Vedomosti – vákuové ventily

I. Zavedenie ventilu
Vákuový ventil je komponent vákuového systému, ktorý sa používa na zmenu smeru prúdenia vzduchu, nastavenie veľkosti prúdu plynu, odpojenie alebo pripojenie potrubia vo vákuovom systéme.Uzatváracie časti vákuového ventilu sú utesnené gumovým tesnením alebo kovovým tesnením.

II.Bežné aplikácie vákuových ventilov.
Vákuové ventily
Používa sa v zariadeniach s vysokým alebo ultravysokým vákuom, keď sa vákuum musí udržiavať v uzavretom systéme na manipuláciu s vákuom.Vákuové ventily sa používajú na riadenie prietoku vzduchu do vákuovej komory, izoláciu, odvzdušňovanie, zníženie tlaku alebo riadenie vedenia.Uzatváracie ventily, inline ventily a uhlové ventily sú najbežnejšími typmi vákuových ventilov používaných pre aplikácie s vysokým alebo ultravysokým vákuom.Medzi ďalšie typy ventilov patria škrtiace ventily, prenosové ventily, guľové ventily, kyvadlové ventily, celokovové ventily, vákuové ventily, hliníkové rohové ventily, vákuové ventily potiahnuté teflónom a priame ventily.

Klapkové ventily
sú rýchlootváracie ventily pozostávajúce z kovových kotúčov alebo lopatiek, ktoré sa otáčajú v pravom uhle k smeru prúdenia v potrubí a pri otáčaní okolo svojej osi ventil utesňuje sedlo v tele ventilu.

Prevodné ventily (obdĺžnikové posúvače)
Separačné ventily vhodné na použitie medzi vákuovými komorami a prenosovými komorami s blokovaním zaťaženia a medzi prenosovými komorami a spracovacími komorami v zariadeniach na výrobu polovodičov.

Vákuové guľové ventily
sú štvrťotáčkové ventily s priamym prietokom s kruhovým uzáverom so zodpovedajúcimi kruhovými sedlami pre rovnomerné tesniace napätie.

Kyvadlové ventily
je veľký škrtiaci ventil umiestnený medzi procesnou vákuovou komorou a vstupom turbomolekulárneho čerpadla.Tieto vákuové kyvadlové ventily sú zvyčajne navrhnuté ako hradlové alebo kyvadlové ventily pre aplikácie vrátane priemyselných výrobných systémov OLED, FPD a PV.

Celokovové ventily
Navrhnuté na použitie v prostredí s ultravysokým vákuom, kde vysoké teploty neumožňujú použitie elastomérov a kryogénnych tesnení.Pečiteľné celokovové ventily poskytujú spoľahlivé utesnenie pri vysokej teplote od atmosférického tlaku až po menej ako 10-11 mbar.

Vákuové ventily
Pracujte spoľahlivo v systémoch výroby polovodičov a v aplikáciách s kontamináciou chemikáliami a časticami.Môžu byť použité v drsnom vákuu, vysokom vákuu alebo v ultravysokom vákuu.

Hliníkové uhlové ventily
Vstup a výstup týchto ventilov sú navzájom v pravom uhle.Tieto uhlové ventily sú vyrobené z hliníka A6061-T6 a používajú sa vo výrobe polovodičov a prístrojov, vo výskume a vývoji a v priemyselných vákuových systémoch pre aplikácie s hrubým až vysokým vákuom.

Vákuový ventil potiahnutý teflónom je plne skonštruovaný vákuový komponent z nehrdzavejúcej ocele s trvanlivým a vysoko chemicky odolným povlakom.

III.Charakteristika vákuových ventilov.
Tlak je nižší ako atmosférický tlak a pokles tlaku na ventilovej klapke nemôže presiahnuť 1 kg sily/cm.Pracovná teplota média závisí od procesu použitého zariadenia.Teplota vo všeobecnosti nepresahuje rozsah -70 ~ 150 °C.Najzákladnejšou požiadavkou na takéto ventily je zabezpečenie vysokého stupňa tesnosti spojenia a hustoty konštrukcie a materiálu tesnenia.

Podľa stredotlakových vákuových ventilov možno rozdeliť do štyroch skupín.
1) Ventily s nízkym vákuom: stredný tlak p=760~1 mmHg.
2) Stredne vákuové ventily: p=1×10-3 mmHg.
3) Vysokotlakové ventily: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）Ventil s ultravysokým vákuom: p≤1×10-8 mmHg.

Ako ventil s uzavretým okruhom s priemerom priechodu menším ako 250 mm je široko používaným vretenom vákuový vlnovcový uzatvárací ventil s lineárnym pohybom.Uzatváracie ventily sú však obmedzenejšie, ale to platí hlavne pre veľké priemery.K dispozícii sú tiež guľové ventily (guľové ventily), plunžerové ventily a škrtiace ventily.Zástrčné ventily pre vákuové ventily neboli propagované, pretože vyžadujú mazanie olejom, čo umožňuje, aby sa olejové pary dostali do vákuového systému, čo nie je povolené.Vákuové ventily je možné ovládať ručne aj diaľkovo v teréne, ako aj elektricky, elektromagneticky (elektromagnetické ventily), pneumaticky a hydraulicky.