අධි-ඉහළ රික්ත පද්ධතිවල බහුලව භාවිතා වන පොම්ප

I. යාන්ත්රික පොම්ප
යාන්ත්රික පොම්පයේ ප්රධාන කාර්යය වන්නේ turbomolecular පොම්පය ආරම්භ කිරීම සඳහා අවශ්ය පූර්ව අදියර රික්තකය ලබා දීමයි.බහුලව භාවිතා වන යාන්ත්‍රික පොම්ප වලට ප්‍රධාන වශයෙන් සුළි වියළි පොම්ප, ප්‍රාචීර පොම්ප සහ තෙල් මුද්‍රා තැබූ යාන්ත්‍රික පොම්ප ඇතුළත් වේ.
ප්රාචීර පොම්ප අඩු පොම්ප කිරීමේ වේගයක් ඇති අතර කුඩා ප්රමාණය නිසා කුඩා අණුක පොම්ප කට්ටල සඳහා සාමාන්යයෙන් භාවිතා වේ.
තෙල් මුද්‍රා තැබූ යාන්ත්‍රික පොම්පය අතීතයේ වැඩිපුරම භාවිතා කරන ලද යාන්ත්‍රික පොම්පය වන අතර එය විශාල පොම්ප කිරීමේ වේගයක් සහ හොඳ අවසාන රික්තයකින් සංලක්ෂිත වේ, අවාසිය නම් තෙල් ප්‍රතිලාභයේ සාමාන්‍ය පැවැත්මයි, අධි-ඉහළ රික්තක පද්ධතිවල සාමාන්‍යයෙන් සොලෙනොයිඩ් කපාටයකින් සමන්විත විය යුතුය. (තෙල් ප්‍රතිලාභය නිසා ඇතිවන හදිසි බල බිඳ වැටීම වැළැක්වීම සඳහා) සහ අණුක පෙරනයක් (අවශෝෂණ බලපෑම).
මෑත වසරවලදී, වැඩිපුර භාවිතා කර ඇත්තේ අනුචලන වියළි පොම්පය. වාසිය භාවිතා කිරීමට සරල වන අතර තෙල් වෙත ආපසු නොඑනු ඇත, පොම්ප කිරීමේ වේගය සහ අවසාන රික්තය තෙල් මුද්රා තැබූ යාන්ත්රික පොම්ප වලට වඩා තරමක් නරක ය.
යාන්ත්‍රික පොම්ප රසායනාගාරයේ ශබ්දය සහ කම්පනය ඇති කරන ප්‍රධාන ප්‍රභවයක් වන අතර අඩු ශබ්ද පොම්පයක් තෝරාගෙන හැකිතාක් උපකරණ අතර තැබීම වඩා හොඳය, නමුත් වැඩ කරන දුර සීමාවන් හේතුවෙන් දෙවැන්න බොහෝ විට සාක්ෂාත් කර ගැනීම පහසු නොවේ.
II.Turbomolecular පොම්ප
ටර්බෝ අණුක පොම්ප වායුවේ දිශානුගත ප්‍රවාහයක් සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා අධිවේගී භ්‍රමණය වන වෑන් (සාමාන්‍යයෙන් විනාඩියකට විප්ලව 1000 ක් පමණ) මත රඳා පවතී.පොම්පයේ පිටාර පීඩනය හා ආදාන පීඩනයේ අනුපාතය සම්පීඩන අනුපාතය ලෙස හැඳින්වේ.සම්පීඩන අනුපාතය පොම්පයේ අදියර ගණනට සම්බන්ධ වේ, වේගය සහ ගෑස් වර්ගය, ගෑස් සම්පීඩනයේ සාමාන්ය අණුක බර සාපේක්ෂව ඉහළ ය.turbomolecular පොම්පයක අවසාන රික්තය සාමාන්‍යයෙන් 10-9-10-10 mbar ලෙස සලකනු ලබන අතර, මෑත වසරවලදී, අණුක පොම්ප තාක්ෂණයේ අඛණ්ඩ ප්‍රගතියත් සමඟ, අවසාන රික්තය තවදුරටත් වැඩිදියුණු කර ඇත.
turbomolecular පොම්පයක වාසි සාක්ෂාත් වන්නේ අණුක ප්‍රවාහ තත්වයකදී (වායු අණු වල සාමාන්‍ය නිදහස් පරාසය නාලිකා හරස්කඩේ උපරිම ප්‍රමාණයට වඩා බෙහෙවින් වැඩි වන ප්‍රවාහ තත්වයක්), පූර්ව අදියර රික්තක පොම්පයකි. 1 සිට 10-2 Pa දක්වා ක්රියාකාරී පීඩනයක් සහිතව අවශ්ය වේ.වෑන් වල ඉහළ භ්‍රමණ වේගය හේතුවෙන්, අණුක පොම්පය විදේශීය වස්තූන්, කම්පනය, බලපෑම, අනුනාදනය හෝ වායු කම්පනය මගින් හානි හෝ විනාශ විය හැක.ආරම්භකයින් සඳහා, හානියට වඩාත් පොදු හේතුව වන්නේ මෙහෙයුම් දෝෂ හේතුවෙන් ගෑස් කම්පනය වීමයි.යාන්ත්රික පොම්පයක් මගින් අවුලුවන ලද අනුනාදයෙන් ද අණුක පොම්පයට හානි සිදු විය හැක.මෙම තත්වය සාපේක්ෂව දුර්ලභ නමුත් එය වඩාත් ද්‍රෝහී සහ පහසුවෙන් හඳුනාගත නොහැකි බැවින් විශේෂ අවධානයක් අවශ්‍ය වේ.

