Regulátory hmotnostného prietoku (MFC) poskytujú presné meranie a riadenie hmotnostného prietoku plynov.
I. Aký je rozdiel medzi MFC a MFM?
Hmotnostný prietokomer (MFM) je druh prístroja, ktorý presne meria prietok plynu a jeho nameraná hodnota nie je nepresná v dôsledku kolísania teploty alebo tlaku a nevyžaduje kompenzáciu teploty a tlaku. Regulátor hmotnostného prietoku (MFC) nielen má funkciu hmotnostného prietokomeru, ale čo je dôležitejšie, dokáže automaticky regulovať prietok plynu, to znamená, že si užívateľ môže nastaviť prietok podľa svojich potrieb a MFC automaticky udržiava prietok konštantný na nastavenej hodnote, aj keď tlak v systéme Kolísanie alebo zmeny okolitej teploty nespôsobia odchýlku od nastavenej hodnoty.Regulátor hmotnostného prietoku je zariadenie s ustáleným prietokom, čo je zariadenie s ustáleným prietokom plynu, ktoré možno manuálne nastaviť alebo automaticky ovládať spojením s počítačom.Hmotnostné prietokomery iba merajú, ale neriadia.Regulátor hmotnostného prietoku má regulačný ventil, ktorý dokáže merať aj regulovať prietok plynu.
II.Aká je štruktúra aprincíp fungovania?
1, Štruktúra
2、Princíp činnosti
Keď tok vstupuje do sacieho potrubia, väčšina toku prechádza cez odvádzací kanál, ktorého malá časť vstupuje do kapilárnej trubice vo vnútri snímača.Vďaka špeciálnej štruktúre
odvádzacieho kanála môžu byť obe časti prúdu plynu priamo úmerné.Snímač je predhriaty a ohrievaný a teplota vo vnútri je vyššia ako teplota nasávaného vzduchu.V tomto čase sa meria hmotnostný prietok malej časti plynu princípom prenosu tepla kapilárou a princípom teplotnej diferenčnej kalorimetrie.Tok plynu meraný týmto spôsobom môže ignorovať vplyvy teploty a tlaku.Signál merania prietoku detegovaný snímačom je privedený na dosku plošných spojov a zosilnený a výstupný a funkcia MFM je dokončená.Pridanie funkcie automatického riadenia s uzavretou slučkou PID na obvodovú dosku, Porovnajte signál merania prietoku nameraný snímačom s nastaveným signálom daným používateľom.Na základe toho je regulačný ventil riadený tak, aby sa signál detekcie prietoku rovnal nastavenému signálu, čím sa realizuje funkcia MFC.
III.Aplikácie a funkcie.
MFC, ktorý je široko používaný v oblastiach ako: výroba polovodičov a IC, veda o špeciálnych materiáloch, chemický priemysel, ropný priemysel, farmaceutický priemysel, ochrana životného prostredia a výskum vákuových systémov atď. Typické aplikácie zahŕňajú: mikroelektronické procesné zariadenia, ako je difúzia oxidácia, epitaxia, CVD, plazmové leptanie, naprašovanie, implantácia iónov;zariadenia na vákuové nanášanie, tavenie optických vlákien, zariadenia na mikroreakciu, systém miešania a párovania plynov, systém riadenia kapilárneho toku, plynový chromatograf a iné analytické prístroje.
MFC prinášajú vysokú presnosť, vynikajúcu opakovateľnosť, rýchlu odozvu, mäkký štart, lepšiu spoľahlivosť, široký rozsah prevádzkových tlakov (dobrá prevádzka vo vysokotlakových a podtlakových situáciách), jednoduché pohodlné ovládanie, flexibilnú inštaláciu, možnosť prepojenia s PC na automatické vykonávanie ovládanie systému používateľov.
IV.Ako určiť a riešiť failures?
Naša spoločnosť má profesionálneho popredajného inžiniera, ktorý vám môže pomôcť vyriešiť problémy s inštaláciou a používaním.
Čas odoslania: 29. júla 2022