حرارتي گئس ماس فلو ڪنٽرولر (MFC)
جيrmalgasmگداfگھٽmeter(MFM) isakindoفڪرtemeasuريمentofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolleڊي بيfluctuationsinٽيمپيراtureorpressure, don't needtهيڪompensationoftemperatureandpressure.
| ماڊل | SQC-100 |
| وهڪري جي حد (N2) | 0～5،10،20،30،50،100،200،500SCCM |
| 0 - 1، 2، 3، 5، 10، 15، 20، 30SLM | |
| درستگي | ±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(≤15SLM) |
| والو ڊرائيو جو قسم | عام بند |
| لڪيريت | ±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(≤15SLM) |
| ورجائي قابليت | ±0.2 پي ايف ايس |
| جوابي وقت | ≤1 سيڪنڊ |
| ان پٽ/آئوٽ پٽ سگنل | 0～5V |
| اليڪٽرڪ جوائنٽ | DB15 پن (سوئي) |
| آپريشن ٽيم. | 5 ~ 45 ℃ |
| اختلافي اڳ. | 0.05～0.5MPa (MFC)؛ 0.03～3.0MPa (MFM) |
| ليڪ جي شرح | 1×10-8SCCS (هي) |
| وڌ.دٻاءُ | 3 ايم پي اي |
| وچولي مواد | 316L ايس ايس ۽ سيلنگ مواد |
| سيل ڪرڻ وارو مواد | ويٽن، سلڪون رٻڙ، اين بي آر، ٽيفلون، ڌاتو مهر. |
| گڏيل ماپ | وي سي آر 1/4"؛ سوگيلوڪ 1/8"، 1/4"؛ φ3، φ6mm |
| بجلي جي فراهمي | +15V،50mA；-15V،200mA |
| ماڊل | SQC-200 |
| وهڪري جي حد (N2) | ايم ايف سي: 0، 20، 30، 50، 100، 150، 200SLM |
| ايم ايف ايم: 0～20،30،50،100،150،200،250،300SLM | |
| درستگي | ±2 پي ايف ايس |
| والو ڊرائيو جو قسم | عام بند |
| لڪيريت | ±2 پي ايف ايس |
| ورجائي قابليت | ±0.2 پي ايف ايس |
| جوابي وقت | ≤5 سيڪنڊ |
| ان پٽ/آئوٽ پٽ سگنل | 1～5V；4～20mA |
| اليڪٽرڪ جوائنٽ | DB15 پن (سوئي) |
| آپريشن ٽيم. | 5 ~ 45 ℃ |
| اختلافي اڳ. | 0.1～0.3MPa (MFC)؛ 0.05～3.0MPa (MFM) |
| ليڪ جي شرح | 1×10-8SCCS (هي) |
| وڌ.دٻاءُ | 3 ايم پي اي |
| وچولي مواد | 316L ايس ايس ۽ سيلنگ مواد |
| سيل ڪرڻ وارو مواد | ويٽن، سلڪون ربر، اين بي آر، اي آر پي، ٽيفلون |
| گڏيل ماپ | سوگيلوڪ 3/8"، 1/2"؛ φ8، φ10، φ12mm |
| بجلي جي فراهمي | 24V، 0.5A |
پنهنجو پيغام هتي لکو ۽ اسان ڏانهن موڪليو
