: مختلف قسم جي پمپ لاء ڪم ڪندڙ دٻاء.ناسي تير وڌ ۾ وڌ قابل اجازت آپريٽنگ پريشر رينج ڏيکاري ٿو ۽ بولڊ سائي حصا عام ڪم ڪندڙ پريشر جي حد کي ڏيکاري ٿو.