III.ඉසින අයන පොම්පය
ස්පුටරින් අයන පොම්පයේ ක්‍රියාකාරී මූලධර්මය වන්නේ පෙන්නිං විසර්ජනය මගින් ජනනය වන අයන භාවිතා කර කැතෝඩයේ ටයිටේනියම් තහඩුවට බෝම්බ හෙලීමට නැවුම් ටයිටේනියම් පටලයක් සාදයි, එමඟින් ක්‍රියාකාරී වායූන් අවශෝෂණය කර නිෂ්ක්‍රීය වායූන් කෙරෙහි යම් භූමදාන බලපෑමක් ඇති කරයි. .අයන පොම්පවල ඇති වාසි නම් හොඳ අවසාන රික්තය, කම්පනය, ශබ්දය, දූෂණය, පරිණත හා ස්ථාවර ක්‍රියාවලියක්, නඩත්තු නොකිරීම සහ එකම පොම්ප කිරීමේ වේගයකින් (නිෂ්ක්‍රීය වායු හැර), ඒවායේ පිරිවැය අණුක පොම්ප වලට වඩා බෙහෙවින් අඩු ය. එය අතිශය ඉහළ රික්ත පද්ධතිවල ඒවා අතිශයින් පුළුල් ලෙස භාවිතා කරයි.සාමාන්යයෙන් අයන පොම්ප ඉසින සාමාන්ය ක්රියාකාරී චක්රය වසර 10 කට වඩා වැඩි වේ.
අයන පොම්ප නිසියාකාරව ක්‍රියා කිරීමට සාමාන්‍යයෙන් 10-7 mbar ට වඩා වැඩි විය යුතුය (වැරදි රික්තකවල වැඩ කිරීම ඔවුන්ගේ ආයු කාලය සැලකිය යුතු ලෙස අඩු කරයි) එබැවින් හොඳ පූර්ව-අදියර රික්තයක් සැපයීමට අණුක පොම්ප කට්ටලයක් අවශ්‍ය වේ.ප්‍රධාන කුටියේ අයන පොම්පයක් + TSP සහ ආදාන කුටියේ කුඩා අණුක පොම්ප කට්ටලයක් භාවිතා කිරීම සාමාන්‍ය සිරිතකි.පිළිස්සීමේදී, සම්බන්ධිත ඇතුළු කිරීමේ කපාටය විවෘත කර කුඩා අණුක පොම්ප කට්ටලය ඉදිරිපස රික්තය ලබා දෙන්න.
අයන පොම්පවලට නිෂ්ක්‍රීය වායූන් අවශෝෂණය කිරීමේ හැකියාව අඩු බවත් ඒවායේ උපරිම පොම්ප කිරීමේ වේගය අණුක පොම්පවලට වඩා තරමක් වෙනස් බවත් සැලකිය යුතුය, එබැවින් විශාල පිටවන පරිමාවක් හෝ නිෂ්ක්‍රීය වායු විශාල ප්‍රමාණයක් සඳහා අණුක පොම්ප කට්ටලයක් අවශ්‍ය වේ.මීට අමතරව, අයන පොම්පය ක්‍රියාත්මක වන විට විද්‍යුත් චුම්භක ක්ෂේත්‍රයක් ජනනය කරයි, එය විශේෂයෙන් සංවේදී පද්ධතිවලට බාධා කළ හැකිය.
IV.ටයිටේනියම් sublimation පොම්ප
ටයිටේනියම් sublimation පොම්ප රසායනික අවශෝෂණය සඳහා කුටීර බිත්ති මත ටයිටේනියම් චිත්රපටයක් පිහිටුවීමට ලෝහමය ටයිටේනියම් වාෂ්පීකරණය මත විශ්වාසය තැබීමෙන් ක්රියා කරයි.ටයිටේනියම් සබ්ලිමේෂන් පොම්පවල වාසි වන්නේ සරල ඉදිකිරීම්, අඩු පිරිවැය, පහසු නඩත්තු කිරීම, විකිරණ නොමැතිකම සහ කම්පන ශබ්දය නොමැති වීමයි.
