Spoločnosť Beijing Super Q Technology Co., Ltd. má olejom mazané 600L, 1200L, 1600L zložené molekulárne čerpadlá radu EV a molekulárne čerpadlá 3600L turbínového typu;300L, 650L, 1300L, 2000L zmesové molekulárne čerpadlá mazané mazivom.Tento článok sa zameriava na vysvetlenie charakteristík, inštalácie, používania a údržby molekulárnych čerpadiel na mazanie tukov radu EV-Z.
Charakteristiky štruktúry
Molekulárne čerpadlo na mazivo série EV využíva dovážané presné keramické ložiská, rotor čerpadla prostredníctvom dynamickej rovnováhy, stabilnú a spoľahlivú prevádzku, trojfázový motor s veveričkovou klietkou, mazanie ložísk mazaním mazivom, možno namontovať v akejkoľvek orientácii.
inštalácia a používanie
I. O konečnom tlaku
„Ultimátny tlak“ molekulárnej pumpy je založený na medzinárodnej norme ISO „Testovacia metóda pre výkon turbomolekulárnych púmp“, Po úplnom vypálení tela pumpy a testovacieho krytu (48 hodín sušenia a odplynenia) sa najnižší tlak nameria pri špecifikovaná poloha testovacieho krytu.hodnota tlaku.Pri skutočnom použití je hodnota „medzného tlaku“ spojená s pracovným tlakom a efektívnou rýchlosťou čerpania nakonfigurovaného podporného čerpadla.Výber výkonnejšieho podporného čerpadla je veľmi výhodný na získanie vyššieho vákua a skrátenie výfukového času.
Okrem toho vzhľadom na špecifickosť výfukového princípu molekulárnej pumpy sa vyžaduje, aby bol vstup vzduchu pumpy čo najširší a dráha plynu z vákuovej komory do portu molekulárnej pumpy by sa mala čo najviac otáčať. možné, aby sa dosiahla najlepšia účinnosť molekulárnej pumpy a zaručené vyššie konečné vákuum.
II.Inštalácia
2.1 Otvorte balík
Pred inštaláciou skontrolujte, či molekulárna pumpa nebola pri preprave poškodená.
Metóda je nasledovná: pozrite si návod na napájanie molekulárnej pumpy, pripojte ju správne k molekulárnej pumpe, nie je potrebné prepúšťať vodu ani vákuum, spustite molekulárnu pumpu a skontrolujte, či beží a či tam nie je abnormálny zvuk.Ak sa vyskytne nejaká abnormalita, včas stlačte vypínač, aby sa čerpadlo zastavilo.Poznámka: Frekvencia napájania by počas skúšobnej prevádzky nemala byť vyššia ako 25 Hz
2.2 Pripojenie vysokovákuovej príruby
Pripojenie molekulárnej pumpy môže byť zdvihnuté pomocou vysoko vákuovej príruby alebo pripevnené na základni.Molekulové čerpadlo musí byť upevnené, keď je vysokovákuová príruba molekulárneho čerpadla pripojená k systému cez kovový vlnovec.
(Tesniaci povrch príruby nemá žiadne škrabance a na tesniacom krúžku nesmie byť nič)
2.3 Predné vákuové pripojenie
Medzi čerpadlom prednej línie a molekulárnym čerpadlom by mal byť nainštalovaný izolačný a odvzdušňovací ventil, aby sa zabránilo mechanickému čerpadlu vracať olej po vypnutí.
2.4 Pripojenie zariadenia na nabíjanie plynu
Aby bolo vákuové prostredie čisté, po zastavení molekulárnej pumpy môže byť vákuový systém naplnený dusíkom alebo suchým vzduchom.Vo všeobecnosti možno k potrubiu predného stupňa pripojiť odvzdušňovací ventil alebo na odvzdušnenie plynu na vysokovákuovom konci použiť vysokovákuový ventil.
