තාප ගෑස් ස්කන්ධ ප්රවාහ පාලකය (MFC)
එමrmඇල්ගීmකොටළුවාfඅඩුmeter(MFM) isakindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfවාසනාවtuationsinතාවකාලිකපෙරාtureorpressure, අවශ්ය නැහැthecompensationoftemperatureandpressure.
ආකෘතිය | SQC-100 |
ප්රවාහ පරාස (N2) | 0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM |
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
නිරවද්යතාව | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Valve Drive වර්ගය | සාමාන්ය වසා ඇත |
රේඛීයත්වය | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
පුනරාවර්තන හැකියාව | ±0.2%FS |
ප්රතිචාර කාලය | ≤1 තත් |
ආදාන/ප්රතිදාන සංඥාව | 0~5V |
විදුලි සන්ධිය | DB15 පින් (ඉඳිකටුව) |
මෙහෙයුම් කණ්ඩායම. | 5℃45℃ |
අවකලනය පෙර. | 0.05~0.5MPa (MFC) 0.03~3.0MPa (MFM) |
කාන්දු අනුපාතය | 1×10-8SCCS (ඔහු) |
උපරිම.පීඩනය | 3MPa |
මධ්යම ද්රව්ය | 316L SS සහ මුද්රා තැබීමේ ද්රව්ය |
මුද්රා තැබීමේ ද්රව්ය | විටොන්, සිලිකොන් රබර්, NBR, ටෙෆ්ලෝන්, ලෝහ මුද්රාව. |
සන්ධි ප්රමාණය | VCR 1/4”;Swagelok 1/8”, 1/4”:φ3, φ6mm |
බල සැපයුම | +15V,50mA;-15V,200mA |
ආකෘතිය | SQC-200 |
ප්රවාහ පරාස (N2) | MFC: 0~20,30,50,100,150,200SLM |
MFM: 0~20 , 30 , 50 , 100 , 150 , 200 , 250 , 300 SLM | |
නිරවද්යතාව | ±2%FS |
Valve Drive වර්ගය | සාමාන්ය වසා ඇත |
රේඛීයත්වය | ±2%FS |
පුනරාවර්තන හැකියාව | ±0.2%FS |
ප්රතිචාර කාලය | තත්පර ≤5 |
ආදාන/ප්රතිදාන සංඥාව | 1~5V;4~20mA |
විදුලි සන්ධිය | DB15 පින් (ඉඳිකටුව) |
මෙහෙයුම් කණ්ඩායම. | 5℃45℃ |
අවකලනය පෙර. | 0.1~0.3MPa (MFC) ; 0.05~3.0MPa (MFM) |
කාන්දු අනුපාතය | 1×10-8SCCS (ඔහු) |
උපරිම.පීඩනය | 3MPa |
මධ්යම ද්රව්ය | 316L SS සහ මුද්රා තැබීමේ ද්රව්ය |
මුද්රා තැබීමේ ද්රව්ය | විටොන්, සිලිකන් රබර්, NBR, ERP, ටෙෆ්ලෝන් |
සන්ධි ප්රමාණය | Swagelok 3/8”, 1/2”; φ8,φ10,φ12mm |
බල සැපයුම | 24V,0.5A |
ඔබගේ පණිවිඩය මෙහි ලියා අප වෙත එවන්න