ටයිටේනියම් සබ්ලිමේෂන් පොම්ප සාමාන්‍යයෙන් ටයිටේනියම් සූතිකා 3 කින් සමන්විත වේ (පිළිස්සීම වැළැක්වීම සඳහා) සහ විශිෂ්ට හයිඩ්‍රජන් ඉවත් කිරීම සඳහා අණුක හෝ අයන පොම්ප සමඟ ඒකාබද්ධව භාවිතා කරයි.ඒවා 10-9-10-11 mbar පරාසයේ වඩාත්ම වැදගත් රික්ත පොම්ප වන අතර ඉහළ රික්තක මට්ටම් අවශ්‍ය වන අතිශය ඉහළ රික්තක කුටිවල සවි කර ඇත.
ටයිටේනියම් සබ්ලිමේෂන් පොම්පවල අවාසිය නම් නිතිපතා ටයිටේනියම් ඉසීමේ අවශ්‍යතාවයයි, රික්තය ස්පුටර් කිරීමේදී (මිනිත්තු කිහිපයක් ඇතුළත) විශාලත්වයේ 1-2 කින් පමණ පිරිහී යයි, එබැවින් නිශ්චිත අවශ්‍යතා ඇති ඇතැම් කුටි සඳහා NEG භාවිතා කිරීම අවශ්‍ය වේ.තවද, ටයිටේනියම් සංවේදී සාම්පල/උපාංග සඳහා, ටයිටේනියම් උපසිරන පොම්පයේ පිහිටීම වළක්වා ගැනීමට සැලකිලිමත් විය යුතුය.
V. Cryogenic පොම්ප
ක්‍රයෝජනික් පොම්ප ප්‍රධාන වශයෙන් රික්තය ලබා ගැනීම සඳහා අඩු උෂ්ණත්ව භෞතික අවශෝෂණ මත රඳා පවතී, ඉහළ පොම්ප කිරීමේ වේගය, දූෂණය නොමැති වීම සහ ඉහළ අවසාන රික්තකයේ වාසි ඇත.ක්‍රයොජනික් පොම්පවල පොම්ප කිරීමේ වේගයට බලපාන ප්‍රධාන සාධක වන්නේ උෂ්ණත්වය සහ පොම්පයේ මතුපිට ප්‍රමාණයයි.විශාල අණුක කදම්භ epitaxy පද්ධතිවල, ඉහළ අවසාන රික්ත අවශ්‍යතා හේතුවෙන් ක්‍රයොජනික් පොම්ප බහුලව භාවිතා වේ.
ක්‍රයොජනික් පොම්පවල අවාසි වන්නේ ද්‍රව නයිට්‍රජන් අධික පරිභෝජනය සහ අධික මෙහෙයුම් පිරිවැයයි.ප්රතිචක්රීකරණ සිසිලන සහිත පද්ධති ද්රව නයිට්රජන් පරිභෝජනයෙන් තොරව භාවිතා කළ හැක, නමුත් මෙය බලශක්ති පරිභෝජනය, කම්පනය සහ ශබ්දය සම්බන්ධ ගැටළු ගෙන එයි.මේ හේතුව නිසා, ක්‍රයොජනික් පොම්ප සාම්ප්‍රදායික රසායනාගාර උපකරණවල බහුලව භාවිතා නොවේ.
VIඇස්පිරේටර් පොම්ප (NEG)
චූෂණ කාරක පොම්පය මෑත වසරවල වැඩිපුර භාවිතා කරන ලද රික්ත පොම්ප වලින් එකකි, එහි වාසිය වන්නේ ටයිටේනියම් සබ්ලිමේෂන් පොම්ප සහ ස්පුටරින් අයන වෙනුවට අණුක පොම්ප සමඟ ඒකාබද්ධව බොහෝ විට භාවිතා කරන රසායනික අවශෝෂණ, වාෂ්ප ප්ලේටින් සහ විද්‍යුත් චුම්භක දූෂණයේ සම්පූර්ණ භාවිතයයි. පොම්ප, අවාසිය නම් අධික පිරිවැය සහ සීමිත පුනර්ජනන සංඛ්‍යාවක්, සාමාන්‍යයෙන් රික්ත ස්ථායීතාවය සඳහා ඉහළ අවශ්‍යතා ඇති හෝ විද්‍යුත් චුම්භක ක්ෂේත්‍රවලට ඉතා සංවේදී පද්ධතිවල භාවිතා වේ.
මීට අමතරව, ඇස්පිරේටර් පොම්පයට මූලික සක්‍රිය කිරීමෙන් ඔබ්බට අමතර බල සැපයුම් සම්බන්ධතාවයක් අවශ්‍ය නොවන බැවින්, එය බොහෝ විට විශාල පද්ධතිවල සහායක පොම්පයක් ලෙස පොම්ප කිරීමේ වේගය වැඩි කිරීමට සහ රික්ත මට්ටම වැඩි දියුණු කිරීමට භාවිතා කරයි, එමඟින් පද්ධතිය effectively ලදායී ලෙස සරල කළ හැකිය.

රූපය: විවිධ වර්ගයේ පොම්ප සඳහා ක්රියාකාරී පීඩනය.දුඹුරු ඊතල උපරිම අවසර ලත් මෙහෙයුම් පීඩන පරාසය පෙන්වන අතර තද කොළ කොටස් පොදු ක්රියාකාරී පීඩන පරාසය පෙන්වයි.