III.Pripojenie chladenia
V dôsledku vysokorýchlostného rotačného trenia ložiska, zahrievania telesa čerpadla a nárastu teploty motora musia byť ložisko a motor chladené, keď molekulárne čerpadlo pracuje.Všeobecne sa používa vzduchové chladenie a vodné chladenie sa používa, keď je okolitá teplota vyššia ako 38 °C.Rúrka na mäkkú vodu s vonkajším priemerom 10 mm môže byť priamo napojená na vstup a výstup vody molekulárneho čerpadla.Používa sa cirkulačný vodný systém s čistou vodou a možno použiť aj vodu z vodovodu s nízkymi zrážkami (teplota vody musí byť ≤28°C).
Náhodné zastavenie vody alebo vysoká teplota vody spôsobia, že teplotný senzor tela molekulárnej pumpy bude fungovať a napájanie okamžite spustí alarm a zastaví výstup.
Po neočakávanom zastavení vody alebo príliš vysokej teplote vody nasleduje asi 15-minútový interval (konkrétny čas závisí od rýchlosti nárastu teploty), kým molekulárne čerpadlo nezahlási alarm z dôvodu prehriatia.
IV.Pečenie
Konečný tlak závisí od čistoty vnútrajška čerpadla a vákuovej dráhy vrátane vákuovej komory.Aby sa dosiahol konečný tlak v čo najkratšom čase, vákuový systém a molekulárna pumpa musia byť vypálené.Pečenie by sa malo vykonávať s normálne bežiacou molekulárnou pumpou.
Teplota vypaľovania molekulárneho čerpadla by mala byť nižšia ako 80 °C, príruba s vysokým vákuom pripojená k portu čerpadla by nemala byť vyššia ako 120 °C a teplota pečenia vákuového systému by mala byť vo všeobecnosti nižšia ako 300 °C.škody.
Čas pečenia závisí od stupňa znečistenia systému a molekulárneho čerpadla a očakávaného limitného pracovného tlaku, ale minimálny čas by nemal byť kratší ako 4 hodiny.
Na dosiahnutie vákua 10-4Pa v zásade nie je potrebné žiadne pečenie;na dosiahnutie vákua 10-5Pa postačuje iba pečenie samotného vákuového systému;na získanie ultravysokého vákua je zvyčajne potrebné vákuový systém a molekulárne čerpadlo piecť súčasne.Merací systém by mal byť úplne prepečený, inak to ovplyvní presnosť nameraných údajov v dôsledku jeho odplynenia.
V.Prevádzka
Potvrďte, že predbežné vákuum je lepšie ako 15 Pa, stlačte tlačidlo RON na spustenie molekulárnej pumpy a stlačte tlačidlo STOP na zastavenie po použití.Pozor!Tlačidlo mäkkého štartu sa musí použiť pri prvom použití alebo pri opätovnom použití po dlhodobom nečinnosti.Prevádzka mäkkého štartu je nasledovná: aktuálny stupeň podtlaku je lepší ako 15 Pa a je stlačené tlačidlo mäkkého štartu.Po 110 minútach molekulárna pumpa dosiahne pracovnú frekvenciu 550 Hz (550 Hz zodpovedá molekulárnej pumpe EV300Z, 400 Hz zodpovedá molekulárnej pumpe EV650Z, 1300Z, 2000), potom stlačte tlačidlo mäkkého štartu (kláves je hore), aby ste zastavili mäkký štart. začať.
（Počas normálnej prevádzky molekulárnej pumpy je zakázané prenášať, presúvať alebo napĺňať vzduch.)
VI.Údržba a opravy
6.1 Čistenie čerpadla
Keď sa únik vzduchu a rýchlosť desorpcie vákuového systému nezmenia a výkon vákua sa nedá obnoviť ani po dlhom čase pečenia, alebo keď podporné čerpadlo vážne vracia olej, čerpadlo by sa malo vyčistiť.
（Ak je potrebné čerpadlo opraviť a vyčistiť, musí ho rozobrať profesionálni technici.Ak ho rozoberiete bez školenia, následky znášate na vlastné riziko.）
6.2 Výmena ložísk
Keďže čerpadlo musí byť vyvážené, ložisko nemôže používateľ vymeniť.
