EV ශ්රේණි සංයෝග අණුක පොම්ප
EV ශ්රේණියේ තාක්ෂණික දත්ත
ආකෘතිය | EV-600 EV-600F | EV-1200 EV-1200F | EV-1600 EV-1600F | ||||
ඉන්ලට් ෆ්ලැන්ජ් (මි.මී.) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
Outlet Flange(mm) | 40 KF | 40 KF | 50 KF | ||||
පොම්ප කිරීමේ වේගය(L/S) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
සම්පීඩන අනුපාතය | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
H2 | >8X103 | >1X104 | >1X104 | ||||
Ultimate Vacuum(Pa) | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | |
භ්රමණ වේගය (rpm) | 24000 | 24000 | 24000 | ||||
කම්පනය | ≤0.1 μm | ≤0.1 μm | ≤0.15 μm | ||||
ධාවන කාලය (විනාඩි) | <4.5 | <5 | <6 | ||||
ආධාරක පොම්පය | 4-8 L/S | 8-15 L/S | 15 L/S | ||||
සිසිලන ක්රමය | ජලය (වාතය) සිසිලනය | ජලය (වාතය) සිසිලනය | ජලය (වාතය) සිසිලනය | ||||
සිසිලන ජල උෂ්ණත්වය (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
පරිසර උෂ්ණත්වය (℃) | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
සිසිලන ජල ප්රවාහ ප්රමාණය | 1-2 L/min | 1-2 L/min | 1-2 L/min | ||||
පිළිස්සීමේ උෂ්ණත්වය (℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
තාපක බලය (w) | <250 | <300 | <300 | ||||
තාපක ආදාන වෝල්ටීයතාවය (v) | AC220 | AC220 | AC220 | ||||
සවි කිරීම | සිරස් ±5° | සිරස් ±5° | සිරස් ±5° | ||||
බර (kg) | ≈25 | ≈29 | ≈31 |
වායුගෝලීය පොම්ප කිරීමේ වක්රය සංයෝගය
අණුක පොම්පය
නයිට්රජන් සහ හයිඩ්රජන් වල සම්පීඩන අනුපාත වක්රය
සංයෝග අණුක පොම්පය මගින්
සංයෝග අණුක පොම්පයේ EV ශ්රේණි ස්ථාපන මාන වගුව
ආකෘතිය | EV-600 | EV-1200 | EV-1600 | ||||
ඉන්ලට් ෆ්ලැන්ජ් (මි.මී.) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
D4 | ¨145.7 | ¨145.7 | ¨167.6 | ¨167.6 | ¨183.9 | ¨183.9 | |
H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
පොම්ප කකුලේ ඉස්කුරුප්පු කුහරය | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | |
Outlet Flange(mm) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 |
EV ශ්රේණි වායු සිසිලන සංයෝග අණුක පොම්ප
EV ශ්රේණියේ වායු සිසිලන සංයෝග අණුක පොම්පය turbomolecular පොම්පය සහ disc traction pump වලින් සමන්විත වේ.එය ටර්බෝ අණුක පොම්පයේ අණුක ප්රවාහය සඳහා ඉහළ පොම්ප කිරීමේ වේගය සහ සම්පීඩන අනුපාතය, කම්පන පොම්පයේ ඉහළ පීඩනය සඳහා ඉහළ පොම්ප කිරීමේ වේගය සහ සම්පීඩන අනුපාතය යන ලක්ෂණ ඇති අතර අණුක පොම්පයේ යෙදුම් විෂය පථය පුළුල් කරයි.
සංයෝග අණුක පොම්පය පොම්ප කරන ලද වායුව මත තෝරා ගැනීමේ සහ මතක බලපෑමක් නැත.විශාල අණුක බර සහිත වායුවට එහි ඉහළ සම්පීඩන අනුපාතය නිසා, පොම්පයට සීතල උගුලක් සහ තෙල් බැෆල් නොමැතිව පිරිසිදු ඉහළ සහ අතිශය ඉහළ රික්තයක් ලබා ගත හැකිය.එය ඉලෙක්ට්රොනික, ලෝහ විද්යාව, රසායනික කර්මාන්තය, විද්යාත්මක පර්යේෂණ සහ රික්ත තාක්ෂණය යන විවිධ ක්ෂේත්රවල බහුලව භාවිතා වේ.
ආකෘතිය | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
ඉන්ලට් ෆ්ලැන්ජ් (මි.මී.) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
D3 | ¨145.7 | ¨145.7 | ¨167.6 | ¨167.6 | ¨183.8 | ¨183.8 |
H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
H2 | 217.5 කි | 217.5 කි | 210 | 210 | 214.5 කි | 214.5 කි |
H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
පොම්ප කකුලේ ඉස්කුරුප්පු කුහරය | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 |