6.3 Ochrana proti nárazu
Molekulové čerpadlo je vysokorýchlostný rotačný stroj.Medzera medzi pohyblivou doskou a statickou doskou je veľmi malá a nemôže odolať nadmernému nárazu.Rýchlosť a zrýchlenie pohybujúceho sa nosiča v kontakte s ním by mali byť obmedzené.Okrem toho náhly vplyv atmosférického objemu a pád vonkajších tvrdých predmetov počas normálnej prevádzky molekulárnej pumpy spôsobí vážne poškodenie molekulárnej pumpy.
6.4 Izolácia vibrácií
Zvyčajne bola molekulárna pumpa prísne testovaná a vibrácie sú veľmi malé a môžu byť priamo pripojené k čerpanému systému.Pre aplikácie s vysokou presnosťou prístrojov (ako sú elektrónové mikroskopy atď.) sa odporúča použiť izolátory vibrácií, aby sa minimalizoval vplyv vibrácií na prístroj.
6.5 Silné tienenie magnetického poľa
Rotujúci rotor vytvára v magnetickom poli vírivý prúd, ktorý spôsobí zahriatie rotora.Pretože teplo oslabí pevnosť hliníkového materiálu, aplikácia molekulárnej pumpy v magnetickom poli je do určitej miery obmedzená.
6.6 elektromagnetické rušenie
Niektoré vysokofrekvenčné prístroje, ako sú molekulárne čerpadlá a frekvenčné meniče, môžu spôsobovať elektromagnetické rušenie okolitého prostredia.Ale v prípade splnenia medzinárodných štandardov nebude aplikácia molekulárnych púmp obmedzená.Ak sú požiadavky splnené, mali by sa súčasne vydať príslušné certifikáty.
6.7 Silné obmedzenie rádioaktivity
Väčšina materiálov zmení svoje vlastnosti v silnom rádioaktívnom prostredí, najmä organické materiály (ako je olej z molekulárnych čerpadiel, tesniace krúžky) a polovodičové komponenty.Molekulové čerpadlo môže odolať intenzite žiarenia 105 rad.Výberom antirádioaktívnych materiálov a použitím motorom poháňaného napájacieho zdroja je možné zlepšiť odolnosť proti žiareniu.Pri čerpaní trícia, aby sa zabránilo úniku rádioaktívneho prvku trícia do atmosféry, musia byť všetky tesniace krúžky v molekulárnom čerpadle vyrobené z kovových materiálov
6.8 Pumpa prednej línie
Na vysokotlakovom konci výkonnostnej krivky molekulárnej pumpy sa vstupný tlak pohybuje od približne 200 Pa do 10-1 Pa v rozsahu troch rádov.Stredná voľná dráha molekúl plynu sa zmenšuje a pumpovací efekt sa začína zhoršovať.Preto v prechodovej zóne platí, že čím väčšie je použitie podpornej pumpy, tým väčšia je čerpacia rýchlosť molekulárnej pumpy.Čerpadlo prednej línie by nemalo byť menšie ako minimálne 3 l/s.
Bežné poruchy a riešenie problémov
Molekulové čerpadlo série EV-Z mazané tukom je mechanické vákuové čerpadlo, ktoré realizuje odsávanie vzduchu prostredníctvom relatívne vysokej rýchlosti otáčania viacstupňových dynamických a statických lopatiek turbíny.Turbomolekulárne čerpadlo má charakteristiky vysokej rýchlosti čerpania a vysokého kompresného pomeru v oblasti molekulárneho toku a je energeticky úspornejšie ako difúzne čerpadlo a nemá žiadne znečistenie olejom a parou.Molekulové čerpadlo série EV mazané tukom je molekulárne čerpadlo s najväčšou čerpacou rýchlosťou 100 kalibrov v Číne.
Toto molekulárne čerpadlo nemá žiadnu selektivitu a žiadny pamäťový efekt na plyn, ktorý sa má čerpať.Vďaka vysokému kompresnému pomeru plynu s veľkou molekulovou hmotnosťou môže čerpadlo získať čisté vysoké vákuum a ultra vysoké vákuum bez vymrazovačov a olejových prepážok..Je široko používaný v rôznych oblastiach elektroniky, metalurgie, chemického priemyslu, vedeckého výskumu a vákuovej techniky.
Čas odoslania: júl-01-2022